本实用新型专利技术公开了一种光刻胶生产用废液回收装置，包括：过滤仓和储液仓，储液仓内安装有拍液泵，过滤仓安装在储液仓的顶部且过滤仓的底部与储液仓的顶部连通，过滤仓的内部水平安装有过滤板，过滤板包括固定环、安装环、固定杆和内环，内环设置在固定环内部且内环与固定环的对立面上分别安装有固定杆，安装环安装在两个对应的固定杆之间，安装环的内部镶嵌连接有过滤筒。本实用新型专利技术在过滤仓内设置过滤板来对废液进行过滤，过滤板上镶嵌连接了多个过滤筒，通过清理机构来将部分废弃物推送至滤筒内，保持过滤板表面正常使用，同时还对废弃物进行集中收集；过滤筒上安装吊环，通过吊钩即可将其吊起，方便对过滤筒进行清理。方便对过滤筒进行清理。方便对过滤筒进行清理。
【技术实现步骤摘要】
一种光刻胶生产用废液回收装置
[0001]本技术涉及光刻胶
，更具体为一种光刻胶生产用废液回收装置。
技术介绍
[0002]光刻胶又称光致抗蚀剂，是指通过紫外光、电子束、离子束、X射线等的照射或辐射，其溶解度发生变化的耐蚀剂刻薄膜材料。由感光树脂、增感剂和溶剂3种主要成分组成的对光敏感的混合液体。在光刻工艺过程中，用作抗腐蚀涂层材料。半导体材料在表面加工时，若采用适当的有选择性的光刻胶，可在表面上得到所需的图像。光刻胶按其形成的图像分类有正性、负性两大类。在光刻胶工艺过程中，涂层曝光、显影后，曝光部分被溶解，未曝光部分留下来，该涂层材料为正性光刻胶。如果曝光部分被保留下来，而未曝光被溶解，该涂层材料为负性光刻胶。按曝光光源和辐射源的不同，又分为紫外光刻胶（包括紫外正、负性光刻胶）、深紫外光刻胶、X
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射线胶、电子束胶、离子束胶等。
[0003]目前，现有的光刻胶废液回收装置存在如下问题：通过过滤网来对废液进行过滤，过滤后的废弃物附着在过滤网表面，造成网孔堵塞，过滤网拆卸较为繁琐，影响其正常使用。为此，需要设计一个新的方案给予改进。
技术实现思路
[0004]本技术的目的在于提供一种光刻胶生产用废液回收装置，解决了：通过过滤网来对废液进行过滤，过滤后的废弃物附着在过滤网表面，造成网孔堵塞，过滤网拆卸较为繁琐，影响其正常使用的问题，满足实际使用需求。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种光刻胶生产用废液回收装置，包括：过滤仓和储液仓，所述储液仓内安装有拍液泵，所述过滤仓安装在储液仓的顶部且过滤仓的底部与储液仓的顶部连通，所述过滤仓的内部水平安装有过滤板，所述过滤板包括固定环、安装环、固定杆和内环，所述内环设置在固定环内部且内环与固定环的对立面上分别安装有固定杆，所述安装环安装在两个对应的固定杆之间，所述安装环的内部镶嵌连接有过滤筒，所述过滤仓的内部且位于过滤板的顶部安装有清理机构。
[0006]作为本技术的一种优选实施方式，所述过滤板的表面安装有过滤网，所述安装环的顶面开设有向内凹陷的沉槽，所述过滤筒的上端与沉槽镶嵌。
[0007]作为本技术的一种优选实施方式，所述过滤筒的侧壁和下端均为多孔结构且过滤筒的内顶部设置有吊环，所述吊环的侧壁上安装有连杆且通过连杆与过滤筒固定连接。
[0008]作为本技术的一种优选实施方式，所述清理机构包括电机、传动杆、清理板和弹簧，所述电机安装在储液仓的顶面中部且动力输出端与传动杆连接，所述传动杆的上端延伸至过滤仓内且穿过过滤板并在传动杆的上端处固定连接有限位板，所述弹簧套接在传动杆上且两端分别与限位板和清理板连接。
[0009]作为本技术的一种优选实施方式，所述清理板活动连接在传动杆上，清理板
的底面安装有刷毛且刷毛的末端与过滤板顶面贴合。
[0010]与现有技术相比，本技术的有益效果如下：
[0011]（1）本技术，在过滤仓内设置过滤板来对废液进行过滤，过滤板上镶嵌连接了多个过滤筒，通过清理机构来将部分废弃物推送至滤筒内，保持过滤板表面正常使用，同时还对废弃物进行集中收集。
[0012]（2）过滤筒上安装吊环，通过吊钩即可将其吊起，方便对过滤筒进行清理。
附图说明
[0013]图1为本技术所述光刻胶生产用废液回收装置的结构图；
[0014]图2为本技术所述过滤板的结构图；
[0015]图3为本技术所述过滤筒的结构图。
