使用喷雾法的纳米复合磁体制造方法技术

通过用喷雾法将组成式为：（Ｆｅ＃－［１－ｍ］Ｔ＃－［ｍ］）＃－［１００－ｘ－ｙ－ｚ］Ｑ＃－［ｘ］Ｒ＃－［ｙ］Ｔｉ＃－［ｚ］Ｍ＃－［ｎ］的合金熔体急冷，制造稀土类合金粉末。其中，Ｔ是选自Ｃｏ和Ｎｉ的１种以上的元素，Ｑ是至少１种选自Ｂ和Ｃ的元素，Ｒ是至少１种选自稀土类金属元素和钇的元素，Ｍ是至少１种选自Ｎｂ、Ｚｒ、Ｍｏ、Ｔａ和Ｈｆ的元素。另外，组成比ｘ、ｙ、ｚ、ｍ和ｎ分别满足１０＜ｘ≤２５原子％，６≤ｙ＜１０原子％，０．１≤ｚ≤１２原子％，０≤ｍ≤０．５％，０≤ｎ≤１０原子％。通过向合金添加Ｔｉ，可抑制急冷过程中α－Ｆｅ相的析出和成长。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及。
技术介绍
作为以往的小型电容器，已经知道是在陶瓷或环氧树脂等具有较大刚性的基板上，形成薄膜电介质层及金属膜构成的电极部分。但是，对于这样的电容器，由于薄膜电介质层或电极部分虽然能够做得很薄，但若这种基板没有一定程度的厚度(例如0.5mm)，则有裂开损伤的危险，因此作为电容器要减薄厚度有一定限度，厚度连1mm也没有的产品很难用这样的电容器。作为适应这一要求的电容器，例如日本专利特开平11-97287号公报等所揭示的，有采用厚度为0.1mm一下的具有很大柔性的聚酰亚胺等有机树脂基板等构成的薄膜状柔性基板的电容器。根据这种电容器，即使减薄柔性基板，但由于该柔性基板本身能够弯曲，因此也不会产生裂开损伤，由于能够减薄其厚度，因此作为整个电容器也能够进一步减薄厚度，能够用于厚度为1mm左右的IC卡或1mm一下厚度的薄型产品。这种电容器例如图23(a)至(c)所示那样制造。首先，如图23(a)所示，从具有很大柔性的薄膜状柔性基板101的两侧面至上表面，形成相互具有间隙102并称为非导通状态的下部电极103及外部引出电极104。然后，横跨下部电极103及外部引出电极104，在它们的上表面形成电介质105后；如图23(b)所示，在电介质105的与外部引出电极104对应位置，贯通形成接触孔用的孔105a，在包含该孔105a的电介质105上形成上部电极106，使上部电极106与外部引出电极104导通。另外，在这以后，根据需要在它们的上面形成保护层107。通过这样，如图23(c)所示，构成用下部电极103与上部电极106夹住电介质105而形成电容量的电容器。在这种情况下通过采用薄的柔性基板101，同时形成薄的下部电极103、外部引出电极104、电介质105及上部电极106等，能够构成极薄的电容器。而且，由于采用柔性基板101，因此作为柔性基板101即使采用薄的基板，该基板部分也不会产生裂开损伤这样的问题。另外，具有多层电介质105A及105B和上部电极106A及106B的电容器，例如像图24(a)至(d)所示那样制造。首先，如图24(a)所示，从具有很大柔性的薄膜状柔性基板101的两侧面至上表面，形成相距具有间隙102的成为非导通状态的下部电极103及外部引出电极104。然后，如图24(b)所示，在细部电极103的上表面部分及外部引出电极104的上表面部分形成第一电介质105A后，在第一电介质105A的上表面及外部引出电极104的上表面形成第一上部电极106A，同时形成第一上部电极106A的一部分，使其向外部引出电极104上延伸，与外部引出电极104导通。然后，如图24(c)所示，在第一上部电极106A上形成第二电介质105B在在其上形成第二上部电极106B，同时形成第二上部电极106B的一部分，使其在下部电极103上延伸，与下部电极103导通。在还需要多层电介质及上部电极时，重复这些电介质及上部电极的形成动作。另外，在这之后，根据需要在它们的上面形成保护层。通过这样，如图24(d)所示，构成用下部电极103与第一及第二上部电极106A及106B夹住第一及第二电介质105A及105B而形成电容量的电容器。在这种情况下，通过采用薄的柔性基板101，同时形成薄的下部电极103、外部引出电极104、电介质105A、105B、上部电极106A及106B等，能够构成极薄的电容器。