散射屏式电子束辐照装置制造方法及图纸

一种散射屏式电子束辐照装置，它包括电子直线加速器（１）及限光筒（１３），其特征在于，所述限光筒（１３）的上盖（４）中间设有与所述电子直线加速器（１）连接的法兰盘（３），法兰盘（３）中间的底部镶接有与电子直线加速器（１）的漂移管（１２）相对应的水冷双层钛窗组件（２），在法兰盘（３）的底平面上连接有多根支撑杆（９），由各支撑杆（９）支撑设置两层支撑板（１０），各支撑板（１０）中间均设有薄金属散射片（１１），限光筒（１３）由双层壁组成而形成冷却水空间（６），限光筒（１３）的外壁上设有冷却水入口（１５）和冷却水出口（５）及通入限光筒（１３）内的冷却气体入口（７）和冷却气体出口（１４），限光筒（１３）的底平面为钛箔材料构成的引出窗（８）；所述水冷双层钛窗组件（２）由水冷盒盖（２１）和水冷盒底座（２４）组成而形成冷却水空间（２２），水冷盒盖（２１）与水冷盒底座（２４）的中心均设有通孔，在水冷盒盖（２１）通孔的底平面设有第一层钛箔（２６）将其通孔封闭，在水冷盒底座（２４）通孔的上平面设有第二层钛箔（２５）将其通孔封闭，水冷盒底座（２４）的侧壁上设有与法兰盘（３）上所设冷却水入口（３１）和冷却水出口（３２）位置对应的冷却水入口（２７）和冷却水出口（２３）以使冷却水从法兰盘（３）外部进入和流出水冷双层钛窗组件（２）的冷却水空间（２２）。（*该技术在2012年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：张化一，唐华平，李泉风，
申请(专利权)人：清华大学，清华同方威视技术股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：