一种光刻胶供给管路清洗系统技术方案

本实用新型专利技术涉及光刻胶管路清洗技术领域，公开了一种光刻胶供给管路清洗系统，包括清洗液箱、污水回收箱、水泵和光刻胶供给管路，所述清洗液箱与水泵的底部固定设有底板，所述底板与污水回收箱的底部外端均安装有万向轮，所述清洗液箱与水泵之间连接有水管，所述水泵的顶部外端连接有进水管，所述进水管的外部左端设有加热装置和电磁阀，所述加热装置的前端设有显示屏，所述加热装置的内侧设有导热板，所述导热板的外侧设有电热丝，所述电热丝的顶部电性连接有加热控制器，所述导热板的外侧安装有温度传感器。该光刻胶供给管路清洗系统，自动化操控出水，效率高，均匀加热进水管，智能化的实时监测加热的温度，使得清洗更加高效，适用范围广。范围广。范围广。

【技术实现步骤摘要】
一种光刻胶供给管路清洗系统


[0001]本技术涉及光刻胶管路清洗
，具体为一种光刻胶供给管路清洗系统。

技术介绍

[0002]光刻胶又称光致抗蚀剂，是指通过紫外光、电子束、离子束、X射线等的照射或辐射，其溶解度发生变化的耐蚀剂刻薄膜材料。由感光树脂、增感剂和溶剂3种主要成分组成的对光敏感的混合液体。在现有半导体的光刻工艺中，在安装使用新的光刻胶之前，需要使用清洗液对光刻胶供给管路进行清洗。
[0003]目前，现有的光刻胶供给管路清洗系统存在如下问题：（1）不便直接供水于光刻胶供给管路内部，无法高效率操控出水，不能均匀全方位加热进水管，使得清洗效果差；此外，（2）不便将清洗设备稳定移动，使用范围局限，清洗时进水出水较为不便，无法快速对接安装。为此，需要设计相应的技术方案给予解决。