另外，作为别的其他例子，如图25(a)所示，在薄膜状的柔性基板101的两侧面，形成与下部电极103连接的下部电极连接用的外部引出电极111及与上部电极106连接的上部电极连接用的外部引出电极104，横跨下部电极连接用的外部引出电极111的端面部分附近部位与柔性基板101的外部露出面，形成下部电极112，将下部电极112与下部电极连接用的外部引出电极111连接。然后，如图25(b)所示，横跨下部电极111及上部电极连接用的外部引出电极104，在它们的上面形成电介质105后，在电介质105的与下部电极连接用的外部引出电极111对应的位置，贯通形成孔105a，在包含该孔105a的电介质105上形成上部电极106，使上部电极106与外部引出电极104导通。另外，在这之后，根据需要在它们的上面形成保护层107。通过这样，构成用下部电极112与上部电极106夹住电介质105而形成的电容量的电容器。在这种情况下，也通过采用薄的柔性基板101，同时形成薄的下部电极连接用的外部引出电极11、上部电极连接用的外部引出电极104、下部电极112、电介质105及上部电极106等，能够构成极薄的电容器。这里，在图23所示的电容器中，如图26中放大所示，为了将上部电极106与外部引出电极104连接而在电介质105设置孔105a，该孔105a的壁面相对于柔性基板101形成近似垂直的角度(约80度至90度)，因而沿着该电介质105的孔105a形成的上部电极106的拐角106a、106b、106c及106d形成近似以接近直角的角度弯曲的形状。另外，下部电极103与外部引出电极104相互之间隔着间隙102相对的各端面，由于相对于柔性基板101形成近似垂直的角度，因此这些沿着间隙102形成的电介质105的拐角105b、105c、105d、105e及上部电极106的拐角106e、106f、106g、106h也形成近似以接近直角的角度弯曲的形状。另外，在图24所示的电容器中，如图27中方法所示，由于为了将第一及第二上部电极106A及106B与外部引出电极104及下部电极103连接而向下方延伸的下延部分106i及106j这样形成，使得分别相对的第一及第二电介质105A及105B的端面105s及105p以近似垂直的角度垂直设置在下部电极103及第一上部电极106A上，因此相应第一及第二上部电极106A及106B的上端及下端的拐角106k、106m、106n及106o形成近似以接近直角的角度弯曲的形状。再有，在图25所示的电容器中，如图28中放大所示，由于与下部电极112连接的下部电极连接用的外部引出电极111的端面111a相对于柔性基板101形成近似垂直的角度，因此沿着该端面111a形成的下部电极112的拐角112a、112b也形成近似以接近直角的角度弯曲的形状。然而，这只能够用柔性基板101的电容的性质，它具有能够制成极薄厚度的优点，但反过来由于采用柔性基板101，因此比较容易变形，因而，在采用电容的薄型产品产生振动等由外部作用比较小的应力(外力)时，或者因各构成部分材料的温度引起膨胀率不同而产生应力时，在刚性大的技术材料部分就受到该应力，特别是在厚度薄的电极部分即上部电极106、106A、106B及下部电极103、112中，在近似弯曲成直角的前述拐角106a至106o、112a及112b的部位，存在应力集中的危险。这样，在上部电极106、106A、106B及下部电极112的拐角112a、112b多次重复产生应力集中，万一产生裂纹等情况下，由可能裂纹扩大变成切断状态，或者因裂纹使能够通电的部分变细，或者在比较大的电流流过时裂纹扩大变成切断状态。