一种多角度固态光刻胶贴合的压膜机制造技术

技术编号:30977219 阅读:60 留言:0更新日期:2021-11-25 21:12
本实用新型专利技术提供了一种多角度固态光刻胶贴合的压膜机,包括呈上下正对设置的上热压轮和下热压轮,上热压轮和下热压轮之间具有用于使基材通过的压膜间隙,上热压轮的进料前侧设置上导轮,下热压轮的进料前侧设置下导轮,上导轮与下导轮呈上下对称设置,上导轮铰接于上升降机的升降驱动杆上,下导轮铰接于下升降机的升降驱动杆上,由进料侧上固态光刻胶膜呈张紧状态顺次贴附于上导轮、上热压轮的旋转周壁上,由进料侧下固态光刻胶膜呈张紧状态顺次贴覆于下导轮、下热压轮的旋转周壁上。本实用新型专利技术实现各种固态光刻胶膜进入热压轮贴合的角度需求;同时利用不同角度掌控固态光刻胶膜与基材贴合前受热压轮温度影响的时间。基材贴合前受热压轮温度影响的时间。基材贴合前受热压轮温度影响的时间。

【技术实现步骤摘要】
一种多角度固态光刻胶贴合的压膜机


[0001]本技术属于加工工具
,涉及一种压膜设备,特别是一种多角度固态光刻胶贴合的压膜机。

技术介绍

[0002]光刻胶按形态分为固态光刻胶及液态光刻胶两种,而固态光刻胶与液态光刻胶在涂布上有很大的区别,固态光刻胶是以压膜方式透过热压轮将固态光刻胶紧压贴合到基材上,液态光刻胶则有滚轮涂布、狭缝涂布、旋转涂布及浸泡涂布等方式。其中压膜设备着重的技术参数一般为热压轮温度、热压轮压力、压膜速度张力等,透过这些技术参数调整来达到最好的贴合品质。
[0003]目前压膜机的固态光刻胶贴合角度多为固定式垂直90度进入热压轮的设计架构。其固态光刻胶在与基材接触贴合前,先接触热压轮并受到热压轮温度影响而呈现熔融状态,此状态下的固态光刻胶贴合状况会比原本常温下的效果更好。但当固态光刻胶接触热压轮的时间过长时,固态光刻胶的流动性提高导致贴合时,出现胶体会往两侧溢胶的状况,从而影响贴合后固态光刻胶厚度的均匀性。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是针对现有的技术存在上述问题,提出了一种通过在进料侧增设导轮,并配合导轮的多角度调节,以控制固态光刻胶膜进入的角度与受热时长的多角度固态光刻胶贴合的压膜机。
[0005]本技术的目的可通过下列技术方案来实现:一种多角度固态光刻胶贴合的压膜机,包括呈上下正对设置的上热压轮和下热压轮,所述上热压轮和所述下热压轮之间具有用于使基材通过的压膜间隙,所述上热压轮的进料前侧设置上导轮,所述下热压轮的进料前侧设置下导轮,所述上导轮与所述下导轮呈上下对称设置,所述上导轮铰接于上升降机的升降驱动杆上,所述下导轮铰接于下升降机的升降驱动杆上,由进料侧上固态光刻胶膜呈张紧状态顺次贴附于所述上导轮、所述上热压轮的旋转周壁上,由进料侧下固态光刻胶膜呈张紧状态顺次贴覆于所述下导轮、所述下热压轮的旋转周壁上。
[0006]本多角度固态光刻胶贴合的压膜机,在贴膜之前同步启动上升降机和下升降机,以带动上导轮和下导轮调整其高度,从而实现对固态光刻胶膜与基材夹角的调节,即调整固态光刻胶膜进入热压轮的角度,使不同厚度的固态光刻胶膜可匹配对应不同的贴合角度,以达到更好的基材贴合黏着性。
[0007]在上述的多角度固态光刻胶贴合的压膜机中,所述上升降机为上电动升降杆,所述上导轮的中心呈转动穿入上转轴,所述上转轴的端部固定于所述上电动升降杆的伸缩杆上;所述下升降机为下电动升降杆,所述下导轮的中心呈转动穿入下转轴,所述下转轴的端部固定于所述下电动升降杆的伸缩杆上。
[0008]在上述的多角度固态光刻胶贴合的压膜机中,所述上升降机为上液压缸,所述上
导轮的中心呈转动穿入上转轴,所述上转轴的端部固定于所述上液压缸的伸缩杆上;所述下升降机为下液压缸,所述下导轮的中心呈转动穿入下转轴,所述下转轴的端部固定于所述下液压缸的伸缩杆上。
[0009]在上述的多角度固态光刻胶贴合的压膜机中,所述上升降机为上电动气压缸,所述上导轮的中心呈转动穿入上转轴,所述上转轴的端部固定于所述上电动气压缸的伸缩杆上;所述下升降机为下电动气压缸,所述下导轮的中心呈转动穿入下转轴,所述下转轴的端部固定于所述下电动气压缸的伸缩杆上。
[0010]在上述的多角度固态光刻胶贴合的压膜机中,所述上热压轮的中心固穿中轴,所述中轴的两端通过轴承座铰接在机架上。
[0011]与现有技术相比,本多角度固态光刻胶贴合的压膜机具有以下优点:
[0012]通过驱动升降机将可控制导轮升降调整且维持平行度不歪斜,来实现各种固态光刻胶膜进入热压轮贴合的角度需求;同时利用不同角度掌控固态光刻胶膜与基材贴合前受热压轮温度影响的时间。
