【技术实现步骤摘要】
一种上下料设备的吸盘翻转装置
[0001]本技术涉及半导体行业自动化设备
，更具体地，涉及一种上下料设备的吸盘翻转装置。
技术介绍
[0002]晶圆是指硅半导体集成电路制作的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆，在晶圆上电镀一层导电金属，并对导电金属层进行加工以制成导电线路。在半导体行业自动化制程中，经常需要让晶圆绕着其中心进行上下翻转。在翻转过程中，需要晶圆中心和旋转轴中心之间具有很高的同心度要求，并且，对翻转到位的角度准确性也有着很高的要求。比如电镀制程，是制作这些金属层的关键工艺之一，而现有晶圆电镀设备，特别是垂直型晶圆电镀设备的晶圆电镀上下料操作通常采用手工操作，导致晶圆上下料效率低，同时，手工操作也影响晶圆电镀品质。
技术实现思路
[0003]本技术的目的在于克服现有技术的不足，提供一种上下料设备的吸盘翻转装置，能自动实现对竖直的目标料槽进行上下料。
[0004]为了达成上述目的，本技术的解决方案是：
[0005]一种上下料设备的吸盘翻转装置，包括P轴翻转驱动组件、翻转支撑组件以及
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种上下料设备的吸盘翻转装置，其特征在于：包括P轴翻转驱动组件、翻转支撑组件以及上下料吸盘组件；所述P轴翻转驱动组件具有一P向翻转轴，所述翻转支撑组件枢接于所述P向翻转轴上；所述翻转支撑组件具有一W旋转轴；所述上下料吸盘组件连接在所述W旋转轴上；且所述P轴翻转驱动组件驱动所述翻转支撑组件在沿P轴翻转时，能带动所述上下料吸盘组件处于水平或竖直状态，所述翻转支撑组件驱动所述上下料吸盘组件旋转一定小角度，从而能对竖直目标料槽完成产品的上料或下料；其中，P向翻转轴与W旋转轴垂直。2.如权利要求1所述的一种上下料设备的吸盘翻转装置，其特征在于：所述P轴翻转驱动组件进一步包括固定架、电机固定板、丝杆电机、浮动板和导柱；所述P向翻转轴设于所述固定架的顶部；所述电机固定板固定连接于所述固定架上，所述丝杆电机自下而上设在所述电机固定板的底面，所述浮动板上设有丝杆配合孔、导柱孔以及连杆枢轴，并通过所述丝杆配合孔与所述丝杆电机的丝杆配合连接。3.如权利要求2所述的一种上下料设备的吸盘翻转装置，其特征在于：所述P轴翻转驱动组件还包括X向滑台、所述X向滑台连接在所述固定架的底部并能没X向滑动，从而靠近或远离所述竖直目标料槽。4.如权利要求2所述的一种上下料设备...
【专利技术属性】
技术研发人员：续振林，李山水，李毅峰，朱石宝，陈妙芳，
申请(专利权)人：厦门柔性电子研究院有限公司，
类型：新型
国别省市：
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