【技术实现步骤摘要】
内藏离子泵式扫描装置的制作方法
本技术涉及辐射加工
,特别是以电子直线加速器为辐射源的扫描装置。 为了达到上述的专利技术目的,本技术的技术方案以如下两种方式实现 第一种实现方式为一种内藏离子泵扫描装置,它包括电子直线加速器、扫描电磁铁及扫描盒。扫描盒的顶部连接有可与加速器固定的法兰盘及环绕在外壁的扫描电磁铁,离子泵的阳极高压引线由绝缘子引入扫描盒内。扫描盒的底部为用40~60μm钛箔材料构成的引出窗,钛箔材料紧固在与扫描盒底部连接的法兰盘上。其结构特点是所述扫描盒为矩形立式放置,扫描盒内上端两肩处对称设置装有离子泵的阳极小筒的固定盒及与固定盒衔接的阴极钛板。扫描盒的外壁上、与各固定盒的对应位置前后均设有离子泵的磁铁,各磁铁用环绕一周的磁轭固定。在扫描盒内、离子泵与电子束流边界之间设有与扫描盒内侧壁连接的磁场屏蔽板。 第二种实现方式为一种内藏离子泵扫描装置,它包括加速器、扫描电磁铁及扫描盒。扫描盒的一侧端连接有可与加速器固定的法兰盘及环绕在外壁的扫描电磁铁。离子泵的阳极高压引线由绝缘子引入扫描盒内。扫描盒的底部为用40~60μm钛箔材料构成的引出窗,钛箔材料紧固在与扫描盒底部连接的法兰盘上。在法兰盘的上部、扫描盒的外壁设有形成恒定磁场区所需要的弯转磁铁与磁轭。扫描盒的另一侧端设有电子束流测量器。其结构特点是所述扫描盒为矩形卧式放置,扫描盒内上端部设置装有离子泵的阳极小筒的固定盒及与固定盒衔接的阴极钛板,扫描盒的外壁上、与固定盒的对应位置前后设有离子泵的磁铁,各磁铁用环绕一周的磁轭固定。在扫描盒内、离子泵与电子束流边界之间设有与扫描盒内侧壁连接 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种内藏离子泵式扫描装置,它包括电子直线加速器(1)、扫描电磁铁(3)及扫描盒(11),扫描盒(11)的顶部连接有可与加速器(1)固定的法兰盘(2)及环绕在外壁的扫描电磁铁(3),离子泵的阳极高压引线(9)由绝缘子(10)引入扫描盒(11)内,扫描盒(11)的底部为用40~60μm钛箔材料构成的引出窗(13),钛箔材料紧固在与扫描盒(11)底部连接的法兰盘(12)上,其特征在于所述扫描盒(11)为矩形立式放置,扫描盒(11)内上端两肩处对称设置装有离子泵的阳极小筒(8)的固定盒(6)及与固定盒(6)衔接的阴极钛板(17),扫描盒(11)的外壁上、与各固定盒(6)的对应位置前后均设有离子泵的磁铁(18),各磁铁(18)用环绕一周的磁轭(7)固定,在扫描盒(11)内、离子泵与电子束流(14)边界之间设有与扫描盒(11)内侧壁连接的磁场屏蔽板(15)。2.按照权利要求1所述的内藏离子泵式扫描装置,其特征在于所述装有阳极小筒(8)的固定盒(6)的形状为直角梯形,通过绝缘子(5)与支撑板(4)将固定盒(6)与扫描盒(11)内侧壁固定。3.按照权利要求1或2所述的内藏离子泵式扫描装置,其特征在于所述屏蔽板(15)上设有导流孔(16)。4.一种内藏离子泵式扫描装置,它包括加速器(1)、扫描电磁铁(3)...
【专利技术属性】
技术研发人员:张化一,唐华平,许文敬,
申请(专利权)人:清华同方威视技术股份有限公司,清华大学,
类型:实用新型
国别省市:
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