基板制程输送系统技术方案

本实用新型专利技术是有关一种基板制程输送系统，其借由相邻接的一第一板体、一第二板体与一第三板体，以及设于该些板体的一侧，并以平行于该一侧的方式往返移动的一第一输送装置与一第二输送装置，令其在该第二板体上已完成制程的一第二基板由该第二板体上往该第三板体上输送时，同时将置放于该第一板体上的一第一基板由该第一板体上输送至该第二板体上，且该第一板体、第二板体与第三板体上皆设有多个支撑装置，用以支撑该第一及第二基板，使之与该等板体间保持一适当的间隔，而让该第一、第二输送装置于输送该第一、第二基板时，不会刮伤该第一、第二基板。此基板制程输送系统可有效提升制程的效率。升制程的效率。升制程的效率。

【技术实现步骤摘要】
基板制程输送系统


[0001]本技术系有关一种输送装置，尤其是一种基板制程输送系统。

技术介绍

[0002]现今社会，电子产品无所不在，其需求量自系有增无减，进而刺激电子制造业的发展，以致业者彼此间的竞争，亦趋炽烈，为提高竞争力，优化生产制造的效率，即成为企业经营的重要事项。而电子产品所需使用的基板，其输送效率如何，则与生产制造效率的提升，休戚相关。请参阅图1A与图1B，其为习知基板输送装置，如图1A所示，机台B上，基板SH由输入位置P0，往第一位置P1传输，并经放置在载台A上，制程装置P继的对基板SH进行制程作业。于该制程作业完成后，载台A连同基板SH即移动到第二位置P2，此时如图1B所示，第二位置P2上的基板SH被输送至输出位置P3，接着，载台A则会移回第一位置P1，继续承载下一基板。因载台A须于第一位置P1与第二位置P2间往返，其会耗费一段作业时间，未能连续作业，导致生产制造的效率较低。
[0003]再请参阅图2A与图2B，其为习知另一基板输送装置，如图所示，该基板输送装置C的基板载台SUB系为数长条状，且彼此间以有相当间隔的方式平行排列，而在该等间隔内，则设置有亦皆为数长条状的输送装置C1及输送装置C2。当第一基板SH1由输入位置P0传输至载台SUB时，第一基板SH1系先予以置放在载台SUB上的等待区Q1，而于前此已由等待区Q1输送至载台SUB上的作业区Q2的第二基板SH2业经完成制程作业后，输送装置C1即承载第一基板SH1，将第一基板SH1输送至作业区Q2进行制程作业，在同一时间内，输送装置C2则承载第二基板SH2，且予以输送至载台SUB上的出料区Q3，并于上述二基板到达对应位置，交由载台SUB支撑后，输送装置C1及输送装置C2随即分别移回到等待区Q1与作业区Q2。
[0004]虽然，如图2A与图2B所示的基板输送装置可改善如图1A与图1B 所示的基板输送装置所导致生产制造效率较低的缺失。但是如图2A与图2B所示的基板输送装置由于载台SUB系为数长条状，长条状的载台其彼此间有相当间隔，导致仅能承载一定尺寸的基板，无法对应各种尺寸的基板。
[0005]基于上述的问题，本技术提供一种基板制程输送系统，其借由相邻接的多个板体作为承载多个基板的板体，并将可往返移动其位置的多个输送装置设于该些板体其同向且不相邻接的一侧，因而得以将前、后不同板体上的基板在同一时间内予以输送至下一个板体上，有效提升生产制造的效率，且可对应各种尺寸的基板。

