一种伯努利吸盘装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种伯努利吸盘装置，包括底板、气囊、伯努利吸盘体、伯努利吸盘、弹簧连接件以及气管接头；所述伯努利吸盘体通过所述气囊压设于所述底板上，所述伯努利吸盘设在所述伯努利吸盘体上并连接所述气管接头；所述伯努利吸盘上开设有多个通气孔；所述弹簧连接件的数量为多个，分布于所述伯努利吸盘的下表面，且底端连接在底板上；所述伯努利吸盘体连同所述伯努利吸盘在所述气囊进气鼓起时被顶离所述底板一定位移，并在所述气囊停止进气后，通过所述弹簧连接件的回弹作用而复位。本实用新型专利技术可实现产品的自动上下料操作，设备操作及控制更灵活，效率高。效率高。效率高。

【技术实现步骤摘要】
一种伯努利吸盘装置


[0001]本技术涉及半导体行业自动化设备
，更具体地，涉及一种伯努利吸盘装置。

技术介绍

[0002]针对一些厚度薄且极其精密和脆弱的工件物料，如半导体行业的晶圆、光伏行业中的电池片等，不适合手工操作，效率低且影响产品加工品质，因此，需要有吸盘装置匹配机械手等移料机构来实现物料的上下料操作。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于克服现有技术的不足，提供一种伯努利吸盘装置，能在上料时将物料顶起至料槽上，也能实现料槽上的物料的下料。
[0004]为了达成上述目的，本技术的解决方案是：
[0005]一种伯努利吸盘装置，包括底板、气囊、伯努利吸盘体、伯努利吸盘、弹簧连接件以及气管接头；所述伯努利吸盘体通过所述气囊压设于所述底板上，所述伯努利吸盘设在所述伯努利吸盘体上并连接所述气管接头；所述伯努利吸盘上开设有多个通气孔；所述弹簧连接件的数量为多个，分布于所述伯努利吸盘的下表面，且底端连接在底板上；所述伯努利吸盘体连同所述伯努利吸盘在所述气囊进气鼓起时被顶离所述底板一定位移，并在所述气囊停止进气本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种伯努利吸盘装置，其特征在于：包括底板、气囊、伯努利吸盘体、伯努利吸盘、弹簧连接件以及气管接头；所述伯努利吸盘体通过所述气囊压设于所述底板上，所述伯努利吸盘设在所述伯努利吸盘体上并连接所述气管接头；所述伯努利吸盘上开设有多个通气孔；所述弹簧连接件的数量为多个，分布于所述伯努利吸盘的下表面，且底端连接在底板上；所述伯努利吸盘体连同所述伯努利吸盘在所述气囊进气鼓起时被顶离所述底板一定位移，并在所述气囊停止进气后，通过所述弹簧连接件的回弹作用而复位。2.如权利要求1所述的一种伯努利吸盘装置，其特征在于：所述伯努利吸盘分为治具吸盘和物料吸盘，且所述物料吸盘位于所述治具吸盘的内圈，所述治具吸盘和所述物料吸盘上均设有多个通气孔。3.如权利要求2所述的一种伯努利吸盘装置，其特征在于：还包括物料治具，所述物料治具包括治具本体、扣紧锁及物料空置槽，所述治具本体为环形结构并与所述治具吸盘相对应，所述物料空置槽位于所述治具本体的内圈与物料吸盘相对应，所述扣紧锁...

【专利技术属性】
技术研发人员：续振林，李山水，李毅峰，朱石宝，陈妙芳，
申请(专利权)人：厦门柔性电子研究院有限公司，
类型：新型
国别省市：