具有可变电容的组件制造技术

本发明专利技术涉及一种具有可变电容的组件以及一种操作该组件的方法。在该组件中，一可变电容器由至少一个第一导电区域（４）和一个第二导电区域（５）的一个可变覆盖或者一个可变距离构成。第一导电区域（４）被设置在一个基片（１）之上或之内，而第二导电区域（５）被设置在第一微机械激励器（２）的激励器元件（３）之上或之内。该第一微机械激励器（２）以这样的方式被设置在基片（１）上，即所述第一微机械激励器（２）能够执行所述激励器元件（３）的移动，使得所述第二区域（５）沿着所述基片（１）的一个表面位于相对于所述第一区域（４）的不同位置，而在这些位置第二区域（５）至少部分地重叠第一区域（４）。而且，设置有保持元件（６，１０，１１），它们能够将在所述不同位置的激励器元件（３）拉或者推向基片（１）或者基片（１）上的一个机械止块（１３），并能够将它保持在这些位置上。本发明专利技术组件可以提供可变电容，可变电容可以根据其各自的设定，具有抵抗外界影响的高稳定性。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种根据权利要求1前序部分所述的具有可变电容的组件，还涉及一种通过应用该组件而设定一可预定电容的方法。本专利技术的主要应用领域是高频
，特别是应用在通信技术上。在该领域，对于在可达到的最高质量下的可调高频电容的需求越来越大。目前，所谓变容二极管的半导体元件已经被用于这一目的，然而，其达到的品质因数最大值在20至40之间。特别是在移动电话或者便携式电话技术的应用上，需要品质因数至少达到100。目前，仅有利用微机械式电容器，在谐振电路中才能够达到如此高的品质因数。另一方面，用于移动式应用的可变电容器应当是尽可能的稳定，以便来自外部的热量影响和机械影响都不可以导致电容的漂移。利用公知的微机械组件的上述性能就不能够获得该抗加速度性。因此，本专利技术基于这一问题，即提供一种具有可变电容的组件以及一种操作该组件的方法，以确保设定的各自电容具有对抗外界影响的高的稳定性。在本专利技术的组件中，所述可变电容由至少一个第一和一个第二导电区域的可变覆盖或可变距离构成。在本专利申请的上下文中，术语“覆盖”表示，从一个基本上与该组件的基片表面正交或者平行的方向观看，两个区域至少部分地本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种具有可变电容的组件，其由至少一个第一导电区域（４）和一个第二导电区域（５）的一个可变的覆盖或者一个可变的距离构成，所述第一导电区域（４）被设置在一个基片（１）之上或之内，所述第二导电区域（５）被设置在一个第一微机械激励器（２）的一个激励器元件（３）之上或之内，所述第一微机械激励器（２）以这样的方式被设置在所述基片（１）上，即所述第一微机械激励器（２）能够执行所述激励器元件（３）的移动，使得所述第二区域（５）沿着所述基片（１）的一个表面位于相对于所述第一区域（４）的不同位置，在所述位置所述第二区域（５）至少部分地重叠所述第一区域（４），其特征在于：设置有保持元件（６，１０，１１），它们能够将...

【技术特征摘要】
DE 2000-8-9 10038723.31.一种具有可变电容的组件，其由至少一个第一导电区域(4)和一个第二导电区域(5)的一个可变的覆盖或者一个可变的距离构成，所述第一导电区域(4)被设置在一个基片(1)之上或之内，所述第二导电区域(5)被设置在一个第一微机械激励器(2)的一个激励器元件(3)之上或之内，所述第一微机械激励器(2)以这样的方式被设置在所述基片(1)上，即所述第一微机械激励器(2)能够执行所述激励器元件(3)的移动，使得所述第二区域(5)沿着所述基片(1)的一个表面位于相对于所述第一区域(4)的不同位置，在所述位置所述第二区域(5)至少部分地重叠所述第一区域(4)，其特征在于设置有保持元件(6，10，11)，它们能够将在所述不同位置的所述激励器元件(3)拉或者推向所述基片(1)或者所述基片(1)上的一个机械止块(13)，并能够将它保持在这些位置上。2.根据权利要求1所述的组件，其特征在于所述保持元件(6，10，11)由至少一个设置在所述基片(1)之上或之内的一个第三导电区域(10)和设置在所述激励器元件(3)之上或之内的一个第四导电区域(11)构成，它们在所述激励器元件(3)的不同位置至少部分地相互重叠并能够被施加不同的电压。3.根据权利要求1所述的组件，其特征在于所述保持元件(6，10，11)由一个第二微机械激励器(6)构成。4.根据权利要求3所述的组件，其特征在于所述第二微机械激励器(6)是一个热机械激励器，该激励器(6)相对于所述第一微机械激励器(2)的结构和设置是，响应于热激励，它将在所述基片(1)所述表面上的一个基本正交方向上被偏转，在不同位置的所述第一微机械激励器(2)的所述激励器元件(3)的第一部分达到一个位于处于一偏转状态的所述第二微机械激励器(6)的一第二部分下面的区域。5.根据权利要求4所述的组件，其特征在于所述第二微机械激励器(6)由一个或几个射束形元件构成，所述射束形元件被夹持在所述基片(1)的两侧。6.根据权利要求4或5所述的组件，其特征在于所述第一微机械激励器(2)的所述激励器元件(3)的所述第一部分被设计成板形悬臂(14)，该悬臂(14)沿所述激励器元件(3)的移动方向延伸。7.根据权利要求4至6任一项所述的组件，其特征在于所述第二微机械激励器(6)的所述第二部分被设计成板形悬臂(15)，该悬臂(15)沿与所述第一微机械激励器(2)的所述激励器元件(3)的移动方向相反的方...

【专利技术属性】
技术研发人员：汉斯约阿希姆昆策尔，贝恩德瓦格纳，贝阿特丽策文克，
申请(专利权)人：弗劳恩霍弗应用技术研究院，
类型：发明
国别省市：DE[德国]