一种辅助清洗提拉设备制造技术

本实用新型专利技术涉及清洗辅助设备的技术领域，公开了一种辅助清洗提拉设备，包括提拉装置、花篮承载盘和清洗槽，所述提拉装置固定连接清洗槽两侧，所述花篮承载盘置于清洗槽内部；所述提拉装置包括支撑板、控制电源箱、旋转轴、凸轮和电动推杆；所述花篮承载盘底部连接有护板，所述护板上设置有若干个通孔，所述护板四角处固定向上连接设有保护柱；所述清洗槽为中空无盖长方体结构。本实用新型专利技术通过控制电源箱控制电动推杆上下运动，从而控制清洗槽内花篮承载盘的提拉过程，可以根据工艺需求调整提拉速度以及频率，减少人为因素造成的影响使得清洗后的的晶片良率和一致性更好。洗后的的晶片良率和一致性更好。洗后的的晶片良率和一致性更好。

【技术实现步骤摘要】
一种辅助清洗提拉设备


[0001]本技术涉及清洗辅助设备的
，尤其涉及一种辅助清洗提拉设备。

技术介绍

[0002]半导体晶片在生产制造过程中要清除硅片上的各种杂质，硅片需要经过多次清洗液清洗，对晶片表面的杂质和损伤层面进行去除，清洗的一致性和稳定性影响着晶片的质量，在当前晶片制造流程中，在大多数清洗过程中需要操作人员在清洗槽中对装有硅片的花篮进行手动提拉操作来提高清洗的效果。
[0003]但手动操作对操作人员的依赖性大，在清洗过程中由于人为因素无法保证提拉时间、频率、操作时的幅度和频率的一致性，不利于产品的稳定性，使得清洗质量稳定性和一致性差；同时，人员在提拉操作时可能会产生液体飞溅从而造成伤害。

