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一种用于新能源锂电膜厚度测量的光学系统，包括：可调谐光源，产生可选择波长的光波；分束器，将光波分为入射和反射光束；与被测膜层相对的干涉腔，使入射光束垂直入射到被测膜层表面；光学检测器，用于收集膜层反射的光信号；数据处理单元，通过分析收集到的...
该专利属于厦门柔性电子研究院有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过厦门柔性电子研究院有限公司授权不得商用。

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