一种硅片预清洗用脱胶装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及硅片加工技术领域，且公开了一种硅片预清洗用脱胶装置，包括槽箱，所述槽箱底部固定连接有支腿，所述槽箱一侧固定连接有横向滑台，所述横向滑台上固定安装有竖向滑台，所述竖向滑台上固定安装有竖杆，所述竖杆顶端固定连接有安装框，所述安装框内侧安装有干燥装置，所述安装框底部固定连接有竖板。该硅片预清洗用脱胶装置，可将硅片安装在两个限位杆之间，通过横向滑台和竖向滑台可以带动安装框移动，进而将硅片放入槽箱内，启动电动推杆可以控制电动推杆收缩，可带动折叠伸缩架伸长，进而使硅片均匀分散，调节相邻硅片的间距，可使硅片与脱胶液接触更加充分，提高了清洗效率。洗效率。洗效率。

【技术实现步骤摘要】
一种硅片预清洗用脱胶装置


[0001]本技术涉及硅片加工
，具体为一种硅片预清洗用脱胶装置。

技术介绍

[0002]硅片的清洁度时影响硅片合格率的关键因素，硅片一般在进行线切割后需要经过脱胶清洗和精细清洗两个部分，其中脱胶清洗虽然对工艺要求不高，但也是获得清洁片的重要工序，其过程涉及到物理处理、化学处理和超声波处理等。
[0003]在目前的硅片脱胶过程中，一般通过自动化设备将装有多个硅片的花篮放置在含有脱胶液的槽箱中，但是由于现有花篮中的硅片间距小，间距间脱胶液流动性差，容易使部分硅片清洗不充分。

