一种OLED化学气相沉积掩膜板去镀用夹持装置制造方法及图纸

技术编号:30749671 阅读:23 留言:0更新日期:2021-11-10 12:01
本实用新型专利技术涉及一种OLED化学气相沉积掩膜板去镀用夹持装置,包括安装框和呈十字结构的支架,所述安装框的顶沿与支架的端部可拆卸连接,所述安装框内设有滑动连接有两个纵向设置的纵置座,所述安装框内壁的两侧设有与纵置座的端部滑动连接的滑台,所述滑台的中部以及纵置座靠近安装框内壁一侧的端面均可拆卸连接有驱动机构,本实用新型专利技术采用十字结构的支架对四个支撑杆的移动进行区域性限位,并通过驱动机构分别驱动横螺杆和纵螺杆转动,从而根据金属掩膜板的幅面规格调节四个支撑杆的间距,并通过气缸驱动夹持块与限位块配合,通过防护垫对金属掩膜板的四角进行稳定夹持,将金属掩膜板平整铺展,更加方便金属掩膜板的加工,提高产品质量。高产品质量。高产品质量。

【技术实现步骤摘要】
一种OLED化学气相沉积掩膜板去镀用夹持装置


[0001]本技术涉及OLED生产
,具体为一种OLED化学气相沉积掩膜板去镀用夹持装置。

技术介绍

[0002]目前,在OLED制备过程中,有机材料的蒸镀是至关重要的一环,蒸镀过程中多要采用超精细金属掩膜板来实现高分辨率的像素设计,随着像素密度越来越高,蒸镀过程中混色等不良产生的概率越来越大。金属掩膜板从来料检查到张网焊接,再从张网到清洗,整个过程中对金属掩膜板的平整度均有很高的要求,这也是对后续蒸镀工艺的必要保证。
[0003]金属掩膜板在进行蒸镀处理时,需要保证金属掩膜板的平整度,而现有技术中,无法对金属掩膜板进行稳定的拉伸铺展,使得金属掩膜板平整度无法统一,造成金属掩膜板的加工处理良品率不高,降低了生产质量和生产效率。因此,为解决上述问题,现提出一种OLED化学气相沉积掩膜板去镀用夹持装置。

技术实现思路

[0004]本技术目的是提供一种OLED化学气相沉积掩膜板去镀用夹持装置,以解决现有技术中无法对金属掩膜板进行稳定的拉伸铺展,使得金属掩膜板平整度无法统一,造成金属掩膜板的加工处理良品率不高,降低了生产质量和生产效率的问题。
[0005]为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种OLED化学气相沉积掩膜板去镀用夹持装置,包括安装框和呈十字结构的支架,所述安装框的顶沿与支架的端部可拆卸连接,所述安装框内设有滑动连接有两个纵向设置的纵置座,所述安装框内壁的两侧设有与纵置座的端部滑动连接的滑台,所述滑台的中部以及纵置座靠近安装框内壁一侧的端面均可拆卸连接有驱动机构,滑台中部的所述驱动机构的两侧均连接并驱动有横螺杆,所述横螺杆与纵置座连接,纵置座靠近安装框内壁一侧的所述驱动机构的两侧均连接并驱动有纵螺杆,所述纵螺杆连接并驱动有与纵置座滑动连接的滑块,所述滑块的底面可拆卸连接有气缸,所述滑块的顶面可拆卸连接有容置气缸外伸轴端的支撑杆,所述支撑杆的顶端可拆卸连接有限位块,所述气缸伸入支撑杆的一端可拆卸连接有与限位块对应的夹持块。
[0006]优选的,所述驱动机构设置有四个,四个所述驱动机构与支架的端部对应。
[0007]优选的,所述驱动机构包括与安装框和纵置座可拆卸连接的驱动壳,所述驱动壳的横螺杆和纵螺杆的一端转动连接,所述驱动壳的开口端可拆卸连接有盖板,所述盖板可拆卸连接有与横螺杆和纵螺杆动力连接的电机。
[0008]优选的,所述驱动机构还包括与横螺杆、纵螺杆和电机伸入驱动壳的轴端配合的同步锥齿轮,所述同步锥齿轮之间外啮合。
[0009]优选的,所述支撑杆内开设有双菱形导向槽,所述夹持块与双菱形导向槽滑动连接。
[0010]优选的,所述限位块的底面和夹持块的顶面均设有防护垫。
[0011]优选的,所述纵螺杆远离驱动机构的一端设有与纵置座可拆卸连接的轴座,所述轴座与纵螺杆转动连接。
[0012]优选的,所述纵置座的外端面可拆卸连接有与滑块滑动连接的滑轨。
[0013]本技术至少具备以下有益效果:
[0014]本技术采用十字结构的支架对四个支撑杆的移动进行区域性限位,并通过驱动机构分别驱动横螺杆和纵螺杆转动,进而通过横螺杆驱动纵置座沿滑台滑移,并通过纵螺杆驱动滑块沿纵置座纵向滑移,从而根据金属掩膜板的幅面规格调节四个支撑杆的间距,并通过气缸驱动夹持块与限位块配合,通过防护垫对金属掩膜板的四角进行稳定夹持,将金属掩膜板平整铺展,更加方便金属掩膜板的加工,操作更加便捷,有效地提高产品质量和生产效率。
附图说明
[0015]图1为本技术的主视结构示意图;
[0016]图2为本技术的俯视结构示意图;
[0017]图3为图1中A

