物品搬运设备制造技术

本发明专利技术适当地取得表示用于判定维护时期的物品搬运车的状态的信息。物品搬运设备（100）具备沿行进路径（1）行进来搬运物品的多个物品搬运车（3）、控制物品搬运车（3）的运行的控制装置，物品搬运设备（100）的行进路径（1）包括在用于使对象搬运车（3T）行进检查区域（E）中设定的路径（K），前述对象搬运车被从多个物品搬运车（3）中作为检查对象指定。对象搬运车具备检测正在行进的本车辆的行动的传感器。控制装置控制多个物品搬运车（3），使得在检查区域中仅存在一台对象搬运车，在检查区域中使对象搬运车以预先规定的检查行进模式行进。控制装置从正在以检查行进模式行进的对象搬运车取得基于传感器的检测结果的检查数据。得基于传感器的检测结果的检查数据。得基于传感器的检测结果的检查数据。

【技术实现步骤摘要】
物品搬运设备


[0001]本专利技术涉及具备控制装置和多个物品搬运车的物品搬运设备，前述多个物品搬运车沿规定的行进路径行进来搬运物品，前述控制装置控制物品搬运车的运行。

技术介绍

[0002]优选地，在适当地维护具备沿行进路径行进的物品搬运车的物品搬运设备的基础上，把握物品搬运车的消耗的程度。日本特开2018
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132332号公报中，公开了检查物品搬运车的车轮的磨损的程度的检查系统。该检查系统具备在多个车轮的各自的侧面设置的针对每个车轮固有的识别标记、从行进路径的侧方拍摄行进中的车轮的整体图像的拍摄装置，基于拍摄的图像数据，检查车轮的磨损的程度，并且借助识别标记进行检查对象的车轮的个体特定。
[0003]上述的检查系统能够适当地检查车轮的磨损。但是，正在搬运物品的物品搬运车在各种各样的行进条件下行进，所以有由于正在行进的物品搬运车的行动而车轮的姿势等也不同的情况。因此，检查结果上有产生不均的可能性。因此，优选地，能够使条件一致来适当地检查用于判定维护时期的物品搬运车的状态。

