一种对位标记的抓取方法及基板的对位方法技术

本申请实施例公开了一种对位标记的抓取方法及基板的对位方法，对位标记的抓取方法包括以下步骤：提供具有预设区域的基板，基板的预设区域设有对位标记；将预设区域划分为多个拍摄区域，任意两个相邻的拍摄区域之间部分重叠，任意两个相邻的拍摄区域之间重叠的部分的宽度大于或等于对位标记的宽度；采集多个拍摄区域的图像，从而获取基板的对位标记的图像。本申请的对位标记的抓取方法可以增加抓取对位标记的成功率，避免对位标记抓取失败而导致机台宕机的情况发生，降低了操作人员的工作量，有效提高了产能。有效提高了产能。有效提高了产能。

【技术实现步骤摘要】
一种对位标记的抓取方法及基板的对位方法


[0001]本申请涉及显示
，具体涉及一种对位标记的抓取方法及基板的对位方法。

技术介绍

[0002]随着显示技术的发展，平板显示装置因具有高画质、省电、机身薄及应用范围广等优点，而被广泛的应用于手机、电视、个人数字助理、数字相机、笔记本电脑、台式计算机等各种消费性电子产品，成为显示装置中的主流。现有的平面显示器件主要包括液晶显示器件(Liquid Crystal Display，LCD)及有机发光二极管显示器件(Organic Light Emitting Display，OLED)。
[0003]液晶显示器件和有机发光二极管显示器件的制作过程都包括多个光刻制程以及检测制程，而在执行光刻制程以及一些检测制程之前，需要对基板进行定位。而对位标记(Mark)便是用来支持基板对位操作的，基板设有对位标记，为确保机台能够准确地识别到基板需要制程的精确位置，都必须先机台对基板的对位标记进行识别，获得基板的实际位置；然后根据基板的实际位置进行制程计算，确定基板需要制程的实际位置，以保证光刻或检测的准确性。
[0004]目前采用相机抓取对位标记，在抓取对位标记前，会先采用对位机构对基板进行初步对位，然后采用相机抓取对位标记，因对于对位标记的清晰度需求，同时考虑综合成本，所以会采用较大倍率且景深较低的相机进行抓取对位标记，因此相机的抓取视野范围会相对较小；当基板初步对位的位置偏差较大时，容易出现相机无法抓取对位标记的现象，此时，需要操作人员去调整基板的位置，以便于相机抓取对位标记，这无疑会增加操作人员的工作量，大大影响了产能。

