一种铜钯银合金键合引线及其制备方法技术

本发明专利技术公开了一种铜钯银合金键合引线及其制备方法，涉及到微电子封装用金属键合丝技术领域，包括引线本体，所述引线本体表面设置有镀钯保护层，所述引线本体直径为0.015毫米－0.05毫米，所述镀钯保护层厚度为0.2微米－0.6微米。本发明专利技术通过设置有延伸炉体，同时利用隔断机构对主炉体与延伸炉体进行隔断，进而可以使得主炉体内部在进行原料熔化前持续保持真空状态，实际使用时仅需要对延伸炉体内部的部分空间进行抽真空处理，相较于现有技术中的同类型工艺，本发明专利技术有效减少了工艺开始时所需要的抽真空时间，进而加快工艺效率的同时，还可以节约长时间抽真空所浪费的电力。还可以节约长时间抽真空所浪费的电力。还可以节约长时间抽真空所浪费的电力。

【技术实现步骤摘要】
一种铜钯银合金键合引线及其制备方法


[0001]本专利技术涉及微电子封装用金属键合丝
，特别涉及一种铜钯银合金键合引线及其制备方法。

技术介绍

[0002]微电子引线键合，是一种使用微细金属线，可利用热、压力、超声波能量使其与基板焊盘紧密焊合，实现芯片与基板间的电气互连和芯片间的信息互通。在理想控制条件下，引线和基板间会发生电子共享或原子的相互扩散，从而使两种金属间实现原子量级上的键合。
[0003]专利申请公布号CN 104835797 B的已授权专利技术专利公开了一种铜钯银合金键合引线及其制备方法，其特点是该铜钯银合金键合引线的表面设置有镀钯保护层，铜钯银合金键合引线直径为0.015毫米－0.05毫米，镀钯层厚度为 0.2um
‑
0.6um；其制备方法为：选取铜锭钯锭及银锭清洗烘干备用，制备铜钯银合金铸锭，制备铜钯银合金棒，铜钯银合金棒均匀化退火，粗拉伸，晶粒细化退火，中拉伸，细拉伸，表面清洗，表面镀钯，细微拉伸，热处理，复绕分装。该专利技术采用铜钯银合金键合引线取代纯银镀金键合引线，克服了纯银镀金键合引线的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种铜钯银合金键合引线，其特征在于：包括引线本体，所述引线本体表面设置有镀钯保护层，所述引线本体直径为0.015毫米－0.05毫米，所述镀钯保护层厚度为0.2微米－0.6微米。2.根据权利要求1所述的一种铜钯银合金键合引线制备方法，其特征在于：所述方法使用铜钯银合金键合引线制备设备实现，所述铜钯银合金键合引线制备设备包括设备台(1)，所述设备台(1)顶部左侧固定设置有炉体组件(2)，所述炉体组件(2)顶部左侧固定设置有驱动机构(3)，所述炉体组件(2)中的延伸炉体(22)内部设置有储料机构(4)，所述储料机构(4)竖直方向上可升降的设置在驱动机构(3)中的第一往复丝杆(34)外侧，所述炉体组件(2)中的延伸炉体(22)两侧均固定嵌套设置有隔断机构(5)，所述驱动机构(3)中的第一锥齿轮(33)驱动隔断机构(5)水平方向上左右位移，两个所述隔断机构(5)中的隔断板(52)相组合，炉体组件(2)中的延伸炉体(22)内部空间进行密封隔断，所述炉体组件(2)中的主炉体(21)内部以及储料机构(4)中的放置座(43)外侧共同固定设置有搅拌机构(6)，所述搅拌机构(6)中的搅拌杆(69)对储料机构(4)中的坩埚(44)内部的原料进行搅拌，所述炉体组件(2)中的主炉体(21)内壁上固定设置有多个加热管(7)，多个所述加热管(7)均对储料机构(4)中的坩埚(44)进行加热。3.根据权利要求2所述的一种铜钯银合金键合引线制备方法，其特征在于：所述炉体组件(2)包括主炉体(21)、延伸炉体(22)、氮气输入管(23)、氮气回收管(24)、抽真空管(25)和密封门(26)，所述主炉体(21)固定设置于设备台(1)顶部左侧，且主炉体(21)内部保持真空状态，所述延伸炉体(22)固定嵌套设置于主炉体(21)顶部，所述氮气输入管(23)与氮气回收管(24)均固定贯穿设置于主炉体(21)左侧顶部，所述抽真空管(25)固定贯穿设置于延伸炉体(22)顶部右侧，所述密封门(26)通过合页转动设置于延伸炉体(22)正面右侧。4.根据权利要求3所述的一种铜钯银合金键合引线制备方法，其特征在于：所述驱动机构(3)包括驱动电机(31)、主动轴(32)、第一锥齿轮(33)、第一往复丝杆(34)和第二锥齿轮(35)，所述驱动电机(31)固定设置于延伸炉体(22)顶部左侧，所述主动轴(32)顶端与驱动电机(31)传动连接，且其底端贯穿延伸炉体(22)并延伸至延伸炉体(22)内部，所述第一锥齿轮(33)固定套接设置于主动轴(32)外侧。5.根据权利要求4所述的一种铜钯银合金键合引线制备方法，其特征在于：所述储料机构(4)包括升降滑块(41)、L形连接臂(42)、放置座(43)和坩埚(44)，所述升降滑块(41)套接设置于第一往复丝杆(34)外侧并与第一往复丝杆(34)螺纹连接，所述L形连接臂(42)固定设置于升降滑块(41)右侧，所述放置座(43)固定设置于L形连接臂(42)顶端，所述坩埚(44)放置于放置座(43)顶部，所述升降滑块(41)顶部后侧竖直方向上滑动贯穿设置有导向杆，所述导向杆顶端与延伸炉体(22)内壁固定连接以及底端与主炉体(21)内壁固定连接。6.根据权利要求5所述的一种铜钯银合金键合引线制备方法，其特征在于：所述隔断机构(5)包括密封框(51)、隔断板(52)、驱动板(53)、第二往复丝杆(54)、从动轴(55)和第三锥齿轮(56)，所述密封框(51)固定嵌套设置于延伸炉体(22)侧壁上，所述隔断板(52)水平方向上滑动设置于密封框(51)内侧，所述驱动板(53)固定设置于隔断板(52)顶部，所述第二往复丝杆(54)水平方向上贯穿驱动板(53)并与驱动板(53)螺纹连接，所述从动轴(55)通过超越离合器传动设置于第二往复丝杆(54)端部，所述从动轴(55)贯穿延伸炉体(22)外壁并延伸至延伸炉体(22)内部，所述第三锥齿轮(56)固定设置于从动轴(55)端部，所述第三锥
齿轮(56)与第一锥齿轮(33)啮合，两个所述隔断板(52)靠近彼此的一侧均开设有第一容纳槽与第二容纳槽，所述第一往复丝杆(34)位于两个第一容纳槽内侧，所述导线杆位于两个第二容纳槽内侧。7.根据权利要求7所述的一种铜钯银合金键合引线制备方法，其特征在于：所述搅拌机构(6)包括安装板(61)、第一旋转轴(62)、柱齿轮(63)、第四锥齿轮(64)、第二旋转轴(65)、第五锥齿轮(66)、齿轮环(67)、L形固定板(68)和搅拌杆(69)，所述安装板(61)与主炉体(21)内壁固定连接，所述第一旋转轴(62)竖直方向上贯穿安装板(61)并通过轴...

【专利技术属性】
技术研发人员：彭庶瑶，彭晓飞，
申请(专利权)人：江西蓝微电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：