另外，特别时在蒸镀形成上部电极116、116A、116B及下部电极112时，由于其拐角116a至116o、112a及112b等本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种铁基稀土类合金纳米复合磁体粉末，其特征是：组成式为（Ｆｅ↓［１－ｍ］Ｔ↓［ｍ］）↓［１００－ｘ－ｙ－ｚ］Ｑ↓［ｘ］Ｒ↓［ｙ］Ｔｉ↓［ｚ］Ｍ↓［ｎ］（Ｔ是选自Ｃｏ和Ｎｉ的１种以上的元素，Ｑ是至少１种选自Ｂ和Ｃ的元素，Ｒ是至少１种选自稀土类金属元素和钇的元素，Ｍ是至少１种选自Ｎｂ、Ｚｒ、Ｍｏ、Ｔａ和Ｈｆ的元素）， 组成比ｘ、ｙ、ｚ、ｍ和ｎ分别满足 １０＜ｘ≤２５ 原子％ ６≤ｙ＜１０ 原子％ ０．１≤ｚ≤１２ 原子％ ０≤ｍ≤０．５ ０≤ｎ≤１０ 原子％ 用喷雾法制作，并且含有两种以上的强磁性晶相，硬磁性相的平均尺寸在１０ｎｍ以上２００ｎｍ以下，软磁性相的平均尺寸在１ｎｍ以上１００ｎｍ以下。

【技术特征摘要】
JP 2001-7-31 2001-2315601.一种电容器，其特征在于，包括柔性基板、在所述柔性基板上形成相互具有间隙并成为非导通状态的上部电极连接用的外部引出电极及下部电极、横跨所述外部引出电极的上表面及所述下部电极的上表面形成的电介质、以及夹住所述电介质与所述下部电极相对配置的上部电极，在所述电介质中形成从面对所述上部电极的下表面一侧起向面对所述外部引出电极的上表面一侧倾斜并贯通的孔，在所述电介质孔的倾斜壁面上，从该倾斜壁面的下端部至上端部，至少一部分设置相对于所述外部引出电极的上表面的倾斜角度在0.1度至20度的范围内连续的部分，所述上部电极沿所述电介质孔的倾斜壁面倾斜且下凹形成，与所述外部引出电极的的上表面连接。2.如权利要求1所述的电容器，其特征在于，在电介质孔的倾斜壁面上设置其上端拐角向下方的倾斜角度及其下端拐角向上方的倾斜角度分别为0.1度至20度的部分。3.如权利要求1或2所述的电容器，其特征在于，电介质孔是从面对上部电极的一侧向面对外部引出电极的一侧以倒圆锥形状或倒角锥形状贯通的形状。4.如权利要求1至3任一项所述的电容器，其特征在于，在上部电极形成沿电介质孔的倾斜壁面倾斜的倾斜面，在该上部电极的倾斜面上，从该倾斜面的下端部至上端部，至少一部分设置相对于所述外部引出电极的上表面的倾斜角度在0.1度至20度的范围内连续的部分。5.如权利要求4所述的电容器，其特征在于，在上部电极的倾斜面上设置其上端拐角向下方的倾斜角度及其下端拐角向上方的倾斜角度分别为0.1度至20度的部分。6.一种电容器制造方法，其特征在于，包括在柔性基板上形成上部电极连接用的外部引出电极及下部电极使其相互具有间隙并成为非导通状态的外部引出电极及下部电极形成工序；横跨所述外部引出电极的上表面及所述下部电极的上表面形成电介质的电介质形成工序；在所述电介质的与所述外部引出电极对应的位置是贯通形成使其壁面的至少一部分倾斜的孔、并且这时从所述倾斜壁面的下端部至上端部至少一部分设置相对于所述外部引出电极的上表面的倾斜角度在0.1度至20度的范围内连续的部分的孔形成工序；以及在包含所述孔的所述电介质上形成上部电极并使该上部电极与所述外部引出电极导通的上部电极形成工序。7.如权利要求6所述的电容器制造方法，其特征在于，在孔形成工序中，在使掩膜距离电介质隔开规定间隔的状态下，通过掩膜的孔使等离子流透过，通过这样在电介质中形成孔。8.如权利要求6或7所述的电容器制造方法，其特征在于，在孔形成工序中，在掩膜与电介质之间隔着隔膜。9.如权利要求7所述的电容器制造方法，其特征在于，在孔形成工序中，一面使掩膜移动，一面通过掩膜的孔使等离子流透过，通过这样在电介质中形成孔。10.一种电容器，其特征在于，包括柔性基板、在所述柔性基板上形成相互具有间隙并成为非导通状态的上部电极连接用的外部引出电极及下部电极、横跨所述外部引出电极的上表面及所述西部电极的上表面形成的电介质、以及夹住所述电介质与所述下部电极相对配置的上部电极，所述电介质的位于所述外部引出电极上方的壁面的至少一部分形成为从面对上部电极的下表面一侧向面对所述外部引出电极的上表面一侧向下方倾斜，在所述电介质的倾斜壁面上，从该倾斜壁面的下端部至上端部，至少一部分设置相对于所述外部引出电极的上表面的倾斜角度在0.1度至20度的范围内连续的部分，所述上部电极沿所述电介质的倾斜壁面倾斜形成，其下端部与所述外部引出电极的上表面连接。