技术实现思路

[0004]鉴于上述背景，希望适当地取得表示用于判定维护时期的物品搬运车的状态的信息。
[0005]鉴于上述内容的物品搬运设备具备控制装置和多个物品搬运车，前述多个物品搬运车沿规定的行进路径行进来搬运物品，前述控制装置控制前述物品搬运车的运行，其特征在于，前述行进路径包括，在用于使对象搬运车行进的检查区域中设定的路径，前述对象搬运车被从多个前述物品搬运车中作为检查对象指定，前述对象搬运车具备检测正在行进的本车辆的行动的传感器，前述控制装置控制多个前述物品搬运车，使得在前述检查区域中仅存在一台前述对象搬运车，并且在前述检查区域中使该对象搬运车以预先规定的检查行进模式行进，前述控制装置从正在以前述检查行进模式行进的前述对象搬运车取得基于前述传感器的检测结果的检查数据。
[0006]根据该方案，借助传感器检测正在以预先规定的检查行进模式行进的对象搬运车的行动，控制装置取得该传感器得到的检查数据。因此，能够将物品搬运车的状态以相同条件取得。检查区域中控制成仅存在一台对象搬运车，所以对象搬运车能够在不受其他物品搬运车的影响的情况下在设定于检查区域中的路径以预先规定的检查行进模式行进。即，根据本方案，能够适当地取得表示用于判定维护时期的物品搬运车的状态的信息。
[0007]物品搬运设备的进一步的特征和优点根据关于参照附图说明的例示性且非限定性的实施方式的以下的记载而明确。
附图说明
[0008]图1是物品搬运设备的俯视图。
[0009]图2是物品搬运车的侧视图。
[0010]图3是物品搬运车的主视图。
[0011]图4是表示在分岔部直行的物品搬运车的行动的图。
[0012]图5是表示在分岔部分岔的物品搬运车的行动的图。
[0013]图6是示意地表示检查区域的一例的图。
[0014]图7是表示物品搬运设备的结构的一例的框图。
具体实施方式
[0015]以下，基于附图，对物品搬运设备的实施方式进行说明。如图1及图7所示，物品搬运设备100具备沿行进路径1设置的行进导轨2、沿行进路径1行进来搬运物品W的多个物品搬运车3、控制物品搬运车3的运行的设备控制器H(控制装置)。在本实施方式中，作为物品搬运车3，例示如后所述地在悬挂支承于顶棚的行进导轨2(参照图2、图3等)行进来将物品W悬挂支承地搬运的顶棚搬运车。此外，在本实施方式中，物品搬运车3将容纳半导体晶圆的FOUP(Front Opening Unified Pod)作为物品W搬运。如图1所示，在物品搬运设备100，具备多个对半导体晶圆进行各种处理的物品处理部P。物品搬运车3向多个物品处理部P搬运物品W。
[0016]以下，将沿行进路径1的方向称作路径长边方向X，上下方向Z观察时将相对于路径长边方向X正交的方向称作路径宽度方向Y来说明。此外，在行进路径1，将物品搬运车3的行进方向(物品搬运车3行进的方向)称作下游侧，将其相反侧称作上游侧来说明。
[0017]如图1所示，行进路径1具备一个环状的主路径1P、多个环状的副路径1S、连接主路径1P和副路径1S的连接路径1N。副路径1S分别经由多个物品处理部P而环状地形成，在分岔部1c和合流部1d与主路径1P连接。在连接路径1N，包括分岔部1c的分岔用的连接路径1N和合流部1d的合流用的连接路径1N，前述分岔部1c的分岔用的连接路径1N使物品搬运车3从主路径1P向副路径1S分岔行进，前述合流部1d的合流用的连接路径1N使物品搬运车3从副路径1S向主路径1P合流行进。物品搬运车3在主路径1P及多个副路径1S均沿相同环绕方向(在本实施方式中为顺时针)行进。另外，在图1中，将物品搬运车3的行进方向用箭头表示。
[0018]如图3所示，行进导轨2由左右一对导轨部7构成。如图2及图3所示，物品搬运车3具备在被从顶棚悬挂支承的行进导轨2上行进的行进部9、位于行进导轨2的下方而悬挂支承于行进部9的主体部10、从沿行进路径1配设的供电线11非接触地接受驱动用电力的受电部12。在主体部10具备支承机构13，前述支承机构13升降自如地装备于主体部10，将物品W以悬挂状态支承。
[0019]行进部9包括沿物品搬运车3的前后方向排列的第1行进部9F和第2行进部9R。第1行进部9F及第2行进部9R是同一结构，以下无需特别区别的情况下，仅作为行进部9说明。在行进部9具备行进用马达14、被行进用马达14旋转驱动的左右一对行进轮15。左右一对行进轮15在行进导轨2(左右一对导轨部7)的上表面滚动。此外，在行进部9，具备绕沿上下方向Z的纵轴心 (绕上下轴心)旋转的引导轮16。引导轮16在行进部9的左右的单侧被沿前后方向排列地配置两个，并且分别在行进部9的左右配置。即，引导轮16在一个行进部9分别具备四
个。引导轮16在左右一对导轨部7的互相相向的侧面滚动。引导轮16在路径长边方向X(沿行进路径1的方向)上离开的多个部位与行进导轨2接触。
[0020]在第1行进部9F及第2行进部9R，分别以比行进轮15的下端向下方突出的状态具备连结轴19。第1行进部9F的连结轴19和主体部10被绕沿上下方向Z的纵轴心能够相对旋转地连结。第2行进部9R的连结轴19和主体部10也被绕沿上下方向Z的纵轴心能够相对旋转地连结。即，第1行进部9F和第2行进部9R分别绕不同的纵轴心能够独立地旋转。
[0021]物品搬运车3通过行进部9的行进轮15被行进用马达14旋转驱动，行进部9的引导轮16被一对导轨部7引导，在路径宽度方向Y上的位置被限制的同时沿行进路径1行进。此外，物品搬运车3通过第1行进部9F及第2行进部9R相对于主体部10绕纵轴心摆动，曲线路径1b、分岔部1c、合流部1d等即使是曲线状的路径也能够沿行进路径1行进。
[0022]如图3~图5所示，在行进路径1的分岔部1c，具备在物品搬运车3的行进方向上观察截面形状形成为T字形的引导导轨4。此外，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种物品搬运设备，前述物品搬运设备具备控制装置和多个物品搬运车，前述多个物品搬运车沿规定的行进路径行进来搬运物品，前述控制装置控制前述物品搬运车的运行，其特征在于，前述行进路径包括，在用于使对象搬运车行进的检查区域中设定的路径，前述对象搬运车被从多个前述物品搬运车中作为检查对象指定，前述对象搬运车具备检测正在行进的本车辆的行动的传感器，前述控制装置控制多个前述物品搬运车，使得在前述检查区域中仅存在一台前述对象搬运车，并且在前述检查区域中使该对象搬运车以预先规定的检查行进模式行进，前述控制装置从正在以前述检查行进模式行进的前述对象搬运车取得基于前述传感器的检测结果的检查数据。2.如权利要求1所述的物品搬运设备，其特征在于，前述传感器检测使前述对象搬运车行进的马达的转矩、前述对象搬运车的车轮或与前述车轮联动的旋转部件的旋转速度、前述对象搬运车的振动...

【专利技术属性】
技术研发人员：萩原孝一，正村彰太，
申请(专利权)人：株式会社大福，
类型：发明
国别省市：