过渡金属多重掺杂负温度系数单晶硅热敏电阻制造技术

技术编号:3103100 阅读:268 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术涉及一种过渡金属多重掺杂的负温度系数单晶硅热敏电阻,该热敏电阻采用涂源高温扩散方法,将过渡金属元素锰和铜作为掺杂剂,掺入P型单晶硅中;利用锰和铜在P型单晶硅中的杂质补偿性质,制备出珠状高B值低阻值热敏电阻,电学参数为50Ω-1.2KΩ,材料B值4100-4500K。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种过渡金属多重掺杂的负温度系数单晶硅热敏电阻,其特征在于采用涂源高温扩散方法,将过渡金属元素锰和铜作为掺杂剂,掺入P型单晶硅中,利用锰和铜在P型单晶硅中的杂质补偿,制备出珠状热敏电阻器。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:陈朝阳范艳伟丛秀云
申请(专利权)人:中国科学院新疆理化技术研究所
类型:发明
国别省市:65[中国|新疆]

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