[0016]图中:1、过滤仓；2、储液仓；3、限位板；4、清理板；5、传动杆；6、电机；7、弹簧；8、过滤板；9、过滤筒；10、固定环；11、安装环；12、过滤网；13、沉槽；14、固定杆；15、吊环；16、连杆；17、内环。
具体实施方式
[0017]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0018]请参阅图1
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3，本技术提供一种技术方案：一种光刻胶生产用废液回收装置，包括：过滤仓1和储液仓2，储液仓2内安装有拍液泵，过滤仓1安装在储液仓2的顶部且过滤仓1的底部与储液仓2的顶部连通，过滤仓1的内部水平安装有过滤板8，过滤板8包括固定环10、安装环11、固定杆14和内环17，内环17设置在固定环10内部且内环17与固定环10的对立面上分别安装有固定杆14，安装环11安装在两个对应的固定杆14之间，安装环11的内部镶嵌连接有过滤筒9，过滤板8对废液进行过滤，同时过滤筒9也参与过滤工作，过滤仓1的内部且位于过滤板8的顶部安装有清理机构，清理机构对过滤板8表面进行清理。
[0019]进一步改进地，过滤板8的表面安装有过滤网12，安装环11的顶面开设有向内凹陷的沉槽13，过滤筒9的上端与沉槽13镶嵌，过滤筒9嵌入到安装环11内后顶面与过滤板8表面保持平整。
[0020]进一步改进地，过滤筒9的侧壁和下端均为多孔结构且过滤筒9的内顶部设置有吊环15，吊环15的侧壁上安装有连杆16且通过连杆16与过滤筒9固定连接，方便将过滤筒9拆卸。
[0021]进一步改进地，清理机构包括电机6、传动杆5、清理板4和弹簧7，电机6安装在储液仓2的顶面中部且动力输出端与传动杆5连接，传动杆5的上端延伸至过滤仓1内且穿过过滤板8并在传动杆5的上端处固定连接有限位板3，弹簧7套接在传动杆5上且两端分别与限位板3和清理板4连接，传动杆5与清理板4的连接处为多棱柱结构，满足转动及清理板4垂直移动的需求，清理机构对过滤网12进行清理，同时还对过滤网12表面的废弃物进行推动，将其推入过滤筒9内。
[0022]具体地，清理板4活动连接在传动杆5上，清理板4的底面安装有刷毛且刷毛的末端与过滤板8顶面贴合，通过刷毛来对过滤板8表面的过滤网12进行清洁。
[0023]本技术在使用时，将废液注入到过滤仓1内进行过滤，废液中的废弃物被过滤板8过滤，电机6转动后带动清理板4转动，从而将部分废液推送至过滤筒9内，经过过滤后的废液进入到储液仓2内进行存储，由储液仓2内泵机排出，使用钩杆可以将过滤筒9吊起，方便对其进行清理。
[0024]最后应说明的是：以上所述仅为本技术的优选实施例而已，并不用于限制本技术，尽管参照前述实施例对本技术进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种光刻胶生产用废液回收装置，包括：过滤仓（1）和储液仓（2），所述储液仓（2）内安装有拍液泵，其特征在于：所述过滤仓（1）安装在储液仓（2）的顶部且过滤仓（1）的底部与储液仓（2）的顶部连通，所述过滤仓（1）的内部水平安装有过滤板（8），所述过滤板（8）包括固定环（10）、安装环（11）、固定杆（14）和内环（17），所述内环（17）设置在固定环（10）内部且内环（17）与固定环（10）的对立面上分别安装有固定杆（14），所述安装环（11）安装在两个对应的固定杆（14）之间，所述安装环（11）的内部镶嵌连接有过滤筒（9），所述过滤仓（1）的内部且位于过滤板（8）的顶部安装有清理机构。2.根据权利要求1所述的一种光刻胶生产用废液回收装置，其特征在于：所述过滤板（8）的表面安装有过滤网（12），所述安装环（11）的顶面开设有向内凹陷的沉槽（13），所述过滤筒（9）的上端与沉槽（13）镶嵌。3....
【专利技术属性】
技术研发人员：花荣，傅姿，程小飞，
申请(专利权)人：上海函泰电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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