A剖视的结构示意图;
[0018]图4为图2中B

B剖视的结构示意图。
[0019]附图标记中:1、安装框;2、支架;3、滑台;4、纵置座;5、驱动机构;51、驱动壳;52、盖板;53、电机;54、同步锥齿轮;6、横螺杆;7、纵螺杆;8、轴座;9、滑块;10、滑轨;11、支撑杆;12、双菱形导向槽;13、限位块;14、气缸;15、夹持块;16、防护垫。
具体实施方式
[0020]下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例,都属于本技术保护的范围。
[0021]实施例
[0022]请参阅图1

4,本技术提供一种技术方案:一种OLED化学气相沉积掩膜板去镀用夹持装置,包括安装框1和呈十字结构的支架2,安装框1的顶沿与支架2的端部可拆卸连接,安装框1内设有滑动连接有两个纵向设置的纵置座4,安装框1内壁的两侧设有与纵置座4的端部滑动连接的滑台3,具体的,滑台3的顶面与纵置座4的底面贴合,滑台3的中部以及纵置座4靠近安装框1内壁一侧的端面均可拆卸连接有驱动机构5,滑台3中部的驱动机构5的两侧均连接并驱动有横螺杆6,具体的,横螺杆6远离驱动机构5的一端与安装框1轴孔配合,横螺杆6与纵置座4连接,具体的,纵置座4的端部蚀刻有与横螺杆6配合的内螺纹,纵置座4靠近安装框1内壁一侧的驱动机构5的两侧均连接并驱动有纵螺杆7,纵螺杆7连接并驱动有与纵置座4滑动连接的滑块9,具体的,滑块9的中部蚀刻有与纵螺杆7配合的内螺纹,滑块9的底面可拆卸连接有气缸14,滑块9的顶面可拆卸连接有容置气缸14外伸轴端的支撑杆11,具体的,气缸14和支撑杆11均与滑块9通过螺栓连接,支撑杆11的顶端可拆卸连接有限位块13,气缸14伸入支撑杆11的一端可拆卸连接有与限位块13对应的夹持块15,即可通过驱动机构5分别驱动横螺杆6和纵螺杆7转动,进而通过横螺杆6驱动纵置座4沿滑台3滑移,
并调节支撑杆11之间的横向间距,并通过纵螺杆7驱动滑块9沿纵置座4纵向滑移,并调节支撑杆11之间的纵向间距,从而通过气缸14驱动夹持块15与限位块13配合,对金属掩膜板的四角进行夹持,更加方便金属掩膜板的加工。
[0023]其中,驱动机构5设置有四个,四个驱动机构5与支架2的端部对应,具体的,驱动机构5位于支架2端部的正下方。
[0024]其中,驱动机构5包括与安装框1和纵置座4可拆卸连接的驱动壳51,驱动壳51的横螺杆6和纵螺杆7的一端转动连接,具体的,滑台3顶面的驱动壳51的两侧壁与横螺杆6的轴端孔轴配合,纵置座4侧壁的驱动壳51的两侧壁与纵螺杆7的轴端孔轴配合,驱动壳51的开口端可拆卸连接有盖板52,盖板52可拆卸连接有与横螺杆6和纵螺杆7动力连接的电机53,即可通过驱动壳51安装框1和纵置座4连接,分别对横螺杆6和纵螺杆7进行定位安装,并通过电机53分别驱动横螺杆6和纵螺杆7转动。
[0025]其中,驱动机构5还包括与横螺杆6本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种OLED化学气相沉积掩膜板去镀用夹持装置,其特征在于,包括安装框(1)和呈十字结构的支架(2),所述安装框(1)的顶沿与支架(2)的端部可拆卸连接,所述安装框(1)内设有滑动连接有两个纵向设置的纵置座(4),所述安装框(1)内壁的两侧设有与纵置座(4)的端部滑动连接的滑台(3),所述滑台(3)的中部以及纵置座(4)靠近安装框(1)内壁一侧的端面均可拆卸连接有驱动机构(5),滑台(3)中部的所述驱动机构(5)的两侧均连接并驱动有横螺杆(6),所述横螺杆(6)与纵置座(4)连接,纵置座(4)靠近安装框(1)内壁一侧的所述驱动机构(5)的两侧均连接并驱动有纵螺杆(7),所述纵螺杆(7)连接并驱动有与纵置座(4)滑动连接的滑块(9),所述滑块(9)的底面可拆卸连接有气缸(14),所述滑块(9)的顶面可拆卸连接有容置气缸(14)外伸轴端的支撑杆(11),所述支撑杆(11)的顶端可拆卸连接有限位块(13),所述气缸(14)伸入支撑杆(11)的一端可拆卸连接有与限位块(13)对应的夹持块(15)。2.根据权利要求1所述的一种OLED化学气相沉积掩膜板去镀用夹持装置,其特征在于:所述驱动机构(5)设置有四个,四个所述驱动机构(5)与支架(2)的端部对应。3.根据权利要求2所述的一种OLED化学气相沉积掩膜板去镀用夹持装置,其特征在于:所述驱动机构(5)包括与安装框...

【专利技术属性】
技术研发人员:屠礼芸
申请(专利权)人:南京欧濑光电科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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