【技术实现步骤摘要】
金属遮罩及其检测方法
[0001]本专利技术是有关于一种用于图案化制程工具及其检测方法,且特别是有关于一种金属遮罩及其检测方法。
技术介绍
[0002]现今有些显示面板,例如有机发光二极管(Organic Light Emitting Diode,OLED)显示面板,采用精细金属遮罩(Fine Metal Mask,FMM)为制程工具之一。具体而言,有机发光二极管显示面板是采用蒸镀(evaporation)制造。在蒸镀过程中,使用精细金属遮罩放置在玻璃板上,而蒸镀过程中产生的镀料能依照精细金属遮罩的多个开口沉积在玻璃板上,以形成有机发光二极管显示面板内的膜层,例如发光层。
[0003]目前显示面板(包括有机发光二极管显示面板)已朝向高分辨率趋势发展。为了制造高分辨率的显示面板,金属遮罩需要具有相当薄的厚度,而且金属遮罩的这些开口在位置与形状上的误差不能过大,否则会制造出不良的显示面板,造成良率下降。
技术实现思路
[0004]本专利技术至少一实施例提出一种金属遮罩的检测方法,其能帮助筛选金属遮罩,确保使用符合检测标准的金属遮罩,以达到提升良率的目的。
[0005]本专利技术至少一实施例还提出一种金属遮罩,其可用上述检测方法而筛选得到。
[0006]本专利技术至少一实施例所提出的金属遮罩的检测方法包括提供金属遮罩,其中金属遮罩具有彼此相对的第一长边与第二长边、彼此相对的第一短边与第二短边以及多个图案区,其中第一长边、第二长边、第一短边与第二短边围绕这些图案区,而这些图案区呈规则排 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种金属遮罩的检测方法,包括:提供一金属遮罩,其中该金属遮罩具有彼此相对的一第一长边与一第二长边、彼此相对的一第一短边与一第二短边以及多个图案区,其中该第一长边、该第二长边、该第一短边与该第二短边围绕该些图案区;根据邻近该第一长边与该第二长边的该些图案区,定义一第一基准直线与一第二基准直线,其中该第一基准直线邻近该第一长边,并沿着该第一长边延伸,该第二基准直线邻近该第二长边,并沿着该第二长边延伸;量测邻近该第一长边的该些图案区与该第一基准直线之间的一第一最大偏移长度,其中该第一最大偏移长度与该第一基准直线垂直;量测邻近该第二长边的该些图案区与该第二基准直线之间的一第二最大偏移长度,其中该第二最大偏移长度与该第二基准直线垂直;以及当该第一最大偏移长度与该第二最大偏移长度之间的相差值小于或等于20微米时,判断该金属遮罩符合一检测标准。2.如权利要求1所述的金属遮罩的检测方法,还包括:当该第一最大偏移长度小于或等于30微米时,判断该金属遮罩符合该检测标准;当该第一最大偏移长度大于30微米时,判断该金属遮罩为该不合格遮罩。3.如权利要求2所述的金属遮罩的检测方法,还包括:当该第二最大偏移长度小于或等于30微米时,判断该金属遮罩符合该检测标准;当该第二最大偏移长度大于30微米时,判断该金属遮罩为不合格遮罩。4.如权利要求1所述的金属遮罩的检测方法,还包括:根据邻近该第一短边的该些图案区,定义一第三基准直线,其中该第三基准直线邻近该第一短边,并沿着该第一短边延伸;量测邻近该第一短边的该些图案区与该第三基准直线之间的一第三最大偏移长度,其中该第三最大偏移长度与该第三基准直线垂直;当该第三最大偏移长度小于或等于10微米时,判断该金属遮罩符合该检测标准;以及当该第三最大偏移长度大于10微米时,判断该金属遮罩为该不合格遮罩。5.一种金属遮罩的检测方法,包括:在翘曲的一金属遮罩上定义彼此平行且分离的一第一基准直线与一第二基准直线,其中该第一基准直线的长度为L1,该第二基准直线的长度为L2;摊平该金属遮罩,以使该第一基准直线变成一第一形变线,该第二基准直线变成一第二形变线,其中该第一形变线的长度为L3,该第二形变线的长度为L4;以及判断该第一基准直线的长度L1、该第二基准直线的长度L2、该第一形变线的长度L3与该第二形变线的长度L4是否满足以下数学式:
│
(L3+L4)/2
‑
(L1+L2)/2
│
≤20微米;以及当该第一基准直线的长度L1、该第二基准直线的长度L2、该第一形变线的长度L3与该第二形变线的长度L4满足该数学式时,判断该金属遮罩符合检测标准。6.如权利要求5所述的金属遮罩的检测方法,其中摊平该金属遮罩的方法包括将该金属遮罩夹置于两块硬式基板之间,以使该些硬式基板压平该金属遮罩。7.如权利要求5所述的金属遮罩的检测方法,其中该第一基准直线与该第二基准直线
之间的距离介于3公分至25公分之间。8.如权利要求5所述的金属遮罩的检测方法,其中该第一基准直线与该第二基准直线两者长度不相等。9.一种金属遮罩的检测方法,包括:提供一金属遮罩,其中该金属遮罩具有彼此相对的一第一长边与一第二长边、彼此相对的第一短边与第二短边以及多个图案区,其中该第一长边、该第二长边、该第一短边与该第二短边围绕该些图案区,而该些图案区呈规则排列;根据邻近该第一长边与该第二长边的该些图案区,定义一第一基准直线与一第二基准直线,其中该第一基准直线邻近该第一长边,并沿着该第一长边延伸,该第二基准直线邻近该第二长边,并沿着该第二长边延伸;量测邻近该第一长边的该些图案区与该第一基准直线之间的一第一最大偏移长...
【专利技术属性】
技术研发人员:杨芸佩,李美伦,林文宜,
申请(专利权)人:达运精密工业股份有限公司,
类型:发明
国别省市:
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