技术实现思路

[0004]为解决上述问题，本技术提出一种辅助清洗提拉设备。
[0005]本技术提供一种辅助清洗提拉设备，采用如下的技术方案：
[0006]一种辅助清洗提拉设备，包括提拉装置、花篮承载盘和清洗槽，所述提拉装置固定连接清洗槽两侧，所述花篮承载盘置于清洗槽内部；所述提拉装置包括支撑板、控制电源箱、旋转轴、凸轮和电动推杆；所述花篮承载盘底部连接有护板，所述护板上设置有若干个通孔，所述护板四角处固定向上连接设有保护柱；所述清洗槽为中空无盖长方体结构。
[0007]通过采用上述技术方案，通过控制电源箱对电动推杆缩放的控制，从而控制清洗槽内花篮承载盘提拉的过程，可以根据工艺需求调整提拉速度以及频率，减少人为因素造成的影响，使得清洗后的的晶片良率和一致性更好；花篮承载盘四周加装保护栏，有效防止在自动提拉过程中出现晶片花篮倾倒的问题；花篮承载盘加装护板底部留有通孔，在提涮清洗晶片的同时可以保证花篮内晶片不会外倾保证产品的成品率和良率。
[0008]优选的，所述凸轮和控制电源箱分别置于支撑板上表面。
[0009]优选的，所述控制电源箱轴接旋转轴。
[0010]优选的，所述旋转轴同心连接有凸轮。
[0011]优选的，所述凸轮侧面与电动推杆底部接触滑动。
[0012]优选的，所述电动推杆顶部连接橡胶帽，用以保护电动推杆顶部。
[0013]优选的，花篮承载盘内部中心放置有花篮。
[0014]优选的，所述控制电源箱上设置有升降开关和启闭开关，用以控制花篮承载盘的的提拉。
[0015]优选的，所述通孔交错等距排列在护板上 。
[0016]综上所述，本技术的有益技术效果：
[0017]1.通过控制电源箱对电动推杆的上下控制，从而控制清洗槽内花篮承载盘提拉的过程，可以根据工艺需求调整提拉速度以及频率，减少人为因素造成的影响使得清洗后的
的晶片良率和一致性更好。
[0018]2.花篮承载盘四周加装保护栏，有效防止在自动提拉过程中出现晶片花篮倾倒的问题。
[0019]3.花篮承载盘底部加装护板，护板底部留有通孔，在提涮清洗晶片的同时可以保证花篮内晶片不会外倾，保证产品的成品率和良率。
附图说明
[0020]图1是本技术中一种辅助清洗提拉设备的正视图。
[0021]图2是本技术中一种辅助清洗提拉设备的侧视图。
[0022]图3是本技术中花篮承载盘的俯视图。
[0023]图4是本技术中电动推杆上升运动的示意图。
[0024]图5是本技术中电动推杆下降运动的示意图。
[0025]其中：1、提拉装置；2、花篮承载盘；3、清洗槽；4、支撑板；5、控制电源箱；6、旋转轴；7、凸轮；8、电动推杆；9、护板；10、通孔；11、保护柱；12、橡胶帽；13、花篮；14、升降开关；15、启闭开关。
具体实施方式
[0026]以下结合附图，对本技术作进一步详细说明。
[0027]本技术实施公开一种辅助清洗提拉设备。参照图1或图2，包括提拉装置1、花篮承载盘2和清洗槽3，所述提拉装置1固定连接清洗槽3两侧，所述花篮承载盘2置于清洗槽3内部；所述提拉装置1包括支撑板4、控制电源箱5、旋转轴6、凸轮7和电动推杆8，所述凸轮7和控制电源箱5分别置于支撑板4上表面；所述花篮承载盘2底部连接有护板9，花篮承载盘2内部中心放置有花篮13；所述清洗槽3为中空无盖长方体结构。
[0028]参照图3，所述护板9上设置有若干个通孔10，所述通孔10交错等距排列在护板9上，所述护板9四角处固定向上连接设有保护柱11。
[0029]参照图4或图5，所述控制电源箱5轴接旋转轴6，所述旋转轴6同心连接有凸轮7，所述凸轮7侧面与电动推杆8底部接触滑动，所述电动推杆8顶部连接橡胶帽12，所述控制电源箱5上设置有升降开关14和启闭开关15。
[0030]本技术实施一种辅助清洗提拉设备：包括提拉装置、花篮承载盘和清洗槽，所述提拉装置固定连接清洗槽两侧，所述花篮承载盘置于清洗槽内部；所述提拉装置包括支撑板、控制电源箱、旋转轴、凸轮和电动推杆，所述凸轮和控制电源箱分别置于支撑板上表面，所述控制电源箱轴接旋转轴，所述旋转轴同心连接有凸轮，所述凸轮侧面与电动推杆底部接触滑动，所述电动推杆顶部连接橡胶帽，用以保护电动推杆，所述控制电源箱上设置有升降开关和启闭开关，用以升降花篮承载盘，电动推杆上下运动带动花篮承载盘做提拉运动，所述电动推杆和控制电源箱连接，通过控制电路对电动推杆缩放的控制从而控制提拉的过程，可以根据工艺需求调整提拉速度以及频率，减少人为因素造成的影响使得清洗后的的晶片良率和一致性更好；所述花篮承载盘底部连接有护板，所述护板上设置有若干个通孔，所述通孔交错等距排列在护板上，所述护板四角处固定向上连接设有保护柱，在提涮清洗晶片的同时可以保证花篮内晶片不会外倾，保证产品的成品率和良率，有效防止在自
动提拉过程中出现晶片花篮倾倒的问题，花篮承载盘内部中心放置有花篮；所述清洗槽为中空无盖长方体结构。
[0031]以上均为本技术的较佳实施例，并非依此限制本技术的保护范围，故：凡依本技术的结构、形状、原理所做的等效变化，均应涵盖于本技术的保护范围之内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种辅助清洗提拉设备，其特征在于：包括提拉装置（1）、花篮承载盘（2）和清洗槽（3），所述提拉装置（1）固定连接清洗槽（3）两侧，所述花篮承载盘（2）置于清洗槽（3）内部；所述提拉装置（1）包括支撑板（4）、控制电源箱（5）、旋转轴（6）、凸轮（7）和电动推杆（8）；所述花篮承载盘（2）底部连接有护板（9），所述护板（9）上设置有若干个通孔（10），所述护板（9）四角处固定向上连接设有保护柱（11）；所述清洗槽（3）为中空无盖长方体结构。2.根据权利要求1所述的一种辅助清洗提拉设备，其特征在于：所述凸轮（7）和控制电源箱（5）分别置于支撑板（4）上表面。3.根据权利要求1所述的一种辅助清洗提拉设备，其特征在于：所述控制电源箱（5）轴接旋转轴（...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭城，吕明，李充，郭英云，高悦，
申请(专利权)人：山东科芯电子有限公司，
类型：新型
国别省市：