技术实现思路

[0004](一)解决的技术问题
[0005]针对现有技术的不足，本技术提供了一种硅片预清洗用脱胶装置，具备使用方便，高效等优点，解决了在目前的硅片脱胶过程中，一般通过自动化设备将装有多个硅片的花篮放置在含有脱胶液的槽箱中，但是由于现有花篮中的硅片间距小，间距间脱胶液流动性差，容易使部分硅片清洗不充分的问题。
[0006](二)技术方案
[0007]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种硅片预清洗用脱胶装置，包括槽箱，所述槽箱底部固定连接有支腿，所述槽箱一侧固定连接有横向滑台，所述横向滑台上固定安装有竖向滑台，所述竖向滑台上固定安装有竖杆，所述竖杆顶端固定连接有安装框，所述安装框内侧安装有干燥装置，所述安装框底部固定连接有竖板，所述安装框底部还设置有两个对称分布的安装装置，所述竖板上开设有两个滑槽，所述竖板上安装有两个驱动装置。
[0008]优选的，所述驱动装置包括固定块和活动块，所述固定块与活动块之间固定连接有电动推杆，所述活动块上固定连接有第一滑块，所述第一滑块与滑槽滑动连接。
[0009]优选的，所述安装装置包括滑轨，所述滑轨固定连接在安装框底部，所述滑轨底部设有多个均匀分布的限位杆，所述限位杆上开设有限位槽，所述限位杆顶端固定连接有第二滑块，所述第二滑块与滑轨滑动连接，多个所述限位杆之间通过折叠伸缩架连接，所述折叠伸缩架两端分别与固定块和活动块固定连接。
[0010]优选的，所述干燥装置包括活动框，所述活动框内侧固定安装有热风机，所述活动框一侧边缘与安装框铰接，所述活动框另一侧边缘固定连接有把手，所述活动框上还固定连接有限位耳。
[0011]优选的，所述槽箱侧面设置有排水口，所述排水口上固定设置有阀门。
[0012]优选的，所述槽箱侧面固定安装有控制器。
[0013]与现有技术相比，本技术提供了一种硅片预清洗用脱胶装置，具备以下有益
效果：
[0014]1、该硅片预清洗用脱胶装置，可将硅片安装在两个限位杆之间，通过横向滑台和竖向滑台可以带动安装框移动，进而将硅片放入槽箱内，启动电动推杆可以控制电动推杆收缩，可带动折叠伸缩架伸长，进而使硅片均匀分散，调节相邻硅片的间距，可使硅片与脱胶液接触更加充分，提高了清洗效率。
[0015]2、该硅片预清洗用脱胶装置，通过在安装框上设置有干燥装置，将硅片打捞后可启动热风机对硅片快速干燥，更加方便，此时控制折叠伸缩架伸长可以增大相邻硅片之间的间距，可提高干燥效率。
附图说明
[0016]图1为本技术的整体结构示意图；
[0017]图2为本技术安装框的俯视图；
[0018]图3为本技术图1的A部放大图；
[0019]图4为本技术限位杆的结构示意图。
[0020]其中：1、槽箱；2、横向滑台；3、竖向滑台；4、竖杆；5、安装框；6、竖板；7、滑槽；8、固定块；9、活动块；10、电动推杆；11、第一滑块；12、滑轨；13、限位杆；14、限位槽；15、第二滑块；16、折叠伸缩架；17、活动框；18、热风机；19、把手；20、限位耳；21、排水口。
具体实施方式
[0021]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0022]请参阅图1
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4，一种硅片预清洗用脱胶装置，包括槽箱1，实际应用中槽箱1内部灌注有脱胶液，槽箱1底部固定连接有支腿，槽箱1侧面固定安装有控制器，槽箱1一侧固定连接有横向滑台2，横向滑台2上固定安装有竖向滑台3，竖向滑台3上固定安装有竖杆4，横向滑台2和竖向滑台3均与现有技术中的电动滑台结构相同，可由控制系统实现自动控制，以便带动硅片的横向和竖向移动，竖杆4顶端固定连接有安装框5，安装框5设置为U形，安装框5由不锈钢材料制成，安装框5内侧安装有干燥装置，干燥装置包括活动框17，活动框17设置为长方形框体，活动框17由不锈钢材料制成，活动框17内侧固定安装有热风机18，活动框17一侧边缘与安装框5铰接，活动框17另一侧边缘固定连接有把手19，活动框17上还固定连接有限位耳20，实际应用中，可手持把手19转动活动框17，方便安装和拆卸硅片，当活动框17放置在安装框5使，限位耳20搭接在安装框5上，实现位置限定，安装框5底部固定连接有竖板6，安装框5底部还设置有两个对称分布的安装装置，安装装置包括滑轨12，滑轨12固定连接在安装框5底部，滑轨12底部设有多个均匀分布的限位杆13，限位杆13上开设有限位槽14，限位杆13顶端固定连接有第二滑块15，第二滑块15与滑轨12滑动连接，多个限位杆13之间通过折叠伸缩架16连接，折叠伸缩架16两端分别与固定块8和活动块9固定连接，折叠伸缩架16的结构和伸缩原理为常见技术，在此不做过多赘述，实际应用时限位杆13与折叠伸缩架16上的交叉点活动连接，折叠伸缩架16伸长时交叉点均匀分散，进而带动限位杆13均
匀分散，以此实现调节硅片间距的效果，竖板6上开设有两个滑槽7，竖板6上安装有两个驱动装置，驱动装置包括固定块8和活动块9，固定块8与活动块9之间固定连接有电动推杆10，初始状态下电动推杆10处于伸长状态，活动块9上固定连接有第一滑块11，第一滑块11与滑槽7滑动连接。
[0023]槽箱1侧面设置有排水口21，排水口21上固定设置有阀门，转动阀门即可打开排水口21，以便排出内部废液。
[0024]在使用时，首先将硅片放置在两个限位杆13之间，使硅片边缘位于限位槽14内，然后启动横向滑台2和竖向滑台3分别控制安装框5的横向移动和竖向移动，可以将硅片放置在槽箱1内，此时可以根据需求控制电动推杆10收缩，电动推杆10收缩时可以带动折叠伸缩架16伸长，进而使限位杆13等间距的均匀分散，使硅片侧面和槽箱1内的脱胶液充分接触，此时还可以通过竖向滑台3控制竖杆4上下往复运动，可以带动硅片在槽箱1内上下往复移动，实现更充分的反应；
[0025]清洗完毕后，控制竖向滑台3可以带动竖杆4上移，进而带动硅片移动至槽箱1顶部，此时启动热风机18可以吹出热风，对硅片本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅片预清洗用脱胶装置，包括槽箱(1)，其特征在于：所述槽箱(1)底部固定连接有支腿，所述槽箱(1)一侧固定连接有横向滑台(2)，所述横向滑台(2)上固定安装有竖向滑台(3)，所述竖向滑台(3)上固定安装有竖杆(4)，所述竖杆(4)顶端固定连接有安装框(5)，所述安装框(5)内侧安装有干燥装置，所述安装框(5)底部固定连接有竖板(6)，所述安装框(5)底部还设置有两个对称分布的安装装置，所述竖板(6)上开设有两个滑槽(7)，所述竖板(6)上安装有两个驱动装置。2.根据权利要求1所述的一种硅片预清洗用脱胶装置，其特征在于：所述驱动装置包括固定块(8)和活动块(9)，所述固定块(8)与活动块(9)之间固定连接有电动推杆(10)，所述活动块(9)上固定连接有第一滑块(11)，所述第一滑块(11)与滑槽(7)滑动连接。3.根据权利要求2所述的一种硅片预清洗用脱胶装置，其特征在于：所述安装装置包括滑轨(12)，所述滑轨(12)固定连接在安装框(5)...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈锋，沈国君，陆勇，刘太盛，
申请(专利权)人：浙江众晶电子有限公司，
类型：新型
国别省市：