一种硅棒切割装置及硅棒切割方法制造方法及图纸

本申请实施例提供了一种硅棒切割装置及硅棒切割方法。硅棒切割装置，包括：机座；承载装置，安装于所述机座，用于固定硅棒，所述承载装置用于承载硅棒位置的形状与硅棒外表面的形状相配合；线切割装置，安装于所述机座，所述承载装置和所述线切割装置能够相对做直线运动；其中，在所述承载装置和所述线切割装置相对直线运动过程中，所述线切割装置的切割线用于从硅棒的一端端面切割到另一端端面。硅棒切割方法，使用上述硅棒切割装置对端面为弧形的硅棒进行切割。本申请实施例解决了传统的硅棒切割装置是以圆柱形的硅棒为原料的装置，无法适用于端面为弧形的硅棒的切割的技术问题。适用于端面为弧形的硅棒的切割的技术问题。适用于端面为弧形的硅棒的切割的技术问题。

【技术实现步骤摘要】
一种硅棒切割装置及硅棒切割方法


[0001]本申请涉及切割
，具体地，涉及一种硅棒切割装置及硅棒切割方法。

技术介绍

[0002]通过区熔或直拉工艺在炉膛中整形或提拉形成的硅单晶体棒是圆柱形的单晶硅棒。圆柱形的单晶硅棒经处理后形成端面为弧形的硅棒，弧形包括优弧、劣弧和半圆。传统的硅棒切割装置是以圆柱形的硅棒为原料进行切割的设备，无法适用于端面为弧形的硅棒的切割。
[0003]因此，传统的硅棒切割装置无法适用于端面为弧形的硅棒的切割是本领域技术人员急需要解决的技术问题。
[0004]在
技术介绍
中公开的上述信息仅用于加强对本申请的背景的理解，因此其可能包含没有形成为本领域普通技术人员所知晓的现有技术的信息。

