一种UV解胶机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种UV解胶机，包括机器本体、安装外壳和放置托盘，机器本体的一侧固定安装有安装外壳，安装外壳的底部固定连接有设备箱，安装外壳的内壁转动连接有放置托盘，放置托盘的底部固定连接有连接柱，连接柱与设备箱的内底壁转动连接，连接柱的一侧设有驱动部，安装外壳的上表面分别开设有进料洞口和出料洞口，出料洞口的一侧设有移动机构，出料洞口的下方设有推动机构。本实用新型专利技术通过放置托盘和驱动部的设置，在使用时，人员可将料环通过进料洞口处放入放置托盘内，通过驱动部转动将放置托盘上的晶圆依次转入机器本体内进行解胶处理，这样相比现有的解胶工序，可提升生产效率，节省该工序操作时间，方便人员使用。方便人员使用。方便人员使用。

【技术实现步骤摘要】
一种UV解胶机


[0001]本技术涉及解胶剂
，具体为一种UV解胶机。

技术介绍

[0002]在半导体芯片生产工艺中，芯片划片之前，要将晶圆片用划片胶膜固定在框架上，在划片工艺完成后，用UV光对固定胶膜进行照射，以降低划片固定膜的粘性，以便后续封装工序的顺利生产。
[0003]现有的工艺中，UV膜解胶过程一般由人工操作。人员打开UV机舱门，将载有UV膜和芯片的料环放入UV机，关闭UV机舱门，启动UV解胶程序，UV机内的UV光源开始对料环上的UV膜进行解胶，人员在UV机旁边等待UV过程，待解胶完成，人员将UV机舱门打开，将料环从UV机中取出。这一过程依赖人工，而且操作人员要消耗大量工时在UV机旁边等待，人员利用率低，生产效率低。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种UV解胶机以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种UV解胶机，包括机器本体、安装外壳和放置托盘，所述机器本体的一侧固定安装有安装外壳，所述安装外壳的底部固定连接有设备箱，所述安装外壳的内壁本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种UV解胶机，包括机器本体(1)、安装外壳(2)和放置托盘(3)，其特征在于：所述机器本体(1)的一侧固定安装有安装外壳(2)，所述安装外壳(2)的底部固定连接有设备箱(4)，所述安装外壳(2)的内壁转动连接有放置托盘(3)，所述放置托盘(3)的底部固定连接有连接柱(5)，所述连接柱(5)与设备箱(4)的内底壁转动连接，所述连接柱(5)的一侧设有驱动部(6)，安装外壳(2)的上表面分别开设有进料洞口(7)和出料洞口(8)，所述出料洞口(8)的一侧设有移动机构(9)，所述出料洞口(8)的下方设有推动机构(10)。2.根据权利要求1所述的一种UV解胶机，其特征在于：所述驱动部(6)包括驱动电机(601)、皮带轮(602)和传动带(603)，所述驱动电机(601)的输出端和连接柱(5)的表面均设有皮带轮(602)，所述皮带轮(602)之间传动连接有传动带(603)。3.根据权利要求1所述的一种UV解胶机，其特征在于：所述移动机构(9)包括支撑架(901)、安装电机(902)、内转盘(903)、外转盘(904)、第一联动杆(905)、第二联动杆(906)、第三联动杆(907)、T形架(908)和真空吸盘(909)，所述支撑架(901)的顶部固定连接有安装电机(902)，所述安装电机(902)的输出端固定连接有内转盘(903)，所述内转盘(903)的边缘转动连接有...

【专利技术属性】
技术研发人员：陶为银，巩铁建，蔡正道，张伟，
申请(专利权)人：河南通用智能装备有限公司，
类型：新型
国别省市：