【技术实现步骤摘要】
一种方便安装的光刻胶供应装置
[0001]本技术涉及光刻胶
，具体为一种方便安装的光刻胶供应装置。
技术介绍
[0002]光刻胶又称光致抗蚀剂，是指通过紫外光、电子束、离子束、X射线等的照射或辐射，其溶解度发生变化的耐蚀剂刻薄膜材料。由感光树脂、增感剂和溶剂3种主要成分组成的对光敏感的混合液体。在光刻工艺过程中，用作抗腐蚀涂层材料。半导体材料在表面加工时，若采用适当的有选择性的光刻胶，可在表面上得到所需的图像。光刻胶按其形成的图像分类有正性、负性两大类。在光刻胶工艺过程中，涂层曝光、显影后，曝光部分被溶解，未曝光部分留下来，该涂层材料为正性光刻胶。如果曝光部分被保留下来，而未曝光被溶解，该涂层材料为负性光刻胶。按曝光光源和辐射源的不同，又分为紫外光刻胶（包括紫外正、负性光刻胶）、深紫外光刻胶、X
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射线胶、电子束胶、离子束胶等。光刻胶主要应用于显示面板、集成电路和半导体分立器件等细微图形加工作业。光刻胶生产技术较为复杂，品种规格较多，在电子工业集成电路的制造中，对所使用光刻胶有严格的要求，光刻胶在生产...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种方便安装的光刻胶供应装置，其特征在于：包括垂直设置的提升架（1）和安装于提升架（1）上的原料供应容器（2），所述提升架（1）的底部固定于地面且表面纵向开设有导向槽（3），所述导向槽（3）内活动设置有滑块（4），所述滑块（4）的中部穿插有螺杆（5），所述螺杆（5）的下端与导向槽（3）内壁活动连接且上端设置有驱动电机（6），所述驱动电机（6）的动力输出端与螺杆（5）相连接，所述滑块（4）的外侧固定有对接板（7），所述对接板（7）的两侧对称开设有两组卡口（8），所述卡口（8）的外侧连通有锁紧口（9），所述锁紧口（9）处安装有锁紧片，两组所述卡口（8）内均穿插有挂杆（10），所述挂杆（10）的外端固定连接有外环（11），所述外环（11）固定于原料供应容器（2）的外壁上，所述原料供应容器（2）的下沿开设有安装口（12），所述安装口（12）内开设有排液口（13），所述排液口（13）处活动设置有排液管（14）。2.根据权利要求1所述的一种方...
【专利技术属性】
技术研发人员：程小飞，傅姿，孙俊鹏，花荣，
申请(专利权)人：上海函泰电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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