一种HJT电池的加工方法以及一种HJT电池技术

本发明专利技术属于太阳能电池技术领域，尤其涉及一种HJT电池的加工方法以及一种HJT电池，加工方法包括以下步骤：在硅衬底的正面、背面分别沉积非晶硅本征层；在正面的非晶硅本征层上沉积第一传输层，在背面的非晶硅本征层上沉积第二传输层；分别在第一传输层和第二传输层上沉积多层TCO膜层，其中，位于最外侧的TCO膜层掺杂有金属氧化物，且金属氧化物的质量比重在0.5％至5.5％范围内；分别在最外侧的TCO膜层上制备金属电极。制备而成的HJT太阳能电池可以获得较佳的结合力，在制备或者使用过程中能有效避免发生栅线脱落的情况，且能获得较高的栅线拉力，同时能获得较大的退火窗口，有利于加工制造，另外无需使用单独的镀铜工艺腔，大大降低了生产成本。大降低了生产成本。大降低了生产成本。

【技术实现步骤摘要】
一种HJT电池的加工方法以及一种HJT电池


[0001]本专利技术属于太阳能电池
，尤其涉及一种HJT电池的加工方法以及一种HJT电池。

技术介绍

[0002]HJT太阳能电池具有高效率、工艺简单、抗PID、低温度系数、高发电量、低光衰等特性，可提高光伏组件的可靠性和稳定性。另外HJT太阳能电池是对称结构，双面均可发电，双面率达90％以上，较之于单面太阳能电池，可以多输出至少30
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40％的电力，因此HJT电池被视为下一代太阳电池主流产品。
[0003]现有HJT太阳能电池在制作过程中，在电池基底上镀TCO膜层，再在TCO膜层上直接沉积金属种子层并电镀成金属栅线，但通过该制作方式制备而成的太阳能电池，其结合力不佳，在制备或者使用过程中容易栅线脱落，且其拉力偏低，仅仅只有0.8N左右，同时后续在镀铜和固定工艺中的退火窗口较低，不易于加工制造，另外需要使用单独增加的镀铜工艺腔，导致PVD镀膜阶段的设备成本大大增加。

技术实现思路

[0004]本专利技术提供一种HJT电池的加工方法，旨在解决现有加工方法本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种HJT电池的加工方法，其特征在于，包括以下步骤：在硅衬底的正面、背面分别沉积非晶硅本征层；在正面的非晶硅本征层上沉积第一传输层，在背面的非晶硅本征层上沉积第二传输层；分别在所述第一传输层和所述第二传输层上沉积多层TCO膜层，其中，位于最外侧的TCO膜层掺杂有金属氧化物，且金属氧化物的质量比重在0.5％至5.5％范围内；分别在最外侧的TCO膜层上制备金属电极。2.如权利要求1所述的HJT电池的加工方法，其特征在于，所述分别在所述第一传输层和所述第二传输层上沉积多层TCO膜层的步骤，具体包括：分别在所述第一传输层和所述第二传输层上依次沉积第一TCO膜层、第二TCO膜层和第三TCO膜层。3.如权利要求2所述的HJT电池的加工方法，其特征在于，所述第一TCO膜层的厚度在10nm至40nm范围内，所述第二TCO膜层的厚度在10nm至40nm范围内，所述第三TCO膜层的厚度在5nm至25nm范围内。4.如权利要求1所述的HJT电池的加工方法，其特征在于，所述金属氧化物包含有银、镍、锡，且银、镍、锡的比例为60％、20％、20％。5.如权利要求1所述的HJT电池的加工方法，其特征在于，所述分别在最外侧的TCO膜层上制备金属电极...

【专利技术属性】
技术研发人员：田得雨，陈刚，
申请(专利权)人：珠海富山爱旭太阳能科技有限公司天津爱旭太阳能科技有限公司广东爱旭科技有限公司，
类型：发明
国别省市：