下载金属遮罩及其检测方法的技术资料

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一种金属遮罩及其检测方法。在此检测方法中,首先,提供金属遮罩,其具有第一长边、第二长边、第一短边、第二短边与多个图案区。接着,根据邻近第一长边与第二长边的这些图案区,定义第一基准直线与第二基准直线,其中第一基准直线邻近第一长边,而第二基准直...
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