技术实现思路

[0004]（一）解决的技术问题
[0005]针对现有技术的不足，本技术提供了一种光刻胶供给管路清洗系统，解决了不便直接供水于光刻胶供给管路内部，无法高效率操控出水，不能均匀全方位加热进水管，使得清洗效果差，不便将清洗设备稳定移动，使用范围局限，清洗时进水出水较为不便，无法快速对接安装的技术问题。
[0006]（二）技术方案
[0007]为实现以上目的，本技术通过以下技术方案予以实现：一种光刻胶供给管路清洗系统，包括清洗液箱、污水回收箱、水泵和光刻胶供给管路，所述清洗液箱与水泵的底部固定设有底板，所述底板与污水回收箱的底部外端均安装有万向轮，所述清洗液箱与水泵之间连接有水管，所述水泵的顶部外端连接有进水管，所述进水管的外部左端设有加热装置和电磁阀，所述加热装置的前端设有显示屏，所述加热装置的内侧设有导热板，所述导热板的外侧设有电热丝，所述电热丝的顶部电性连接有加热控制器，所述导热板的外侧安装有温度传感器，所述光刻胶供给管路的一端连接于进水管，所述光刻胶供给管路的另一端连接有回水软管，所述回水软管的外端连接于污水回收箱的侧端顶部，所述清洗液箱的侧端顶部设有进水口，所述污水回收箱的侧端底部设有排水口。
[0008]优选的，所述水泵的底部左端粘接有EVA减震块，所述水泵的底部右端焊接有减震弹簧。
[0009]优选的，所述加热装置的顶部焊接有固定板，所述固定板的顶部焊接有加强杆，所述固定板与加强杆的左端均焊接有安装板。
[0010]优选的，所述清洗液箱的容量小于污水回收箱的容量，所述清洗液箱与污水回收箱的前端均安装有透明观察板。
[0011]优选的，所述光刻胶供给管路的两端焊接有法兰盘，且所述回水软管与进水管的外端焊接有法兰盘。
[0012]（三）有益效果
[0013]（1）该光刻胶供给管路清洗系统，通过在水泵顶部外端连接的进水管，方便直接供水于光刻胶供给管路内部，使得清洗更加方便，通过在进水管外部左端设置的电磁阀，可自动化操控出水，效率高，通过在进水管外部左端设置的加热装置，便于直接经过内部电热丝均匀加热进水管，通过在导热板外侧安装的温度传感器，智能化的实时监测加热的温度，显示于显示屏上，使得清洗更加高效。
[0014]（2）该光刻胶供给管路清洗系统，通过在底板和污水回收箱底部外端安装的万向轮，方便直接稳定的移动清洗液箱、污水回收箱和水泵至光刻胶供给管路处使用，适用范围广，通过在光刻胶供给管路一端连接的进水管和另一端连接的回水软管，便于快速对接安装，使得清洗进出水更加方便，设计合理。
附图说明
[0015]图1为本技术的整体结构示意图；
[0016]图2为本技术的加热装置前视结构示意图；
[0017]图3为本技术的加热装置内部侧视结构示意图。
[0018]图中，清洗液箱1、污水回收箱2、水泵3、光刻胶供给管路4、加热装置5、电磁阀6、底板7、万向轮8、进水口9、排水口10、减震弹簧11、EVA减震块12、回水软管13、进水管14、显示屏15、固定板16、加强杆17、导热板18、电热丝19、加热控制器20、温度传感器21。
具体实施方式
[0019]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0020]请参阅图1
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3，本技术实施例提供一种技术方案：一种光刻胶供给管路清洗系统，包括清洗液箱1、污水回收箱2、水泵3和光刻胶供给管路4，所述清洗液箱1与水泵3的底部固定设有底板7，所述底板7与污水回收箱2的底部外端均安装有万向轮8，所述清洗液箱1与水泵3之间连接有水管，所述水泵3的顶部外端连接有进水管14，所述进水管14的外部左端设有加热装置5和电磁阀6，所述加热装置5的前端设有显示屏15，所述加热装置5的内侧设有导热板18，导热板18采用金属材质，导热速度快，所述导热板18的外侧设有电热丝19，所述电热丝19的顶部电性连接有加热控制器20，所述导热板18的外侧安装有温度传感器21，所述光刻胶供给管路4的一端连接于进水管14，所述光刻胶供给管路4的另一端连接有回水软管13，所述回水软管13的外端连接于污水回收箱2的侧端顶部，所述清洗液箱1的侧端顶部设有进水口9，所述污水回收箱2的侧端底部设有排水口10。
[0021]进一步改进地，所述水泵3的底部左端粘接有EVA减震块12，所述水泵3的底部右端焊接有减震弹簧11，使得支撑水泵3更加稳定，缓冲减震，降噪吸音。
[0022]进一步改进地，所述加热装置5的顶部焊接有固定板16，所述固定板16的顶部焊接
有加强杆17，所述固定板16与加强杆17的左端均焊接有安装板，有效的提高了其结构强度，稳定可靠。
[0023]进一步改进地，所述清洗液箱1的容量小于污水回收箱2的容量，方便回收污水，避免污水溢出，所述清洗液箱1与污水回收箱2的前端均安装有透明观察板，可直接观察到液位，使用方便。
[0024]具体改进地，所述光刻胶供给管路4的两端焊接有法兰盘，且所述回水软管13与进水管14的外端焊接有法兰盘，方便直接采用螺栓对接安装，密封性能高。
[0025]水泵3的型号为UPA120，电磁阀6的型号为LX544210979721，加热控制器20的型号为TC200，温度传感器21的型号为SCRBH
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101R
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60A/B，其中涉及到的电路或电子元器件均为现有技术，本领域技术人员完全可以实现，无需赘言，本技术所保护的内容也不涉及对于软件和方法的改进。
[0026]工作原理：经过清洗液箱1和水泵3的底板7底部多个万向轮8移动，移动至光刻胶供给管路4左端，使得进水管14与光刻胶供给管路4固定连接，再经过污水回收箱2底部的多个万向轮8移动，移动至光刻胶供给管路4右端，经过污水回收箱2内侧顶部的回水软管13与本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光刻胶供给管路清洗系统，包括清洗液箱（1）、污水回收箱（2）、水泵（3）和光刻胶供给管路（4），其特征在于：所述清洗液箱（1）与水泵（3）的底部固定设有底板（7），所述底板（7）与污水回收箱（2）的底部外端均安装有万向轮（8），所述清洗液箱（1）与水泵（3）之间连接有水管，所述水泵（3）的顶部外端连接有进水管（14），所述进水管（14）的外部左端设有加热装置（5）和电磁阀（6），所述加热装置（5）的前端设有显示屏（15），所述加热装置（5）的内侧设有导热板（18），所述导热板（18）的外侧设有电热丝（19），所述电热丝（19）的顶部电性连接有加热控制器（20），所述导热板（18）的外侧安装有温度传感器（21），所述光刻胶供给管路（4）的一端连接于进水管（14），所述光刻胶供给管路（4）的另一端连接有回水软管（13），所述回水软管（13）的外端连接于污水回收箱（2）的侧端顶部，所述清洗液箱（1）...

【专利技术属性】
技术研发人员：花荣，傅姿，程小飞，
申请(专利权)人：上海函泰电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：