一种振动辅助辊式磁流变激光复合抛光装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及超精密加工领域，一种振动辅助辊式磁流变激光复合抛光装置，其中，X轴运动系统安装在Z轴运动系统的动力端，辊式磁流变激光复合抛光系统安装在X轴运动系统的运动端，辊式磁流变激光复合抛光系统可由X轴运动系统驱动在水平面内X方向直线移动，XY向振动平台安装在Y轴运动系统的运动端，XY向振动平台可由Y轴运动系统驱动在水平面内Y方向直线移动；被加工件置于XY向振动平台，该XY向振动平台用于使承载在其上的被加工件形成水平面内的二维振动，辊式磁流变激光复合抛光系统用于通过发出的磁场使被加工件通过磁流变抛光液形成柔性抛光效果。本抛光装置在提高抛光效率的基础上，获得更好的表面质量。获得更好的表面质量。获得更好的表面质量。

【技术实现步骤摘要】
一种振动辅助辊式磁流变激光复合抛光装置


[0001]本专利技术涉及超精密加工领域，特别是一种振动辅助辊式磁流变激光复合抛光装置。

技术介绍

[0002]以高温合金为代表的高硬度难加工材料以其高热稳定性、高耐磨性的特点广泛应用于制造机械加工刀具、航空发动机叶片、核反应堆和兵器等工业产品中。然而，其微观强化相硬度高、加工硬化严重、导热率低、切削区域的切削力和切削温度高，在一般切削条件下，经常出现刀具磨损严重、加工表面残余应力大和表面质量低等问题。高硬度难加工材料工作在复杂、恶劣的环境中，因此加工表面完整性对于性能的发挥具有重要的作用。
[0003]激光诱导氧化辅助加工是一种新兴的特种超精密加工方法，其原理是在富氧环境下，利用待加工材料的可氧化性，通过脉冲激光产生的热作用快速可控地熔融氧化工件上的材料，形成疏松、易去除的氧化层和再铸层，再通过进一步的常规加工方法去除氧化层和再铸层从而达到去除表面材料的目的，这种加工方法适合加工硬脆材料。但是在熔融状态下的材料容易产生热团聚，冷却后会形成颗粒较大的再铸层，增大材料去除难度。同时传统加工方法会产生本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种振动辅助辊式磁流变激光复合抛光装置，其特征在于：包括Z轴运动系统、X轴运动系统、Y轴运动系统、XY向振动平台和辊式磁流变激光复合抛光系统，其中，X轴运动系统安装在Z轴运动系统的动力端，X轴运动系统安装可由Z轴运动系统带动垂向移动，所述辊式磁流变激光复合抛光系统安装在X轴运动系统的运动端，辊式磁流变激光复合抛光系统可由X轴运动系统驱动在水平面内X方向直线移动，所述XY向振动平台安装在Y轴运动系统的运动端，所述XY向振动平台可由Y轴运动系统驱动在水平面内Y方向直线移动，且X方向与Y方向在水平面内的投影相互垂直；所述被加工件置于XY向振动平台，该XY向振动平台用于使承载在其上的被加工件形成水平面内的二维振动，所述辊式磁流变激光复合抛光系统用于通过发出的磁场使被加工件通过磁流变抛光液形成柔性抛光效果。2.根据权利要求1所述的振动辅助辊式磁流变激光复合抛光装置，其特征在于：所述Z轴运动系统包括Z轴运动机构一和Z轴运动机构二，所述Z轴运动机构一和Z轴运动机构二的动力端通过连接板连接，且连接板水平设置，所述X轴运动系统置于连接板的底面，所述连接板、Z轴运动机构一和Z轴运动机构二形成门式结构。3.根据权利要求2所述的振动辅助辊式磁流变激光复合抛光装置，其特征在于：所述X轴运动系统、Y轴运动系统、Z轴运动机构一和Z轴运动机构二均为双导轨丝杆驱动机构。4.根据权利要求3所述的振动辅助辊式磁流变激光复合抛光装置，其特征在于：所述双导轨丝杆驱动机构包括电机一、底板、联轴器、轴承支座、滑块、转接板、基座、滚珠丝杠和双向导轨，所述电机一通过螺钉连接在基座上，电机一的动力端通过联轴器与滚珠丝杠连接，双向导轨通过螺钉固定在底板上，基座通过螺钉连接在底板上，滚珠丝杠安装在两双向导轨中间，滑块连接在双向导轨上，转接板通过螺钉与滑块连接。5.根据权利要求1所述的振动辅助辊式磁流变激光复合抛光装置，其特征在于：所述XY向振动平台包括XY二维振动平台、振动平台安装板和载物台，其中XY二维振动平台通过螺钉与振动平台安装板连接，载物台通过螺钉固定在XY二维振动平台上；所述XY二维振动平台包括两个X向驱动单元、X向驱动单元、Y向驱动单元、连接平台和刚性框架，两个所述X向驱动单元、X向驱动单元轴对称连接在连接平台上，Y向驱动单元在平面上与X向驱动单元垂直并连接在连接平台上；两个所述X向驱动单元驱动连接平台产生X向位移，Y向驱动单元驱动连接平台产生Y向位移。6.根据权利要求5所述的振动辅助辊式磁流变激光复合抛光装置，其特征在于：所述X向驱...

【专利技术属性】
技术研发人员：谷岩，卢发祥，林洁琼，张浩然，付斌，周伟东，于丙金，徐梓苏，王柏超，王梓喆，万芃晖，梁龙雨，许兴旺，李瑞，王云飞，
申请(专利权)人：长春工业大学，
类型：发明
国别省市：