一种OLED化学气相沉积掩膜板去镀用夹持装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种OLED化学气相沉积掩膜板去镀用夹持装置，包括安装框和呈十字结构的支架，所述安装框的顶沿与支架的端部可拆卸连接，所述安装框内设有滑动连接有两个纵向设置的纵置座，所述安装框内壁的两侧设有与纵置座的端部滑动连接的滑台，所述滑台的中部以及纵置座靠近安装框内壁一侧的端面均可拆卸连接有驱动机构，本实用新型专利技术采用十字结构的支架对四个支撑杆的移动进行区域性限位，并通过驱动机构分别驱动横螺杆和纵螺杆转动，从而根据金属掩膜板的幅面规格调节四个支撑杆的间距，并通过气缸驱动夹持块与限位块配合，通过防护垫对金属掩膜板的四角进行稳定夹持，将金属掩膜板平整铺展，更加方便金属掩膜板的加工，提高产品质量。高产品质量。高产品质量。

【技术实现步骤摘要】
一种OLED化学气相沉积掩膜板去镀用夹持装置


[0001]本技术涉及OLED生产
，具体为一种OLED化学气相沉积掩膜板去镀用夹持装置。

技术介绍

[0002]目前，在OLED制备过程中，有机材料的蒸镀是至关重要的一环，蒸镀过程中多要采用超精细金属掩膜板来实现高分辨率的像素设计，随着像素密度越来越高，蒸镀过程中混色等不良产生的概率越来越大。金属掩膜板从来料检查到张网焊接，再从张网到清洗，整个过程中对金属掩膜板的平整度均有很高的要求，这也是对后续蒸镀工艺的必要保证。
[0003]金属掩膜板在进行蒸镀处理时，需要保证金属掩膜板的平整度，而现有技术中，无法对金属掩膜板进行稳定的拉伸铺展，使得金属掩膜板平整度无法统一，造成金属掩膜板的加工处理良品率不高，降低了生产质量和生产效率。因此，为解决上述问题，现提出一种OLED化学气相沉积掩膜板去镀用夹持装置。

技术实现思路

[0004]本技术目的是提供一种OLED化学气相沉积掩膜板去镀用夹持装置，以解决现有技术中无法对金属掩膜板进行稳定的拉伸铺展，使得金属掩膜板平整度无法统一，造成金本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种OLED化学气相沉积掩膜板去镀用夹持装置，其特征在于，包括安装框(1)和呈十字结构的支架(2)，所述安装框(1)的顶沿与支架(2)的端部可拆卸连接，所述安装框(1)内设有滑动连接有两个纵向设置的纵置座(4)，所述安装框(1)内壁的两侧设有与纵置座(4)的端部滑动连接的滑台(3)，所述滑台(3)的中部以及纵置座(4)靠近安装框(1)内壁一侧的端面均可拆卸连接有驱动机构(5)，滑台(3)中部的所述驱动机构(5)的两侧均连接并驱动有横螺杆(6)，所述横螺杆(6)与纵置座(4)连接，纵置座(4)靠近安装框(1)内壁一侧的所述驱动机构(5)的两侧均连接并驱动有纵螺杆(7)，所述纵螺杆(7)连接并驱动有与纵置座(4)滑动连接的滑块(9)，所述滑块(9)的底面可拆卸连接有气缸(14)，所述滑块(9)的顶面可拆卸连接有容置气缸(14)外伸轴端的支撑杆(11)，所述支撑杆(11)的顶端可拆卸连接有限位块(13)，所述气缸(14)伸入支撑杆(11)的一端可拆卸连接有与限位块(13)对应的夹持块(15)。2.根据权利要求1所述的一种OLED化学气相沉积掩膜板去镀用夹持装置，其特征在于：所述驱动机构(5)设置有四个，四个所述驱动机构(5)与支架(2)的端部对应。3.根据权利要求2所述的一种OLED化学气相沉积掩膜板去镀用夹持装置，其特征在于：所述驱动机构(5)包括与安装框...

【专利技术属性】
技术研发人员：屠礼芸，
申请(专利权)人：南京欧濑光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：