11.如权利要求10所述的电容器，其特征在于，在电介质的倾斜壁面上设置其上端拐角向下方的倾斜角度及其下端拐角向上方的倾斜角度分别为0.1度至20度的部分。12.如权利要求10或11所述的电容器，其特征在于，在上部电极形成沿电介质的倾斜壁面倾斜的倾斜面，在该上部电极的倾斜面上，从该倾斜面的下端部至上端部，至少一部分设置相对于所述外部引出电极的上表面的倾斜角度在0.1度至20度的范围内连续的部分。13.如权利要求12所述的电容器，其特征在于，在上部电极的倾斜面上设置其上端拐角向下方的倾斜角度极其下端拐角向上方的倾斜角度分别为0.1度至20度的部分。14.一种电容器制造方法，其特征在于，具有在柔性基板上形成上部电极连接用的外部引出电极及下部电极使其相互具有间隙并成为非导通状态的外部引出电极及下部电极形成工序；横跨所述外部引出电极的上表面及所述下部电极的上表面形成电介质的电介质形成工序；在所述电介质的与所述外部引出电极对应的位置形成亲写壁面、并且这时从该倾斜壁面的下端部至上端部至少一部分设置相对于所述外部引出电极的上表面的倾斜角度在0.1度至20度的范围内连续的部分的倾斜壁面形成工序；以及在包含所述倾斜壁面的所述电介质上形成上部电极并使该上部电极与所述外部引出电极导通的上部电极形成工序。15.一种电容器，其特征在于，包括柔性基板、在所述柔性基板上形成相互具有间隙并成为非导通状态的上部电极连接用的外部引出电极及下部电极、以及在所述下部电极的上方位置不别隔着电介质形成多层并通过向外部引出电极或下部电极一侧延伸的倾斜下延部分及连接部分与外部引出电极或下部电极连接的多个上部电极，各上部电极直接下方的电介质的面对倾斜下延部分的壁面形成为从面对该上部电极的下表面一侧向面对所述外部引出电极或下部电极的上表面一侧向下方倾斜，在全部电介质的倾斜壁面上，从该倾倾壁面的下端部至上端部，至少一部分设置相对于所述外部引出电极及下部电极的上表面的倾斜角度在0.1度~20度的范围内连续的部分。16.如权利要求15所述的电容器，其特征在于，在各电介质的倾斜壁面上设置其上端拐角向下方的倾斜角度及其下端拐角向上方的倾斜角度分别为0.1度至20度的部分。17.如权利要求15或16所述的电容器，其特征在于，在各上部电极的倾斜下延部分，从该倾斜下延部分的下端部至上端部，至少一部分设置相对于所述外部引出电极及下部电极的上表面的倾斜角度在0.1度至20度的范围内连续的部分。18.如权利要求17所述的电容器，其特征在于，在各上部电极的倾斜下延部分设置其上端拐角向下方的倾斜角度及其下端拐角向上方的倾斜角度分别为0.1度至20度的部分。19.一种电容器制造方法，其特征在于，包括在柔性基板上形成上部电极连接用的外部引出电极及下部电极使其相互具有间隙并成为非导通状态的外部引出电极及下部电极形成工序；以及在所述下部电极的上方位置分别隔着电介质形成多层上部电极、并且将各上部电极通过向外部引出电极或下部电极一侧延伸的倾斜下延部分及连接部分与外部引出电极或下部电极连接的电介质及上部电极形成工序，在所述电介质及上部电极形成工序中，各上部电极直接下方的电介质的面对倾斜下延部的壁面从面对该上部电极的下表面一侧向面对所述外部引出电极或下部电极的上表面一侧向下方倾斜，在全部电介质的倾斜壁面上，从该倾斜壁面的下端部至上端端，至少一部分设置相对于所述外部引出电极及下部电极的上表面的倾斜角度在0.1度至20度的范围内连续的部分，这样形成所述电介质的倾斜壁面。20.如权利要求14或19所述的电容器制造方法，其特征在于，在形成电介质倾斜壁面的工序中，在使掩膜距离电介质隔开规定间隔的状态下进行溅射。21.如权利要求20所述的电容器制造方法，其特征在于，在形成电介质倾斜端部壁面的工序中，在掩膜与电介质之间隔着隔膜。22.如权利要求20所述的电容器制造方法，其特征在于，在形成电介质倾斜端部壁面的工序中，...

【专利技术属性】
技术研发人员：三次敏夫，金清裕和，广泽哲，
申请(专利权)人：株式会社新王磁材，
类型：发明
国别省市：JP[日本]