技术实现思路

[0005]本申请实施例提供了一种硅棒切割装置及硅棒切割方法，以解决传统的硅棒切割装置无法适用于端面为弧形的硅棒的切割的技术问题。
[0006]本申请实施例提供了一种硅棒切割装置，包括：
[0007]机座；
[0008]承载装置，安装于所述机座，用于固定硅棒，所述承载装置用于承载硅棒位置的形状与硅棒外表面的形状相配合；
[0009]线切割装置，安装于所述机座，所述承载装置和所述线切割装置能够相对做直线运动；
[0010]其中，在所述承载装置和所述线切割装置相对直线运动过程中，所述线切割装置的切割线用于从硅棒的一端端面切割到另一端端面。
[0011]本申请实施例还提供一种硅棒切割方法，包括：
[0012]使用上述硅棒切割装置对端面为弧形的硅棒进行切割，包括如下步骤：
[0013]固定硅棒；
[0014]承载装置和线切割装置相对直线运动，且线切割装置的边角切割线从硅棒的一端端面切割到另一端端面切除硅棒的边角，线切割装置的弧顶切割线从硅棒的一端切割到另一端端面切除硅棒的弧顶，形成端面为矩形的矩形棒。
[0015]本申请实施例由于采用以上技术方案，具有以下技术效果：
[0016]承载装置能够固定待切割的硅棒，而且承载装置用于承载硅棒的位置的形状与硅棒的外表面的形状相配合。这样，无论是圆柱形的硅棒，还是端面为弧形的硅棒，还是端面为其他形状的硅棒，只要承载装置承载硅棒的位置的形状与硅棒的外表面的形状相配合，能够使用硅棒切割装置进行切割。承载装置和线切割装置能够相对做直线运动，在此过程中，线切割装置的切割线从硅棒的一端端面向另一端端面进行切割，实现将硅棒的一部分
切割下来。本申请实施例的硅棒切割装置，结构简单，能够方便的实现对硅棒的切割。
附图说明
[0017]此处所说明的附图用来提供对本申请的进一步理解，构成本申请的一部分，本申请的示意性实施例及其说明用于解释本申请，并不构成对本申请的不当限定。在附图中：
[0018]图1至图7为本申请实施例的硅棒切割装置的七个具体实施例的示意图；
[0019]图8为图1所示的硅棒切割装置的另一角度的示意图；
[0020]图9为图2所示的硅棒切割装置的承载装置和线切割装置安装的示意图；
[0021]图10为图1至图7所示的硅棒切割装置的承载装置的局部示意图；
[0022]图11为图1至图7为本申请实施例的硅棒切割装置的夹紧机构的示意图；
[0023]图12为图1，图4和图5的硅棒切割装置收放装置的收放线装置的示意图；
[0024]图13为图1，图2和图3的硅棒切割装置收放装置的线槽的示意图。
[0025]附图标记：
[0026]1机座，
[0027]2承载装置，
[0028]21承载台，211
‑
1主承载部，211
‑
2辅承载部，212预设开口，
[0029]22平板型靠紧板，
[0030]23夹紧机构，231
‑
夹紧驱动机构，232伸缩杆，233夹紧头；
[0031]24限位机构，
[0032]3线切割装置，311弧顶切割线，312边角切割线，32切割支架，331上切割线轮，332下切割线轮，333中切割线轮，334线槽，335上切割线轮驱动机构，336上切割线轮支撑架，337下切割线轮支撑架，338切割支架连接板，
[0033]4底座，
[0034]51线辊，52线辊安装座，53线收放电机，54排线轮，55平衡块，56排线连接板，57线收放张力轮，
[0035]61切割驱动机构，62滑轨，63滑块。
具体实施方式
[0036]为了使本申请实施例中的技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图对本申请的示例性实施例进行进一步详细的说明，显然，所描述的实施例仅是本申请的一部分实施例，而不是所有实施例的穷举。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
[0037]实施例一
[0038]如图1至图7所示，本申请实施例的一种硅棒切割装置，包括：
[0039]机座1；
[0040]承载装置2，安装于所述机座1，用于固定硅棒，所述承载装置用于承载硅棒位置的形状与硅棒外表面的形状相配合；
[0041]线切割装置3，安装于所述机座1，所述承载装置2和所述线切割装置3能够相对做直线运动；
[0042]其中，在所述承载装置2和所述线切割装置3相对直线运动过程中，所述线切割装置的切割线用于从硅棒的一端端面切割到另一端端面。
[0043]本申请实施例的硅棒切割装置，承载装置能够固定待切割的硅棒，而且承载装置用于承载硅棒的位置的形状与硅棒的外表面的形状相配合。这样，无论是圆柱形的硅棒，还是端面为弧形的硅棒，还是端面为其他形状的硅棒，只要承载装置承载硅棒的位置的形状与硅棒的外表面的形状相配合，能够使用硅棒切割装置进行切割。承载装置和线切割装置能够相对做直线运动，在此过程中，线切割装置的切割线从硅棒的一端端面向另一端端面进行切割，实现将硅棒的一部分切割下来。本申请实施例的硅棒切割装置，结构简单，能够方便的实现对硅棒的切割。
[0044]具体的，本申请实施例的硅棒切割装置能够用于切割的硅棒，包括单晶硅棒和多晶硅棒，硅棒是端面为弧形的硅棒，弧形包括优弧、劣弧和半圆。
[0045]实施中，如图1至图8所示，所述线切割装置至少包括一组切割线，一组切割线包括相互垂直的边角切割线312和弧顶切割线311；
