一种振动辅助激光磁流变复合抛光装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及精密加工抛光技术领域，一种振动辅助激光磁流变复合抛光装置，其中三维运动平台具有两个运动端，磁流变抛光头运动机构和二维微振动模块分别安装在两个运动端，三维运动平台可通过第二运动端带动二维微振动模块在水平面内X方向运动，三维运动平台可通过第一运动端带动磁流变抛光头运动机构在水平面内垂直于X方向的Y方向运动以及垂直于水平面的Z方向运动，二维微振动模块使其上的工件形成水平面内的二维微振，磁流变抛光头运动机构用于通过磁流变方式驱动磁流变液抛光液在工件表面形成柔性缎带加工，以对工件进行剖光。本抛光装置解决了硬脆材料难加工、易损坏、磁流变抛光加工效率低的问题。流变抛光加工效率低的问题。流变抛光加工效率低的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种振动辅助激光磁流变复合抛光装置


[0001]本专利技术涉及精密加工抛光
，特别是一种振动辅助激光磁流变复合抛光装置。

技术介绍

[0002]硬脆材料(各种单质和化合物材料，如硅、锗、氮化硅等)由于其具有高硬度、高机械强度、耐腐蚀性好以及化学性能稳定等优点，而被广泛的应用于航空航天领域、医疗领域、微电子领域和光刻机等超精密领域中，但其突出的优点也导致常见加工方法难以保证其表面质量，超精密加工领域的苛刻要求又进一步提高了难度，因此，如何解决硬脆材料的难加工问题直接牵制相关产业的发展。
[0003]针对硬脆材料的难加工问题，随着研究人员的不断探索，磁流变抛光的方案开始受到人们的关注，磁流变抛光是利用磁流变液在磁场的作用下形成具有一定硬度与黏度的“凸起缎带”，通过不断变动的磁场，“凸起缎带”相对于工件流动而产生一个剪切力，实现对工件表面的材料去除，具有去除工件表面残余应力，抛光不产生亚表面损伤的优点，同时，由于磁流变液是循环使用的，所以磨具不会有任何损伤，也不会产生发热现象，因此，磁流变的这种特性适于对易产生损伤崩碎的脆性材料进行抛光本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种振动辅助激光磁流变复合抛光装置，其特征在于：包括三维运动平台、磁流变抛光头运动机构、激光器、氧气装置和二维微振动模块，其中，三维运动平台具有两个运动端，所述磁流变抛光头运动机构安装在第一运动端，所述二维微振动模块安装在第二运动端，所述三维运动平台可通过第二运动端带动二维微振动模块在水平面内X方向运动，所述三维运动平台可通过第一运动端带动磁流变抛光头运动机构在水平面内垂直于X方向的Y方向运动以及垂直于水平面的Z方向运动，所述二维微振动模块用于承载工件并使承载在其上的工件形成水平面内的二维微振，所述磁流变抛光头运动机构用于通过磁流变方式驱动磁流变液抛光液在工件表面形成柔性缎带加工，以对工件进行剖光，所述激光器的激光发射端朝向工件，所述氧气装置的氧气输出端朝向工件表面激光加工处并形成富氧加工环境。2.根据权利要求1所述的振动辅助激光磁流变复合抛光装置，其特征在于：所述二维微振动模块包括一体式振动平台和工件安装平台，所述一体式振动平台包括直线制动器、放大机构、三角形导向机构、中心运动平台、削弱耦合机构和装配框架，其中，装配框架中部具有镂空区，中心运动台置于镂空区，所述削弱耦合机构有四个，削弱耦合机构通过直梁柔性铰链使装配框架和中心运动平台连接，且四个所述削弱耦合机构以中心运动平台为中心环状布置，直线致动器安装在放大机构与装配框架之间，放大机构通过三角形导向机构与消弱耦合机构连接，所述中心运动平台通过控制输入相对垂直的两组所述直线制动器的驱动电信号，分别输出水平面内X向与Y向的位移，经过位移放大与位移导向，使中心运动平台形成二维振动。3.根据权利要求2所述的振动辅助激光磁流变复合抛光装置，其特征在于：处于同一方向上的两组所述消弱耦合机构构成对称分布的双平行四杆机构。4.根据权利要求1所述的振动辅助激光磁流变复合抛光装置，其特征在于：所述磁...

【专利技术属性】
技术研发人员：谷岩，林洁琼，付斌，孙琦，赵慧博，张森，刘思麟，周佰通，吴昊，李震，郭桌一，张佳宁，孙正哲，高英桓，王煜博，
申请(专利权)人：长春工业大学，
类型：发明
国别省市：