一种光学元件离子束抛光加工装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种光学元件离子束抛光加工装置，解决现有采用三轴运动或五轴运动平台抛光装置操作复杂、灵巧度差、制造昂贵的技术问题。本发明专利技术包括支撑底座，设于支撑底座上的真空室，设于真空室内的主机平台，设于主机平台上的支撑板，设于支撑板上用于夹取待抛光光学工件的光学工件夹具，以及设于主机平台上用于提供可移动离子束的运动机构；运动机构包括设于主机平台上的水平运动机构、设于水平运动机构上的竖直移动机构、以及设于竖直移动机构上安装有离子源的三轴并联机构。本发明专利技术结构简单、设计科学合理，使用方便，安装调试方便，由水平竖直串联运动结合三轴并联运动的混联移动，可灵活变化抛光角度，方便实现离子束在任意空间的可达性。意空间的可达性。意空间的可达性。

【技术实现步骤摘要】
一种光学元件离子束抛光加工装置


[0001]本专利技术属于离子束抛光设备
，具体涉及一种光学元件离子束抛光加工装置。

技术介绍

[0002]等离子也称为物质的第四态，是一种电磁气态放电现象，使气态粒子部分电离，这种被电离的气体包括原子、分子、原子团、离子和电子。等离子在高温高压下，电子会脱离原子核而跑出来，原子核就形成了一个带正电的离子，当这些离子达到一定数量的时候可以成为等离子态，等离子态能量很大，当这些等离子和要抛光的物体摩擦时，顷刻间会使物体达到表面光亮的效果。
[0003]离子束抛光技术是利用离子溅射原理，通过在真空状态下离子源引束产生等离子体能量束流，束流轰击工件表面产生原子级别的材料去除从而实现光学元件的高精度加工。传统离子束抛光设备多采用直线运动单元来构成三轴运动平台或采用五轴联动运动平台对离子源的运动及姿态进行实时控制，然而传统五轴运动平台较为复杂，结构庞大，其制造成本昂贵，且安装调试复杂且较不方便。
[0004]因此，本专利技术提供了一种光学元件离子束抛光加工装置，便于简化安装调试和灵活变化抛光角度，达到本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光学元件离子束抛光加工装置，其特征在于：包括支撑底座(1)，设于支撑底座(1)上用于提供真空环境的真空室(2)，设于真空室(2)内的主机平台(3)，设于主机平台(3)上的支撑板(4)，设于支撑板(4)上用于夹取待抛光光学工件(5)的光学工件夹具(6)，以及设于主机平台(3)上的用于提供可移动离子束的运动机构；运动机构包括设于主机平台(3)上的水平运动机构(7)、设于水平运动机构(7)上的竖直移动机构(9)、以及设于竖直移动机构(9)上用于放置离子源(8)的三轴并联机构。2.根据权利要求1所述的一种光学元件离子束抛光加工装置，其特征在于：水平运动机构包括设于主机平台(3)上的滑台底座(10)，设于滑台底座(10)上的滑台丝杠(11)，滑动套装于滑台丝杠(11)外的第一套筒(12)，以及设于第一套筒(12)上的滑台(13)。3.根据权利要求2所述的一种光学元件离子束抛光加工装置，其特征在于：滑台底座(10)顶面开设上的安装槽(14)，滑台丝杠(11)设于安装槽(14)内；滑台底座(10)顶面开设有关于滑台丝杠(11)对称分布的两个滑台导轨(17)，每个滑台导轨(17)内滑动嵌装有与滑台(13)相连的滑台导轨滑块(18)。4.根据权利要求3所述的一种光学元件离子束抛光加工装置，其特征在于：滑台丝杠(11)一端连接有驱动滑台丝杠(11)转动的第一正反转伺服电机(15)，另一端设于滑台丝杠座(16)内。5.根据权利要求2所述的一种光学元件离子束抛光加工装置，其特征在于：竖直移动机构(9)包括设于滑台(13)上的立柱(19)，设于立柱(19)上的固定座(20)，套装于固定座(20)内的立柱丝杠(21)，滑动套装于立柱丝杠(21)外的第二套筒(22)，以及设于第二套筒(22)上的立柱滑板(37)。6.根据权利要求5所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄智，张伟文，杨兴，贾卫博，闵杰，陈贵科，
申请(专利权)人：成都极致智造科技有限公司，
类型：发明
国别省市：