一种用于新能源锂电膜厚度测量的光学系统，包括：可调谐光源，产生可选择波长的光波；分束器，将光波分为入射和反射光束；与被测膜层相对的干涉腔，使入射光束垂直入射到被测膜层表面；光学检测器，用于收集膜层反射的光信号；数据处理单元，通过分析收集到的反射光信号来计算膜层厚度；这使得系统能够更全面地了解被测膜层的光学性质；数据处理单元使用预定的计算模型，将相位差转换为膜层的厚度；这种模型化的方法使得对测量数据的分析更为系统和可靠；该系统具有一定的灵活性，可以适应不同材料、不同膜层结构和实验条件。通过调整干涉模型和建立相位差与厚度的关系，可以实现对多种样品的测量。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及膜厚度检测领域，具体为一种用于新能源锂电膜厚度测量的光学系统。
技术介绍
1、目前新能源锂电膜测量主要有利用光学干涉原理进行膜层厚度测量已经被广泛应用。这包括使用干涉条纹、薄膜光谱等方法，优点包括非接触性和高精度，但在复杂结构或非均匀性薄膜的情况下可能存在挑战；xas技术可以用于锂膜的原位测量，通过测量x射线在薄膜中的吸收特征，从而推断膜的厚度，不足之处可能包括设备复杂、成本高昂，以及需要专业知识进行分析；eis可以用于监测锂膜在电池中的变化，包括厚度变化，然而，该方法可能受到电池工作条件的限制，且难以提供高精度的厚度测量；afm可以提供高分辨率的表面拓扑图像，但可能需要特殊样品准备，并且适用于较小尺度的薄膜；超声波技术可以用于测量薄膜的厚度，但在某些情况下可能受到材料的声学特性的限制。
2、因此，急需一种便于实施且精确度高的锂电膜厚度测量的方法。
技术实现思路
1、本专利技术提供一种用于新能源锂电膜厚度测量的光学系统，旨在解决上述
技术介绍
提出的问题。
>2、本专利技术是这本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种用于新能源锂电膜厚度测量的光学系统，其特征在于：包括：可调谐光源，产生可选择波长的光波；分束器，将光波分为入射和反射光束；与被测膜层相对的干涉腔，使入射光束垂直入射到被测膜层表面；光学检测器，用于收集膜层反射的光信号；数据处理单元，通过分析收集到的反射光信号来计算膜层厚度。
2.如权利要求1所述的一种用于新能源锂电膜厚度测量的光学系统，其特征在于：所述可调光源包括激光二极管、外腔激光二极管、外腔激光二极管阵列、激光二极管阵列中的一种，用于在一定范围内改变输出光波波长的光源。
3.如权利要求2所述的一种用于新能源锂电膜厚度测量的光学系统，其特征在于：所述光学...
【技术特征摘要】
1.一种用于新能源锂电膜厚度测量的光学系统，其特征在于：包括：可调谐光源，产生可选择波长的光波；分束器，将光波分为入射和反射光束；与被测膜层相对的干涉腔，使入射光束垂直入射到被测膜层表面；光学检测器，用于收集膜层反射的光信号；数据处理单元，通过分析收集到的反射光信号来计算膜层厚度。
2.如权利要求1所述的一种用于新能源锂电膜厚度测量的光学系统，其特征在于：所述可调光源包括激光二极管、外腔激光二极管、外腔激光二极管阵列、激光二极管阵列中的一种，用于在一定范围内改变输出光波波长的光源。
3.如权利要求2所述的一种用于新能源锂电膜厚度测量的光学系统，其特征在于：所述光学检测器，收集的光信号包括波长，薄膜的折射率相关参数。
4.如权利要求3所述的一种用于新能源锂电膜厚度测量的光学...
【专利技术属性】
技术研发人员：朱时华，李能彬，续振林，陈妙芳，
申请(专利权)人：厦门柔性电子研究院有限公司，
类型：发明
国别省市：
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