本发明专利技术公开了一种晶圆加工用双面清洗机构，包括用于夹持固定晶圆并使其产生转动的夹持机构，连接于所述夹持机构用于向晶圆上下端面喷水的喷水机构，以及连接于所述夹持机构并设置在所述喷水机构的对侧用于对晶圆上下端面进行清扫的刷洗机构，安装在所述喷水机构与所述刷洗机构的底部用于使两者实现联动的动力机构。本发明专利技术通过在晶圆的上下端面分别设置刷洗辊与喷管，实现晶圆上、下表面的同时清洁，节约时间，提高效率，且刷洗辊与喷管在工作位与非工作位之间转换时，使用一个电机驱动，减少了零部件的使用，降低了成本开支。降低了成本开支。降低了成本开支。
【技术实现步骤摘要】
一种晶圆临时用双面清洗机构
[0001]本专利技术涉及清洗装置
，特别是涉及一种晶圆临时用双面清洗机构。
技术介绍
[0002]晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片或WLCSP摄像头封装中用到的玻璃晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆。
[0003]在半导体光刻以后，会有光刻胶溢到晶圆的表面，形成玷污，即使少许的玷污也会影响下一道工序的品质，在WLCSP封装中，玻璃圆片要和晶圆粘合，摄像头的像素越高，对玻璃圆片清洁度的要求就会越高。
[0004]因此，晶圆必须彻底清洗干净，否则会影响成品摄像头的品质，这就要求晶圆的正反面都要清洗，而且清洁度要求很高。
技术实现思路
[0005]本专利技术的目的就在于为了解决上述问题而提供一种晶圆加工用双面清洗机构。
[0006]本专利技术通过以下技术方案来实现上述目的：
[0007]一种晶圆加工用双面清洗机构，包括用于夹持固定晶圆并使其产生转动的夹持机构，连接于所述夹持机构用于向晶圆上下端面喷水的喷水机构，以及连接于所述夹持机构并设置在所述喷水机构的对侧用于对晶圆上下端面进行清扫的刷洗机构，安装在所述喷水机构与所述刷洗机构的底部用于使两者实现联动的动力机构；
[0008]所述夹持机构包括底板、安装座，所述底板的上端对称设置有四个所述安装座，每个所述安装座上均安装有第一伸缩杆，每个所述第一伸缩杆的伸缩轴上均安装有支架，所述支架的下端滑动连接于固定座，且每个所述支架的顶端内侧均安装有L型板，每个所述L型板的下端均安装有第一电机，所述第一电机与所述L型板螺钉连接，所述第一电机的输出轴上均安装有夹持轮，一侧的两个所述支架之间安装有所述刷洗机构；
[0009]所述刷洗机构包括第一安装轴、第一安装板，一侧的两个所述支架之间安装有所述第一安装轴，所述第一安装轴的上端安装有所述第一安装板，所述第一安装板的上下方均安装有第二安装板，所述第二安装板与所述第一安装轴通过螺栓紧固连接，所述第一安装板的另一端安装有第二伸缩杆，所述第二伸缩杆的伸缩轴上安装有连接板，所述第二安装板的内侧安装有两个刷洗辊，所述刷洗辊与所述第二安装板通过螺钉紧固连接，两个所述刷洗辊的输入端均安装有第二电机；
[0010]所述喷水机构包括第二安装轴、第三伸缩杆，在所述第一安装轴的对侧安装有所述第二安装轴，所述第二安装轴的上端安装有第三安装板，所述第三安装板的上下方均安装有第四安装板，所述第四安装板与所述第二安装轴通过螺栓紧固连接，所述第三安装板的另一端安装有所述第三伸缩杆，所述第三伸缩杆与所述第三安装板通过螺栓紧固连接，所述第三伸缩杆的伸缩轴上安装有固定板，两个所述第四安装板的后端均滑动连接有喷管，所述喷管与所述固定板通过螺钉紧固连接，且两个所述喷管的对侧端面上安装有喷头；
[0011]所述动力机构包括第三电机、第一齿轮，所述第一齿轮安装在所述第三电机的输出轴上，所述第一齿轮的一侧且安装在所述第二安装轴的下端设置有第二齿轮，所述第二齿轮的上方安装有第一齿形轮，所述第一齿形轮与所述第二安装轴键连接，所述第一齿形轮的前方安装有第二齿形轮，所述第二齿形轮与所述第一齿形轮通过齿形带连接，所述第二齿形轮安装在固定轴上，所述固定轴与所述第二齿形轮键连接，所述第一齿形轮的对侧且安装在所述第一安装轴的底部设置有第三齿形轮，所述第三齿形轮与所述第一安装轴键连接，且通过齿形带连接于所述第二齿形轮。
[0012]优选地：所述安装座与所述底板通过螺栓紧固连接，所述第一伸缩杆与所述安装座通过螺栓紧固连接。
[0013]如此设置，通过螺栓紧固连接使得相互连接的两者之间连接紧固可靠。
[0014]优选地：所述L型板与所述支架通过螺栓紧固连接。
[0015]如此设置，所述L型板用于固定所述第一电机。
[0016]优选地：所述第一安装轴与所述底板通过轴承座连接，所述夹持轮与所述第一电机键连接。
[0017]如此设置，通过轴承座连接便于所述第一安装轴的转动，通过键连接便于所述第一电机将运动准确的传递给所述夹持轮。
[0018]优选地：所述第一安装板与所述第一安装轴通过螺栓紧固连接。
[0019]如此设置，便于快速拆装固定。
[0020]优选地：所述连接板滑动连接于所述第二安装板，所述第二伸缩杆与所述第一安装板通过螺栓紧固连接。
[0021]如此设置，所述第二伸缩杆用于为两个所述刷洗辊的移动提供动力。
