凸轮传动送料机构制造技术

技术编号:30859187 阅读:13 留言:0更新日期:2021-11-18 15:17
本实用新型专利技术涉及一种凸轮传动送料机构,属于真空镀膜技术领域,包括送料组件,所述送料组件包括:放料件,用于随坩埚组件上的坩埚转动而进行放料;支撑件,用于支撑放料件。本实用新型专利技术通过设置送料组件使其随着坩埚组件的转动同步将SiO2环逐个送入坩埚组件,无需设置额外的动力设备,降低了成本。降低了成本。降低了成本。

【技术实现步骤摘要】
凸轮传动送料机构


[0001]本技术涉及真空镀膜
,具体是凸轮传动送料机构。

技术介绍

[0002]众所周知,在某些材料的表面上,只要镀上一层薄膜,就能使材料具有许多新的、良好的物理和化学性能,真空镀膜就是在真空中把金属、合金或化合物进行蒸发或溅射,使其在被涂覆的物体(称基板、基片或基体)上凝固并沉积的方法。
[0003]目前的真空镀膜机中设置有坩埚组件,工作时将送料组件中的SiO2环送入坩埚组件,因此需要设置相应的送料机构将SiO2环送入坩埚机构。
[0004]目前的送料机构虽然可以进行送料,但需要设置相应的驱动机构,而且需要相应的程序控制,保证随着坩埚组件的转动将SiO2环稳定送入,结构复杂,成本较高。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种凸轮传动送料机构,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0006]为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:
[0007]凸轮传动送料机构,包括:
[0008]送料组件,所述送料组件包括:
[0009]放料件,用于随坩埚组件上的坩埚转动而进行放料;
[0010]支撑件,用于支撑放料件。
[0011]作为本技术的进一步技术方案,所述放料件包括:
[0012]凸轮,固定安装在坩埚组件的坩埚外侧;
[0013]开合单元,设置在所述支撑件上并与其滑动连接,当开合单元打开时SiO2环能通过,当开合单元关闭时,SiO2环不能通过;以及
[0014]滑动设置在所述支撑件上的凸轮轴,所述凸轮轴一端与凸轮相配合,另一端与开合单元相配合,当凸轮与凸轮轴接触时,凸轮轴推动开合单元打开。
[0015]作为本技术的更进一步技术方案,所述开合单元包括:
[0016]第一开合页,一端设置在所述支撑件内并与其滑动连接;
[0017]第二开合页,一端设置在所述支撑件内并与其滑动连接,用于与第一开合页配合对SiO2环的通过进行控制;
[0018]弹性件,设置有两个,一个弹性件一端与第一开合页伸出支撑件的一端相连,另一端与支撑件相连,另一个弹性件一端与第二开合页伸出支撑件的一端相连,另一端与支撑件相连。
[0019]作为本技术的再进一步技术方案,所述弹性件为拉簧。
[0020]作为本技术的再进一步技术方案,所述支撑件包括:
[0021]送料底座,用于安装放料件;
[0022]盖板,与所述送料底座配合。
[0023]与现有技术相比,本技术的有益效果是:通过设置送料组件使其随着坩埚组件的转动同步将SiO2环逐个送入坩埚组件,无需设置额外的动力设备,降低了成本。
附图说明
[0024]图1为凸轮传动送料机构的主视图;
[0025]图2为凸轮传动送料机构的结构示意图;
[0026]图3为凸轮传动送料机构中送料组件的结构示意图;
[0027]图4为另一实施例中凸轮传动送料机构中送料组件的结构示意图;
[0028]图5为凸轮传动送料机构中送料组件的俯视图;
[0029]图6为另一实施例中凸轮传动送料机构中送料组件的俯视图。
[0030]图中:1

坩埚组件、2

送料组件、3

坩埚底座、4

坩埚、5

凸轮、6

SiO2环、7

送料底座、8

盖板、9

凸轮轴、10

第一开合页、11

第二开合页、12

拉簧、13

第一限位滑槽、14

第二限位滑槽、15

滑轴、16

滑杆。
具体实施方式
[0031]下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。
[0032]本技术实施例是这样实现的,如图1