[0046]其中，在所述承载装置和所述线切割装置相对直线运动过程中，所述边角切割线用于从端面为弧形的硅棒的一端端面切割到另一端端面切除硅棒的边角，所述弧顶切割线用于从端面为弧形的硅棒的一端端面切割到另一端端面切除硅棒的弧顶，形成端面为矩形的矩形棒。
[0047]每一组切割线都包括相互垂直的边角切割线和弧顶切割线。这样，在所述承载装置和所述线切割装置相对直线运动过程中，边角切割线和弧顶切割线能够同时对端面为弧形的硅棒进行切割，在边角切割线将端面为弧形的硅棒的边角切掉的同时，弧顶本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅棒切割装置，其特征在于，包括：机座；承载装置，安装于所述机座，用于固定硅棒，所述承载装置用于承载硅棒位置的形状与硅棒外表面的形状相配合；线切割装置，安装于所述机座，所述承载装置和所述线切割装置能够相对做直线运动；其中，在所述承载装置和所述线切割装置相对直线运动过程中，所述线切割装置的切割线用于从硅棒的一端端面切割到另一端端面。2.根据权利要求1所述的硅棒切割装置，其特征在于，所述线切割装置至少包括一组切割线，一组切割线包括相互垂直的边角切割线和弧顶切割线；其中，在所述承载装置和所述线切割装置相对直线运动过程中，所述边角切割线用于从端面为弧形的硅棒的一端端面切割到另一端端面切除硅棒的边角，所述弧顶切割线用于从端面为弧形的硅棒的一端端面切割到另一端端面切除硅棒的弧顶，形成端面为矩形的矩形棒。3.根据权利要求2所述的硅棒切割装置，其特征在于，所述边角切割线和所述弧顶切割线之间保持预设间隙。4.根据权利要求3所述的硅棒切割装置，其特征在于，所述承载装置包括承载台，所述承载台的一侧具有至少一对平行的直线型的预设开口，一对预设开口将所述承载台的一部分分隔为：主承载部；两个辅承载部，设置在所述主承载部的两侧，且所述辅承载部和所述主承载部之间为所述预设开口；其中，所述预设开口用于线切割装置的切割线进入且从硅棒的端面进行切割。5.根据权利要求4所述的硅棒切割装置，其特征在于，所述主承载部和两个所述辅承载部用于朝向硅棒的一面为平面。6.根据权利要求5所述的硅棒切割装置，其特征在于，所述承载装置还包括：平板型靠紧板，所述平板型靠紧板固定安装在所述主承载部和所述辅承载部的承载面；所述主承载部的承载面和固定在主承载部的平板型靠紧板的板面紧贴，所述辅承载部的承载面和固定在辅承载部的平板型靠紧板的板面紧贴；其中：所述平板型靠紧板是通长的平板型靠紧板，所述主承载部和两个所述辅承载部各固定一个平板型靠紧板；或者所述主承载部和两个所述辅承载部之上各自间隔固定至少两个所述平板型靠紧板。7.根据权利要求4至6任一所述的硅棒切割装置，其特征在于，所述机座用于水平放置；所述主承载部和所述辅承载部用于共同承载以平放的方式放置的硅棒；所述辅承载部还用于承载硅棒被切割掉的边角；所述弧顶切割线水平设置，所述边角切割线垂向设置。8.根据权利要求7所述的硅棒切割装置，其特征在于，所述承载装置还包括：限位机构，固定在所述主承载部用于朝向硅棒的一面且靠近所述预设开口的开口端的
位置；夹紧机构，固定在所述承载台处且与所述限位机构相对设置；所述限位机构和所述夹紧机构用于夹紧在硅棒的两端端面处。9.根据权利要求8所述的硅棒切割装置，其特征在于，所述限位机构朝向预设开口的两个侧面分别与所述主承载部的朝向预设开口的两个侧面平齐。10.根据权利要求4至6任一所述的硅棒切割装置，其特征在于，还包括：用于水平放置的底座，所述机座垂向固定在所述底座之上，所述底座用于承载以竖放的方式放置的硅棒；所述弧顶切割线和所述边角切割线水平设置。11.根据权利要求10所述的硅棒切割装置，其特征在于，所述承载装置还包括：夹紧机构，固定在所述承载台上；其中，所述夹紧机构和所述底座相对设置，所述夹紧机构用于压接在竖放的硅棒的顶端端面。12.根据权利要求8所述的硅棒切割装置，其特征在于，所述夹紧机构包括：夹紧驱动机构、伸缩杆和夹紧头；所述伸缩杆的一端固定在所述夹紧驱动机构的侧面，所述伸缩杆能够伸缩的另一端固定所述夹紧头，所述夹紧驱动机构用于驱动所述伸缩杆伸缩调整所述夹紧头压接在所述硅棒的端面。13.根据权利要求4所述的硅棒切割装置，其特征在于，所述线切割装置包括：切割支架；至少一个切割机构，每个切割机构包括：上切割线轮，安装在所述切割支架的上侧且能够在切割支架的竖向方向旋转；其中，所述切割支架的上侧为所述切割支架远离机座的一侧，所述切割支架的竖向方向为所述切割支架的上侧垂直到所述机座的方向；下切割线轮，与所述上切割线轮上下相对设置且能够在切割支架的竖向方向旋转；下切割线轮相对于切割支架固定；与上切割轮一一对应的环形的竖向金刚线，环形的竖向金刚线套在上切割线轮和下切割线轮的外缘且能够随着所述上切割线轮和下切割线轮的旋转在切割支架的竖向方向传动，形成边角切割线。14.根据权利要求13所述的硅棒切割装置，其特征在于，每个所述切割机构包括：两个相互平行的所述上切割线轮；两个相互平行的所述下切割线轮；两根环形的竖向金刚线，形成两根相互平行的边角切割线；其中，一对所述预设开口用于...

【专利技术属性】
技术研发人员：王立，苏赓，娄和强，陈明一，
申请(专利权)人：青岛高测科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：