附图说明
[0013]图1是本技术中调整为0
°
入角的结构示意图。
[0014]图2是本技术中调整为60
°
入角的结构示意图。
[0015]图3是本技术中升降机驱动导轮的结构示意图。
[0016]图中,1、上热压轮;2、下热压轮;3、上升降机;4、上导轮;5、上固态光刻胶膜;6、下升降机;7、下导轮;8、下固态光刻胶膜;9、基材。
具体实施方式
[0017]以下是本技术的具体实施例并结合附图,对本技术的技术方案作进一步的描述,但本技术并不限于这些实施例。
[0018]如图1至图3所示,本多角度固态光刻胶贴合的压膜机,包括呈上下正对设置的上热压轮1和下热压轮2,上热压轮1和下热压轮2之间具有用于使基材9通过的压膜间隙,上热压轮1的进料前侧设置上导轮4,下热压轮2的进料前侧设置下导轮7,上导轮4与下导轮7呈上下对称设置,上导轮4铰接于上升降机3的升降驱动杆上,下导轮7铰接于下升降机6的升降驱动杆上,由进料侧上固态光刻胶膜5呈张紧状态顺次贴附于上导轮4、上热压轮1的旋转周壁上,由进料侧下固态光刻胶膜8呈张紧状态顺次贴覆于下导轮7、下热压轮2的旋转周壁上。
[0019]本多角度固态光刻胶贴合的压膜机,在贴膜之前同步启动上升降机3和下升降机6,以带动上导轮4和下导轮7调整其高度,从而实现对固态光刻胶膜与基材9夹角的调节,即调整固态光刻胶膜进入热压轮的角度,使不同厚度的固态光刻胶膜可匹配对应不同的贴合角度,以达到更好的基材9贴合黏着性。
[0020]本技术中升降机可采用以下三种方案:
[0021]第一种,上升降机3为上电动升降杆,上导轮4的中心呈转动穿入上转轴,上转轴的端部固定于上电动升降杆的伸缩杆上;下升降机6为下电动升降杆,下导轮7的中心呈转动穿入下转轴,下转轴的端部固定于下电动升降杆的伸缩杆上。
[0022]第二种,上升降机3为上液压缸,上导轮4的中心呈转动穿入上转轴,上转轴的端部固定于上液压缸的伸缩杆上;下升降机6为下液压缸,下导轮7的中心呈转动穿入下转轴,下转轴的端部固定于下液压缸的伸缩杆上。
[0023]第三种,上升降机3为上电动气压缸,上导轮4的中心呈转动穿入上转轴,上转轴的端部固定于上电动气压缸的伸缩杆上;下升降机6为下电动气压缸,下导轮7的中心呈转动穿入下转轴,下转轴的端部固定于下电动气压缸的伸缩杆上。
[0024]上热压轮1的中心固穿中轴,中轴的两端通过轴承座铰接在机架上。
[0025]图1中将导轮高度调整至最低,可实现固态光刻胶膜进入热压轮角度为0度,固态光刻胶膜在与基材9贴合前不会受到热压轮的温度影响。
[0026]图2中将导轮高度提高,可实现固态光刻胶膜进入热压轮角度为60度,固态光刻胶膜在与基材9贴合前受到热压轮温度影响的时间为原本固定式90度的三分之二。
[0027]与现有技术相比,本多角度固态光刻胶贴合的压膜机具有以下优点:
[0028]通过驱动升降机将可控制导轮升降调整且维持平行度不歪斜,来实现各种固态光刻胶膜进入热压轮贴合的角度需求;同时利用不同角度掌控固态光刻胶膜与基材9贴合前受热压轮温度影响的时间。
[0029]本文中所本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种多角度固态光刻胶贴合的压膜机,包括呈上下正对设置的上热压轮和下热压轮,所述上热压轮和所述下热压轮之间具有用于使基材通过的压膜间隙,其特征在于,所述上热压轮的进料前侧设置上导轮,所述下热压轮的进料前侧设置下导轮,所述上导轮与所述下导轮呈上下对称设置,所述上导轮铰接于上升降机的升降驱动杆上,所述下导轮铰接于下升降机的升降驱动杆上,由进料侧上固态光刻胶膜呈张紧状态顺次贴附于所述上导轮、所述上热压轮的旋转周壁上,由进料侧下固态光刻胶膜呈张紧状态顺次贴覆于所述下导轮、所述下热压轮的旋转周壁上。2.根据权利要求1所述的多角度固态光刻胶贴合的压膜机,其特征在于,所述上升降机为上电动升降杆,所述上导轮的中心呈转动穿入上转轴,所述上转轴的端部固定于所述上电动升降杆的伸缩杆上;所述下升降机为下电动升降杆,所述下导轮的中心呈转动穿入下转轴,所述下转轴的...

【专利技术属性】
技术研发人员:张容韶沈洵胡清渊郭光龙
申请(专利权)人:浙江众凌科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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