技术实现思路

[0005]本申请实施例提供一种对位标记的抓取方法及基板的对位方法，可以解决基板的位置偏差大而导致相机无法抓取基板的对位标记的技术问题。
[0006]本申请实施例提供一种对位标记的抓取方法，包括以下步骤：
[0007]提供具有预设区域的基板，所述基板的所述预设区域设有对位标记；
[0008]将所述预设区域划分为多个拍摄区域，任意两个相邻的所述拍摄区域之间部分重叠，任意两个相邻的所述拍摄区域之间重叠的部分的宽度大于或等于所述对位标记的宽度；
[0009]采集多个所述拍摄区域的图像，从而获取所述基板的对位标记的图像。
[0010]可选的，在本申请的一些实施例中，所述对位标记的宽度包括沿第一方向的第一宽度；
[0011]多个所述拍摄区域沿所述第一方向依次分布；于所述第一方向上，任意相邻的两个所述拍摄区域之间重叠的部分的宽度大于等于所述对位标记的第一宽度。
[0012]可选的，在本申请的一些实施例中，所述对位标记的宽度还包括沿第二方向的第二宽度，所述第一方向和所述第二方向垂直设置；
[0013]多个所述拍摄区域沿所述第一方向和所述第二方向呈阵列分布；于所述第二方向上，任意相邻的两个所述拍摄区域之间重叠的部分的宽度大于或等于所述对位标记的第二宽度。
[0014]可选的，在本申请的一些实施例中，所述基板设有多个所述预设区域，所述预设区域设有至少两个所述对位标记。
[0015]可选的，在本申请的一些实施例中，在所述预设区域中，至少有两个所述对位标记的形状不同。
[0016]可选的，在本申请的一些实施例中，采集多个所述拍摄区域的图像的具体步骤为：根据搜索路径，采用图像传感器按照所述搜索路径依次采集多个所述拍摄区域的图像。
[0017]可选的，在本申请的一些实施例中，当多个所述拍摄区域沿第一方向分布时，所述搜索路径为沿所述第一方向的直线路径；或，
[0018]当多个所述拍摄区域沿第一方向和第二方向呈阵列分布时，所述第一方向和所述第二方向垂直设置，所述搜索路径为由内向外或由外向内的螺旋路径。
[0019]可选的，在本申请的一些实施例中，多个所述拍摄区域按照N行
×
N列呈阵列分布，其中，N为大于1的整数。
[0020]可选的，在本申请的一些实施例中，所述预设区域和所述拍摄区域均呈矩形。
[0021]本申请实施例还提供一种基板的对位方法，所述基板具有预设区域，所述预设区域设有第一对位标记和第二对位标记，所述基板的对位方法包括：
[0022]采用如上所述的对位标记的抓取方法获取所述基板的第一对位标记和第二对位标记的图像；
[0023]将多个所述拍摄区域的图像拼接，形成所述预设区域的图像；
[0024]在所述预设区域的图像建立坐标系，计算所述第一对位标记的坐标和所述第二对位标记的坐标；
[0025]通过所述第一对位标记的坐标和所述第二对位标记的坐标计算所述第一对位标记和所述第二对位标记所在直线的方向向量；
[0026]计算所述方向向量和预设向量的夹角，从而确定所述基板的偏转角度。
[0027]本申请实施例的对位标记的抓取方法及基板的对位方法，通过将预设区域划分为多个拍摄区域，采集多个拍摄区域的图像，从而获取基板的对位标记的图像，扩大了图像的采集区域，可以增加抓取对位标记的成功率；此外，任意两个相邻的拍摄区域之间部分重叠，任意两个相邻的拍摄区域之间重叠的部分的宽度大于或等于对位标记的宽度，可以避免拍摄区域出现不完整的对位标记而导致无法抓取对位标记的情况，进一步保证抓取对位标记的成功率；通过上述设置，可以避免对位标记抓取失败而导致机台宕机的情况发生，降低了操作人员的工作量，有效提高了产能。
附图说明
[0028]为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于
本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0029]图1是本申请实施例提供的对位标记的抓取方法的流程示意图；
[0030]图2是本申请实施例提供的对位标记的抓取方法的第一种基板的俯视结构示意图；
[0031]图3是本申请实施例提供的对位标记的抓取方法的第二种基板的俯视结构示意图；
[0032]图4是本申请实施例提供的对位标记的抓取方法的第三种基板的俯视结构示意图；
[0033]图5是本申请实施例提供的对位标记的抓取方法的基板的预设区域的俯视结构示意图；
[0034]图6是本申请实施例提供的对位标记的抓取方法的在基板的预设区域设定搜索路径的示意图；
[0035]图7是本申请实施例提供的终端的对位标记的抓取方法按搜索路径采集基板的预设区域的多个拍摄区域的图像的示意图。
具体实施方式
[0036]下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。
[0037]请参阅图1，本申请实施例提供一种本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种对位标记的抓取方法，其特征在于，包括以下步骤：提供具有预设区域的基板，所述基板的所述预设区域设有对位标记；将所述预设区域划分为多个拍摄区域，任意两个相邻的所述拍摄区域之间部分重叠，任意两个相邻的所述拍摄区域之间重叠的部分的宽度大于或等于所述对位标记的宽度；采集多个所述拍摄区域的图像，从而获取所述对位标记的图像。2.根据权利要求1所述的对位标记的抓取方法，其特征在于，所述对位标记的宽度包括沿第一方向的第一宽度；多个所述拍摄区域沿所述第一方向依次分布；于所述第一方向上，任意相邻的两个所述拍摄区域之间重叠的部分的宽度大于或等于所述对位标记的第一宽度。3.根据权利要求2所述的对位标记的抓取方法，其特征在于，所述对位标记的宽度还包括沿第二方向的第二宽度，所述第一方向和所述第二方向垂直设置；多个所述拍摄区域沿所述第一方向和所述第二方向呈阵列分布；于所述第二方向上，任意相邻的两个所述拍摄区域之间重叠的部分的宽度大于或等于所述对位标记的第二宽度。4.根据权利要求1所述的对位标记的抓取方法，其特征在于，所述基板设有多个所述预设区域，所述预设区域设有至少两个所述对位标记。5.根据权利要求4所述的对位标记的抓取方法，其特征在于，在所述预设区域中，至少有两个所述对位标记的形状不同。6.根据权利要求1所述的对位标记的抓取方法，其特征在于，采集多个所述拍摄区域的图像的具体步骤为：根据搜索路径，采用图...

【专利技术属性】
技术研发人员：蓝盛楷，
申请(专利权)人：深圳市华星光电半导体显示技术有限公司，
类型：发明
国别省市：