一种能够提高蒸镀品质的OLED蒸镀用掩膜板，包括有OLED显示基板与掩模板本体，所述掩模板本体包括有掩模板上板和掩模板下板，所述掩模板上板与掩模板下板之间设置有安装腔体层，所述OLED显示基板紧密安装在该安装腔体层中，所述掩模板上板上还开设有像素开口区，在所述掩模板本体内部滑动设置有局部掩膜板机构；在所述掩模板本体与局部掩膜板机构之间设置有定位机构，所述掩模板上板活动扣接在掩模板下板上，且在所述掩模板上板与掩模板下板之间设置有微调升降机构，在所述安装腔体层开口处还设置有密封机构。本发明专利技术在对同颜色的像素的蒸镀过程中不需要更换掩模板，从而像素之间不会产生位置偏差，且极大地提高了OLED蒸镀效率和品质。率和品质。率和品质。
【技术实现步骤摘要】
一种能够提高蒸镀品质的OLED蒸镀用掩膜板及其应用方法
[0001]本专利技术涉及显示面板制造的
，具体涉及一种能够提高蒸镀品质的OLED蒸镀用掩膜板及其应用方法。
技术介绍
[0002]掩模板，又称光罩、光掩膜、光刻掩膜版、掩模版等，承载有设计图形，光线透过它，把设计图形投射在光刻胶上。光学掩模板在薄膜、塑料或玻璃基体材料上制作各种功能图形并精确定位，以便用于光致抗蚀剂涂层选择性曝光的一种结构。掩膜版应用十分广泛，在涉及光刻工艺的领域都需要使用掩膜版，如IC(集成电路)、FPD(平板显示器)、PCB(印刷电路板)、MEMS(微机电系统)等。掩模板的性能直接决定了光刻和蒸镀工艺的质量。
[0003]有机发光二级管显示器(Organic Light Emitting Diode,OLED)是一种极具发展前景的平板显示技术，它具有十分优异的显示性能，特别是具有自发光、结构简单、超轻薄、响应速度快、宽视角、低功耗及可实现柔性显示等特性。
[0004]然而，蒸镀作为OLED的核心工艺步骤之一，是OLED制造工艺五大步骤的第二个阶段，是实现高精度，大容量OLED微单元彩色图案化的唯一方法。蒸镀需要在LTPS基板下面放置掩模板(FMM)，当利用有机材料对OLED进行蒸镀时，有机材料只能沉积在掩模板设定的位置。如果不使用掩模板，将会造成像素混乱，例如有绿色和蓝色沉积在红色(R)像素上，这样将无法获得纯色。因此，在蒸镀过程中需要在不同的时间使用RGB相应位置和形状的不同掩模板，这样反复更换掩模板不仅效率低下，且更换一次掩模板即需要重新定位，会让像素颜色之间的位置产生一定的偏差，导致生产的OLED品质不高。
技术实现思路
[0005]本专利技术为弥补显示面板制造设备技术方面的不足，提出一种结构简单，使用稳定可靠，在对同颜色的像素的蒸镀过程中不需要更换掩模板，从而像素之间不会产生位置偏差，且极大地提高了OLED蒸镀效率的能够提高蒸镀品质的OLED蒸镀用掩膜板及其应用方法。
[0006]具体技术方案如下：
[0007]第一方面，本专利技术提供了一种能够提高蒸镀品质的OLED蒸镀用掩膜板，包括有OLED显示基板与掩模板本体，所述掩模板本体包括有掩模板上板和掩模板下板，所述掩模板上板与掩模板下板之间设置有安装腔体层，该安装腔体层整个内壁覆盖有石墨烯层，石墨烯层防止了OLED显示基板在装入安装腔体层的过程中被划伤，所述OLED显示基板紧密安装在该安装腔体层中，所述掩模板上板上还开设有像素开口区，在所述掩模板本体内部滑动设置有局部掩膜板机构；在所述掩模板本体与局部掩膜板机构之间设置有定位机构，所述掩模板上板活动扣接在掩模板下板上，且在所述掩模板上板与掩模板下板之间设置有微调升降机构，在所述安装腔体层开口处还设置有密封机构。
