一种新型用于光刻胶生产的收纳装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及光刻胶生产技术领域，公开了一种新型用于光刻胶生产的收纳装置，包括收纳筒，所述收纳筒的顶部左端固定设有进料装置，所述进料装置的顶部经过合页连接有进料盖板，所述进料装置的内部设有进料过滤装置，所述进料过滤装置的顶部两端固定焊接有提拉装置，所述进料装置的内侧两端固定焊接有限位块，所述进料过滤装置设于限位块的顶部，所述收纳筒的内侧壁固定设有内钢板，所述收纳筒与内钢板之间填充有岩棉板，所述收纳筒的顶部右端设有液位监测装置，所述液位监测装置的底部连接有液位传感器。该新型用于光刻胶生产的收纳装置，方便直接精确收纳光刻胶，过滤净化光刻胶内的杂质，避免光刻胶温度过高造成硬化的问题。问题。问题。

【技术实现步骤摘要】
一种新型用于光刻胶生产的收纳装置


[0001]本技术涉及光刻胶生产
，具体为一种新型用于光刻胶生产的收纳装置。

技术介绍

[0002]光刻胶又称光致抗蚀剂，是指通过紫外光、电子束、离子束、X射线等的照射或辐射，其溶解度发生变化的耐蚀剂刻薄膜材料。由感光树脂、增感剂和溶剂3种主要成分组成的对光敏感的混合液体。在光刻工艺过程中，用作抗腐蚀涂层材料。半导体材料在表面加工时，若采用适当的有选择性的光刻胶，可在表面上得到所需的图像。
[0003]目前，现有的用于光刻胶生产的收纳装置存在如下问题：（1）不便直接将光刻胶回收收纳，无法高效的防尘防水，光刻胶生产后回收进料不能直接过滤净化，杂质较多，质量低，实用性低，现有的收纳装置保温效果不足，容易造成温度过高导致光刻胶硬化的问题；（2）不便自动化监测到光刻胶的液位，难以高精度收纳，排出也较为不便，设计不合理。为此，需要设计相应的技术方案给予解决。