[0022]优选地：所述第二电机与所述刷洗辊通过联轴器连接。
[0023]如此设置，所述第二电机用于为所述刷洗辊的转动提供动力。
[0024]优选地：所述第二安装轴与所述底板通过轴承座连接，所述第三安装板与所述第二安装轴通过螺栓紧固连接。
[0025]如此设置，通过螺栓紧固连接方便所述第三安装板的拆装固定。
[0026]优选地：所述第三电机与所述第一齿轮键连接。
[0027]如此设置，所述第三电机用于为所述第二安装轴与所述第一安装轴的转动提供动力。
[0028]优选地：所述第二齿轮与所述第一齿轮相互啮合，且键连接于所述第二安装轴。
[0029]如此设置，所述第一齿轮与所述第二齿轮相互啮合，进而使所述第二安装轴转动，再利用齿形带的传动使所述第二齿形轮转动，所述第二齿形轮转动在通过齿形带带动所述第三齿形轮转动，实现所述第一安装轴的转动。
[0030]与现有技术相比，本专利技术的有益效果如下：
[0031]通过在晶圆的上下端面分别设置刷洗辊与喷管，实现晶圆上、下表面的同时清洁，节约时间，提高效率，且刷洗辊与喷管在工作位与非工作位之间转换时，使用一个电机驱动，减少了零部件的使用，降低了成本开支。
附图说明
[0032]为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0033]图1是本专利技术所述一种晶圆加工用双面清洗机构的第一结构示意图；
[0034]图2是本专利技术所述一种晶圆加工用双面清洗机构的第二结构示意图；
[0035]图3是本专利技术所述一种晶圆加工用双面清洗机构的主视图；
[0036]图4是本专利技术所述一种晶圆加工用双面清洗机构的俯视图；
[0037]图5是本专利技术所述一种晶圆加工用双面清洗机构夹持机构的结构示意图；
[0038]图6是本专利技术所述一种晶圆加工用双面清洗机构的第三结构示意图；
[0039]图7是图1的A处的局部放大视图；
[0040]图8是图2的B处的局部放大视图；
[0041]图9是刷洗机构与喷水机构从非工作位置向工作位置转动的转动方向视图。
[0042]附图标记说明如下：
[0043]1、夹持机构；11、底板；12、安装座；13、第一伸缩杆；14、固定座；15、本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种晶圆加工用双面清洗机构，其特征在于：包括用于夹持固定晶圆并使其产生转动的夹持机构(1)，连接于所述夹持机构(1)用于向晶圆上下端面喷水的喷水机构(3)，以及连接于所述夹持机构(1)并设置在所述喷水机构(3)的对侧用于对晶圆上下端面进行清扫的刷洗机构(2)，安装在所述喷水机构(3)与所述刷洗机构(2)的底部用于使两者实现联动的动力机构(4)；所述夹持机构(1)包括底板(11)、安装座(12)，所述底板(11)的上端对称设置有四个所述安装座(12)，每个所述安装座(12)上均安装有第一伸缩杆(13)，每个所述第一伸缩杆(13)的伸缩轴上均安装有支架(15)，所述支架(15)的下端滑动连接于固定座(14)，且每个所述支架(15)的顶端内侧均安装有L型板(16)，每个所述L型板(16)的下端均安装有第一电机(18)，所述第一电机(18)与所述L型板(16)螺钉连接，所述第一电机(18)的输出轴上均安装有夹持轮(17)，一侧的两个所述支架(15)之间安装有所述刷洗机构(2)；所述刷洗机构(2)包括第一安装轴(21)、第一安装板(22)，一侧的两个所述支架(15)之间安装有所述第一安装轴(21)，所述第一安装轴(21)的上端安装有所述第一安装板(22)，所述第一安装板(22)的上下方均安装有第二安装板(24)，所述第二安装板(24)与所述第一安装轴(21)通过螺栓紧固连接，所述第一安装板(22)的另一端安装有第二伸缩杆(23)，所述第二伸缩杆(23)的伸缩轴上安装有连接板(26)，所述第二安装板(24)的内侧安装有两个刷洗辊(27)，所述刷洗辊(27)与所述第二安装板(24)通过螺钉紧固连接，两个所述刷洗辊(27)的输入端均安装有第二电机(25)；所述喷水机构(3)包括第二安装轴(31)、第三伸缩杆(32)，在所述第一安装轴(21)的对侧安装有所述第二安装轴(31)，所述第二安装轴(31)的上端安装有第三安装板(33)，所述第三安装板(33)的上下方均安装有第四安装板(34)，所述第四安装板(34)与所述第二安装轴(31)通过螺栓紧固连接，所述第三安装板(33)的另一端安装有所述第三伸缩杆(32)，所述第三伸缩杆(32)与所述第三安装板(33)通过螺栓紧固连接，所述第三伸缩杆(32)的伸缩轴上安装有固定板(35)，两个所述第四安装板(34)的后端均滑动连接有喷管(36)，所述喷管(36)与所述固定板(35)通过螺钉紧固连接，且两个所述喷管(36)的对侧端面...
【专利技术属性】
技术研发人员：钱诚，霍召军，朱震，
申请(专利权)人：无锡亚电智能装备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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