[0008]实现原理：在对OLED显示基板中的像素进行蒸镀即实现红色(R)，绿色(G)和蓝色
(B)的OLED像素自发光，需要分别对OLED显示基板发射红色(R)，绿色(G)和蓝色(B)的有机发光层，以及用于保护有机发光层的结构，所述有机发光层和保护层均通过蒸镀覆盖在OLED显示基板中对应的RGB像素上，通过微调升降机构将掩模板上板与掩模板下板之间的距离拉开，使得安装腔体层高度微微升高，从而OLED显示基板能够比较容易装入安装腔体层中，在所述像素开口区与OLED显示基板的像素一一对齐之后，再通过微调升降机构降低安装腔体层高度，使得掩模板本体紧密贴合在OLED显示基板上，最后通过密封机构将安装腔体层开口处密封。通过所述滑动掩膜板堵住像素开口区的特定部分，即掩盖掉OLED显示基板的一部分像素，只使得OLED显示基板的另一部分像素暴露出与蒸镀装置中蒸镀的有机材料等蒸发材料接触，该部分像素均为RGB像素中的某一种，使得蒸发材料覆盖在像素上，完成蒸镀工作，再通过滑动所述滑动掩膜板掩盖掉这部分像素，仅露出RGB像素中的另一种像素，更换蒸发材料完成蒸镀工作，如此反复直到OLED像素均完成蒸镀工作。
[0009]作为一种优化结构：所述像素开口区均匀密布有像素开口组，该像素开口组包括有至少三个像素开口，所述像素开口组中的像素开口的大小以及排列组合方式均与OLED显示基板的像素大小以及排列组合方式一致；
[0010]所述局部掩膜板机构设置有滑动掩膜板，该滑动掩膜板均匀开设有通孔，且所述通孔滑动到不同位置均与每组像素开口组中的一个像素开口重合，在所述滑动掩膜板至少有一侧部连接有推拉柄，该推拉柄从所述掩模板本体侧面伸出，在所述滑动掩膜板滑动区域的内壁上还设置有密封层。
[0011]作为一种优化结构：所述定位机构设置有定位孔，该定位孔设置在所述掩模板上板上，在所述滑动掩膜板上表面还均匀开设有至少三个定位槽，所述定位孔中还配合安装有定位键，该定位键穿过定位孔与所述定位槽紧密配合。
[0012]作为一种优化结构：所述微调升降机构设置有气阀口，在所述掩模板下板上开设有凹槽，在所述掩模板上板上设置有凸块，所述凹槽与凸块密闭配合，所述气阀口设置在所述凹槽底部，用高压气枪嘴顶住该气阀口即可向凹槽与凸块之间的间隙中充入高压气体，安装腔体层高度即可升高，高压气枪嘴拿开不对气阀口施力后，气阀口即呈关闭状态，同理用尖锐物体顶住气阀口，对气阀口施力即可让气阀口处于打开状态，凹槽与凸块之间的间隙中充入的高压气体则被放出，安装腔体层高度降低。
[0013]作为一种优化结构：所述密封机构设置有密封板，在所述掩模板本体端面上设置有滑动扣槽，该滑动扣槽设置在所述安装腔体层开口端，且所述密封板滑动安装在该滑动扣槽中，在所述掩模板本体一棱角处还开设有倒角，该倒角紧靠所述滑动扣槽开口处设置，该倒角便于密封板插入滑动扣槽与之密封配合。
[0014]作为一种优化结构：所述掩模板下板具有掩模板上板一样的结构，即开设有像素开口区。
[0015]第二方面，本专利技术提供了一种所述的能够提高蒸镀品质的OLED蒸镀用掩膜板的应用方法，所述掩膜板在OLED蒸镀过程中使用，其蒸镀过程包括以下步骤：
[0016]一、通过微调升降机构调整安装腔体层的高度，使得安装腔体层的高度大于OLED显示基板厚度；
[0017]二、将OLED显示基板装入安装腔体层中，再通过微调升降机构调整安装腔体层的高度，使得安装腔体层内壁与OLED显示基板紧密贴合；
