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本发明涉及超精密加工领域，一种振动辅助辊式磁流变激光复合抛光装置，其中，X轴运动系统安装在Z轴运动系统的动力端，辊式磁流变激光复合抛光系统安装在X轴运动系统的运动端，辊式磁流变激光复合抛光系统可由X轴运动系统驱动在水平面内X方向直线移动，X...
该专利属于长春工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过长春工业大学授权不得商用。

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