3所示的凸轮5传动送料机构,包括:
[0033]送料组件2,所述送料组件2包括:
[0034]放料件,用于随坩埚组件1上的坩埚4转动而进行放料;
[0035]支撑件,用于支撑放料件。
[0036]在本技术在实际应用时,坩埚组件1进行转动时与送料组件接触,此时放料件在坩埚组件1的驱动下打开,将前一工序放料机构送来的SiO2环6放出,当坩埚组件1越过送料组件2后,此时不再与放料件接触,此时放料件关闭,SiO2环6无法通过,直到下一次坩埚组件1再与送料组件2接触时,放料件再次将一个SiO2环6放出,如此往复,在不需要提供额外动力源的情况下即可将SiO2环6的逐个送入坩埚组件1。
[0037]如图3、4所示,作为本技术一个优选的实施例,所述放料件包括:
[0038]凸轮5,固定安装在坩埚组件1的坩埚4外侧;
[0039]开合单元,设置在所述支撑件上并与其滑动连接,当开合单元打开时SiO2环6能通过,当开合单元关闭时,SiO2环6不能通过;以及
[0040]滑动设置在所述支撑件上的凸轮轴9,所述凸轮轴9一端与凸轮5相配合,另一端与开合单元相配合,当凸轮5与凸轮轴9接触时,凸轮轴9推动开合单元打开。
[0041]在本实施例的一种情况中,当坩埚组件1的坩埚4相对坩埚底座3进行转动时,带着坩埚4上的凸轮5与凸轮轴9间歇接触,当开始接触时凸轮5推动凸轮轴9向支撑件内部滑动,凸轮轴9与开合单元接触,将开合单元打开,开合单元上的SiO2环6落在坩埚4上,当凸轮5越过凸轮轴9时,开合单元复位带着凸轮轴9复位,从而使得在下一次凸轮5再与凸轮轴9接触时再次进行放料,为提高凸轮轴9的滑动稳定性,在所述支撑件上开设有第一限位滑槽13,所述第一限位滑槽13内安装有与其滑动连接的滑轴15,所述滑轴15一端与凸轮轴9固定连
接,即通过滑轴15与第一限位滑槽13配合,保证凸轮轴9的滑动稳定性。
[0042]如图4

6所示,作为本技术另一个优选的实施例,所述开合单元包括:
[0043]第一开合页10,一端设置在所述支撑件内并与其滑动连接;
[0044]第二开合页11,一端设置在所述支撑件内并与其滑动连接,用于与第一开合页10配合对SiO2环6的通过进行控制;
[0045]弹性件,设置有两个,一个弹性件一端与第一开合页10伸出支撑件的一端相连,另一端与支撑件相连,另一个弹性件一端与第二开合页11伸出支撑件的一端相连,另一端与支撑件相连。
[0046]在本实施例的一种情况中,为保证第一开合页10和第二开合页11的滑动稳定性,在支撑件上开设有第二限位滑槽14,所述凸轮轴9一端可伸入第二限位滑槽14内,第二限位滑槽14内安装有两个对称设置的滑杆16,两个滑杆16分别与第一开合页10和第二开合页1本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.凸轮传动送料机构,用于将SiO2环逐个送入坩埚组件,其特征在于,所述机构包括:送料组件,所述送料组件包括:放料件,用于随坩埚组件上的坩埚转动而进行放料;支撑件,用于支撑放料件。2.根据权利要求1所述的凸轮传动送料机构,其特征在于,所述放料件包括:凸轮,固定安装在坩埚组件的坩埚外侧;开合单元,设置在所述支撑件上并与其滑动连接,当开合单元打开时SiO2环能通过,当开合单元关闭时,SiO2环不能通过;以及滑动设置在所述支撑件上的凸轮轴,所述凸轮轴一端与凸轮相配合,另一端与开合单元相配合,当凸轮与凸轮轴接触时,凸轮轴推动开合单元打开。3.根据权利要求2所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员:张明
申请(专利权)人:江苏葛西光学科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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