技术实现思路

[0006]本技术的主要目的，提供一种基板制程输送系统，其利用相邻接的第一板体、第二板体与第三板体作为承载基板的板体，并将第一输送装置设于第一板体与第二板体其同向且不相邻接的一侧以平行于该一侧的方式往返移动，第二输送装置则设于第二板体与第三板体其同向且不相邻接的一侧以平行于该一侧的方式往返移动，以使第一板体上的基板在往第二板体上输送的同时，将第二板体上的基板输送至第三板体上，而可有效提升生
产制造的效率及对应各种尺寸的基板。
[0007]为了达到上述的目的，本技术揭示了一种基板制程输送系统，其包含：一第一板体、一第二板体、一制程作业装置、一第三板体、一第一输送装置与一第二输送装置，其中，该第一板体、该第二板体与该第三板体三者以一条线的方式相邻接，该第一板体、该第二板体与该第三板体上分别设有至少一第一支撑装置、至少一第二支撑装置与至少一第三支撑装置，该制程作业装置设置于该第二板体的上方，该第一输送装置设于该第一板体与该第二板体其同向且不相邻接的一侧，以平行于该一侧的方式往返移动，以及该第二输送装置设于该第二板体与该第三板体其同向且不相邻接的一侧，以平行于该一侧的方式往返移动；当置放在该第二板体上的一第二基板于经该制程作业装置完成制程时，该第二基板借由该至少一第二支撑装置的支撑，与该第二板体间保持一适当间隔，并随即由该第二输送装置将该第二基板从该第二板体上输送至该第三板体上，且续由该至少一第三支撑装置所支撑，以与该第三板体间保持一适当间隔，而同一时间内，该第一输送装置则将置放于该第一板体上，透过该至少一第一支撑装置的支撑以与该第一板体间保持一适当间隔的一第一基板，由该第一板体往该第二板体上输送，让该制程作业装置接续对该第一基板进行制程作业，一第三基板亦紧接着被传输至此基板制程输送系统，并经放置于该第一板体上。此基板制程输送系统非仅可以对应各种尺寸的基板，且可在不会刮伤基板的情形下，有效提升生产制造的效率。
附图说明
[0008]图1A与图1B：其为习知技术的一实施例的结构示意图；
[0009]图2A与图2B：其为习知技术的另一实施例的结构示意图；
[0010]图3A与图3B：其为本技术的一实施例的俯视图；
[0011]图4A：其为本技术的一实施例的第一固定件吸附基板的左视图；
[0012]图4B：其为本技术的一实施例的第二固定件吸附基板的左视图；
[0013]图4C：其为本技术的一实施例的第一固定件吸附的剖面示意图；
[0014]图4D：其为本技术的一实施例的第二固定件吸附的剖面示意图；
[0015]图5A：其为本技术的一实施例的第一输送装置移动至第二板体，以及第一固定件下降的左视图；
[0016]图5B：其为本技术的一实施例的第二输送装置移动至第三板体，以及第二固定件下降的左视图；
[0017]图6A与图6B：其为本技术的一实施例的复位示意图；
[0018]图7A与图7B：其为本技术的另一实施例的俯视图；
[0019]图8A：其为本技术的另一实施例的第一固定件吸附基板的左视图；
[0020]图8B：其为本技术的另一实施例的第二固定件吸附基板的左视图；
[0021]图9A与图9C：其为本技术的另一实施例的第一输送装置移动至第二板体，以及第一固定件上升的左视图；
[0022]图9B与图9D：其为本技术的另一实施例的第二输送装置移动至第三板体，以及第二固定件上升的左视图；
[0023]图10A与图10B：其为本技术的另一实施例的复位示意图；
[0024]图11：其为本技术的另一实施例的第一支架的旋转示意图；以及
[0025]图12：其为本技术的另一实施例的俯视图。
[0026]【图号对照说明】
[0027]1’
习知基板输送装置
[0028]2’
习知基板输送装置
[0029]1基板制程输送系统
[0030]10第一板体
[0031]102第一支撑装置
[0032]104第一供气装置
[0033]12第二板体
[0034]122第二支撑装置
[0035]124第二供气装置
[0036]14第三板体
[0037]142第三支撑装置
[0038]144第三供气装置
[0039]2基板制程输送系统
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基板制程输送系统，其特征在于，其包含：一第一板体，其上设有至少一第一支撑装置；一第二板体，其上设有至少一第二支撑装置；一制程作业装置，设置于该第二板体的上方；一第三板体，其上设有至少一第三支撑装置；其中，该第一板体、该第二板体与该第三板体三者以一条线的方式相邻接；一第一输送装置，设于该第一板体与该第二板体其同向且不相邻接的一侧，以平行于该一侧的方式往返移动；以及一第二输送装置，设于该第二板体与该第三板体其同向且不相邻接的一侧，以平行于该一侧的方式往返移动；其中，当置放在该第二板体上的一第二基板于经该制程作业装置完成制程时，该第二基板借由该至少一第二支撑装置的支撑，与该第二板体间保持一适当间隔，并随即由该第二输送装置将该第二基板从该第二板体上输送至该第三板体上，并续由该至少一第三支撑装置所支撑，以与该第三板体间保持一适当间隔，而同一时间内，该第一输送装置则将置放于该第一板体上，透过该至少一第一支撑装置的支撑以与该第一板体间保持一适当间隔的一第一基板，由该第一板体往该第二板体上输送，让该制程作业装置接续对该第一基板进行制程作业，紧接着，一第三基板被传输至本权利要求所述的基板制程输送系统，并经放置于该第一板体上。2.如权利要求1所述的基板制程输送系统，其特征在于，其中该第一支撑装置、该第二支撑装置及该第三支撑装置为气浮式、滚轮式或滚珠式装置。3.如权利要求1所述的基板制程输送系统，其特征在于，其中该第一输送装置包含：一第一座体，设于该第一板体与该第二板体其同向且不相邻接的该一侧；一第一支持件，设置于该第一座体上；以及一第一固定件，连动于该第一支持件，该第一支持件带动该第一固定件升降，以让该第一固定件固持该第一基板；其中，该第一板体与该第二板体其同向且不相邻接的该一侧更设有与该一侧平行的一导轨，该第一座体于该导轨上往返移动其位置，以将该第一基板从该第一板体上输送至该第二板体上。4.如权利要求1所述的基板制程输送系统，其特征在于，其中该第一输送装置包含：一第一座体，设于该第一板体与该第二板体其同向且不相邻接的该一侧；一第一支持件，设置于该第一座体上；一第一支架，设置于该第一支持件上；以及一第一固定件，连接于该第一支架，该第一支持件带动该第一支架移动，以让该第一固定件固持该第一基板；其中，该第一板体与该第二板体其同向且不相邻接的该一侧更设有与该一侧平行的一导轨，该第一座体于该导轨上往返移动其位置，以将该第一基板从该第一板体上输送至该第二板体上。5.如权利要求3或4所述的基板制程输送系统，其特征在于，其中该第一座体包含至少一第一驱动装置，以使该第一座体于该导轨上往返移动。
6.如权利要求3所述的基板制程输送系统，其特征在于，其中该第一支持件包含至少一第二驱动装置，以使该第一固定件升降。7.如权利要求4所述的基板制程输送系统，其特征在于，其中该第一支持件包含至少一第三驱动装置，以使该第一支架移动。8.如权利要求1所述的基板制程输送系...

【专利技术属性】
技术研发人员：叶东益，
申请(专利权)人：晶彩科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：