技术实现思路

[0004]（一）解决的技术问题
[0005]针对现有技术的不足，本技术提供了一种新型用于光刻胶生产的收纳装置，解决了不便直接将光刻胶回收收纳，无法高效的防尘防水，光刻胶生产后回收进料不能直接过滤净化，杂质较多，质量低，实用性低，现有的收纳装置保温效果不足，容易造成温度过高导致光刻胶硬化的技术问题。
[0006]（二）技术方案
[0007]为实现以上目的，本技术通过以下技术方案予以实现：一种新型用于光刻胶生产的收纳装置，包括收纳筒，所述收纳筒的顶部左端固定设有进料装置，所述进料装置的顶部经过合页连接有进料盖板，所述进料装置的内部设有进料过滤装置，所述进料过滤装置的顶部两端固定焊接有提拉装置，所述进料装置的内侧两端固定焊接有限位块，所述进料过滤装置设于限位块的顶部，所述收纳筒的内侧壁固定设有内钢板，所述收纳筒与内钢板之间填充有岩棉板，所述收纳筒的顶部右端设有液位监测装置，所述液位监测装置的底部连接有液位传感器，所述收纳筒的底部侧端固定设有出料口，所述出料口的顶部连接有球阀；所述收纳筒为圆筒型结构，所述进料装置为方形漏斗结构。
[0008]优选的，所述收纳筒的侧部固定焊接有推杆，所述推杆的外部套接有硅胶套。
[0009]优选的，所述进料盖板的顶部外端固定焊接有提拉把手，所述进料盖板的底部一周粘接有橡胶密封圈。
[0010]优选的，所述收纳筒的侧部固定设有透明观察窗，所述透明观察窗的侧部分布有刻度线。
[0011]优选的，所述收纳筒的底部外端安装分布有万向轮，所述万向轮的顶部侧端连接
有制动阀板。
[0012]（三）有益效果
[0013]（1）该新型用于光刻胶生产的收纳装置，通过在收纳筒顶部左端固定设置的进料装置，方便直接回收收纳光刻胶，生产成本低，通过在进料装置顶部经过合页连接的进料盖板，开闭使用方便，防水防尘，通过在进料装置内部设置的进料过滤装置，可高效的过滤净化光刻胶内的杂质，安全实用，通过在进料过滤装置顶部两端固定焊接的提拉装置和进料装置内侧两端固定焊接的限位块，方便快速拆装进料过滤装置进行清理，通过在收纳筒内侧壁固定设置的岩棉板和内钢板，有效的提高了保温效果，避免光刻胶温度过高造成硬化的问题。
[0014]（2）该新型用于光刻胶生产的收纳装置，通过在收纳筒顶部右端设置的液位监测装置和液位监测装置底部连接的液位传感器，便于自动化实时监测内部液位，方便精确收纳光刻胶，通过在收纳筒底部侧端固定设置带有球阀的出料口，便于直接排出光刻胶，设计合理。
附图说明
[0015]图1为本技术的整体结构示意图；
[0016]图2为本技术的内部结构示意图；
[0017]图3为本技术的进料装置结构示意图；
[0018]图4为本技术的外壳材质结构示意图。
[0019]图中，收纳筒1、进料装置2、出料口3、万向轮4、液位监测装置5、推杆6、透明观察窗7、液位传感器8、进料盖板9、进料过滤装置10、限位块11、提拉装置12、内钢板13、岩棉板14。
具体实施方式
[0020]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0021]请参阅图1
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4，本技术实施例提供一种技术方案：一种新型用于光刻胶生产的收纳装置，包括收纳筒1，所述收纳筒1的顶部左端固定设有进料装置2，所述进料装置2的顶部经过合页连接有进料盖板9，所述进料装置2的内部设有进料过滤装置10，所述进料过滤装置10的顶部两端固定焊接有提拉装置12，所述进料装置2的内侧两端固定焊接有限位块11，所述进料过滤装置10设于限位块11的顶部，所述收纳筒1的内侧壁固定设有内钢板13，所述收纳筒1与内钢板13之间填充有岩棉板14，所述收纳筒1的顶部右端设有液位监测装置5，所述液位监测装置5的底部连接有液位传感器8，所述收纳筒1的底部侧端固定设有出料口3，所述出料口3的顶部连接有球阀，方便直接转动球阀排出光刻胶；
[0022]所述收纳筒1为圆筒型结构，结构简单，成本低，所述进料装置2为方形漏斗结构，进料效率高，缓冲稳定。
[0023]进一步改进地，所述收纳筒1的侧部固定焊接有推杆6，所述推杆6的外部套接有硅胶套。
[0024]进一步改进地，所述进料盖板9的顶部外端固定焊接有提拉把手，所述进料盖板9的底部一周粘接有橡胶密封圈，开闭使用较为方便，密封性能高，防水防尘。
[0025]进一步改进地，所述收纳筒1的侧部固定设有透明观察窗7，所述透明观察窗7的侧部分布有刻度线，便于直接观察到液位，成本低。
[0026]具体改进地，所述收纳筒1的底部外端安装分布有万向轮4，所述万向轮4的顶部侧端连接有制动阀板，便于移动使用，停放稳定，适用范围广。
[0027]液位传感器8的型号为MD
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L100，其中涉及到的电路或电子元器件均为现有技术，本领域技术人员完全可以实现，无需赘言，本技术所保护的内容也不涉及对于软件和方法的改进。
[0028]工作原理：岩棉板14以玄武岩为材料，经过高温融熔成的人工无机纤维，具有质量轻、导热系数小、吸热、不燃的特点，保温隔燃效果好。
[0029]握持推杆6推动收纳筒1，经过收纳筒1底部外端的多个万向轮4稳定移动至生产车间，打开进料盖板9，向进料装置2内部投入光刻胶，经过进料过滤装置10过滤净化，进入收纳筒1收纳，液位监测装置5底部连接的液位传感器8实时自动化精确的监测内部光刻胶的液位，避免光刻胶溢出，收纳筒1内侧壁固定的岩棉板14和内钢板13，保温效果好，避免光刻胶温度过高造成硬化的问题，可直接转动球阀打开出料口3排出光刻胶。
[0030]本技术的收纳筒1、本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种新型用于光刻胶生产的收纳装置，包括收纳筒（1），其特征在于：所述收纳筒（1）的顶部左端固定设有进料装置（2），所述进料装置（2）的顶部经过合页连接有进料盖板（9），所述进料装置（2）的内部设有进料过滤装置（10），所述进料过滤装置（10）的顶部两端固定焊接有提拉装置（12），所述进料装置（2）的内侧两端固定焊接有限位块（11），所述进料过滤装置（10）设于限位块（11）的顶部，所述收纳筒（1）的内侧壁固定设有内钢板（13），所述收纳筒（1）与内钢板（13）之间填充有岩棉板（14），所述收纳筒（1）的顶部右端设有液位监测装置（5），所述液位监测装置（5）的底部连接有液位传感器（8），所述收纳筒（1）的底部侧端固定设有出料口（3），所述出料口（3）的顶部连接有球阀；所述收纳筒（1）...

【专利技术属性】
技术研发人员：程小飞，傅姿，孙俊鹏，花荣，
申请(专利权)人：上海函泰电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：