[0018]三、滑动调整局部掩膜板机构的滑动掩膜板位置，使得通孔重合的像素开口与即将蒸镀的像素颜色相对应；
[0019]四、将掩模板本体置入设备中对OLED显示基板进行真空蒸镀。
[0020]作为一种优化方法：在OLED显示基板完成一种像素颜色的蒸镀工作后，对通孔、像素开口以及整个像素开口区进行清洗，再滑动调整局部掩膜板机构的滑动掩膜板位置，使得通孔重合的像素开口与下一次蒸镀的像素颜色相对应，最后对安装腔体层中的OLED显示基板进行真空蒸镀，如此循环，直到OLED显示基板所有像素颜色蒸镀完成，并品质达标。
[0021]作为一种优化方法：将OLED显示基本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种能够提高蒸镀品质的OLED蒸镀用掩膜板，其特征在于：包括有OLED显示基板(1)与掩模板本体(2)，所述掩模板本体(2)包括有掩模板上板(21)和掩模板下板(22)，所述掩模板上板(21)与掩模板下板(22)之间设置有安装腔体层(23)，该安装腔体层(23)整个内壁覆盖有石墨烯层(27)，所述OLED显示基板(1)紧密安装在该安装腔体层(23)中，所述掩模板上板(21)上还开设有像素开口区(24)，在所述掩模板本体(2)内部滑动设置有局部掩膜板机构(3)；在所述掩模板本体(2)与局部掩膜板机构(3)之间设置有定位机构(4)，所述掩模板上板(21)活动扣接在掩模板下板(22)上，且在所述掩模板上板(21)与掩模板下板(22)之间设置有微调升降机构(5)，在所述安装腔体层(23)开口处还设置有密封机构(6)。2.根据权利要求1所述的能够提高蒸镀品质的OLED蒸镀用掩膜板，其特征在于：所述像素开口区(24)均匀密布有像素开口组(25)，该像素开口组(25)包括有至少三个像素开口(26)，所述像素开口组(25)中的像素开口(26)的大小以及排列组合方式均与OLED显示基板(1)的像素大小以及排列组合方式一致；所述局部掩膜板机构(3)设置有滑动掩膜板(31)，该滑动掩膜板(31)均匀开设有通孔(32)，且所述通孔(32)滑动到不同位置均与每组像素开口组(25)中的一个像素开口(26)重合，在所述滑动掩膜板(31)至少有一侧部连接有推拉柄(33)，该推拉柄(33)从所述掩模板本体(2)侧面伸出，在所述滑动掩膜板(31)滑动区域的内壁上还设置有密封层(35)。3.根据权利要求2所述的能够提高蒸镀品质的OLED蒸镀用掩膜板，其特征在于：所述定位机构(4)设置有定位孔(41)，该定位孔(41)设置在所述掩模板上板(21)上，在所述滑动掩膜板(31)上表面还均匀开设有至少三个定位槽(42)，所述定位孔(41)中还配合安装有定位键(43)，该定位键(43)穿过定位孔(41)与所述定位槽(42)紧密配合。4.根据权利要求2所述的能够提高蒸镀品质的OLED蒸镀用掩膜板，其特征在于：所述微调升降机构(5)设置有气阀口(51)，在所述掩模板下板(22)上开设有凹槽(52)，在所述掩模板上板(21)上设置有凸块(53)，所述凹槽(52)与凸块(53)密闭配合，所述气阀口(51)设置在所述凹槽(52)底部。5.根据权利要求2所述的能够提高蒸镀品质的OLED蒸镀用掩膜板，其特征在于：所述密封机构(6...
【专利技术属性】
技术研发人员：王宏宇，罗雪春，
申请(专利权)人：重庆翰博显示科技研发中心有限公司，
类型：发明
国别省市：
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