一种夹持装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种夹持装置。本实用新型专利技术提供的夹持装置包括夹持机构，夹持机构包括夹持组件和调节锁紧组件，夹持组件包括操作手柄、转接件和至少两个夹持件，转接件用于连接操作手柄和至少两个夹持件，夹持件的一端与转接件转动连接，其另一端用于拾取工件；调节锁紧组件，用于限制夹持件与转接件之间的最大张开角度，以适应不同尺寸不同形状的工件。两个夹持机构在转接件处转动连接，便于通过操作手柄调节两个夹持机构之间的张角，以夹持工件，作业中无需更换夹持装置，提高作业效率。提高作业效率。提高作业效率。

【技术实现步骤摘要】
一种夹持装置


[0001]本技术涉及半导体制造
，尤其涉及一种夹持装置。

技术介绍

[0002]大规模集成电路生产过程中，晶圆需要经过多道工序最终形成产品。在每一道工序中，大都需要转移晶圆。目前一般采用手动拾取转移或利用夹持装置夹持拾取，手动拾取容易造成较大面积的污染，影响晶圆后续工序；而目前的夹持装置仅适用特定尺寸的晶圆，无法适应不同尺寸晶圆的拾取，作业中需要来回更换夹持装置，影响作业效率。
[0003]因此，亟待需要一种夹持装置以解决上述问题。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种夹持装置，能够适应不同尺寸工件的拾取，提高作业效率。
[0005]为实现上述目的，提供以下技术方案：
[0006]一种夹持装置，包括夹持机构，所述夹持机构包括：
[0007]夹持组件，包括操作手柄、转接件和至少两个夹持件，所述转接件用于连接所述操作手柄和至少两个所述夹持件，所述夹持件的一端与所述转接件转动连接，其另一端用于拾取工件；两个所述夹持机构在所述转接件处转动连接；
[0008]调节锁紧组件，用于限制所述夹持件与所述转接件之间的最大张开角度。
[0009]作为所述夹持装置的可选方案，所述调节锁紧组件包括调节杆、弹性件和锁紧件，所述调节杆固定在所述转接件上，所述夹持件与所述调节杆滑动连接；所述弹性件套设在所述调节杆上，且其一端与所述转接件相抵接，其另一端与所述夹持件的一侧相抵接；所述锁紧件能够固定在所述调节杆上并位于所述夹持件的另一侧，以对所述夹持件进行限位。
[0010]作为所述夹持装置的可选方案，所述调节杆上设置有外螺纹，所述锁紧件上设置有与所述外螺纹螺纹配合的螺纹孔。
[0011]作为所述夹持装置的可选方案，所述调节杆包括固定部和调节部，所述固定部与所述转接件固定连接，至少两个所述调节部与所述固定部固定连接，所述调节部与所述夹持件滑动连接，且所述弹性件套设在所述调节部上。
[0012]作为所述夹持装置的可选方案，所述调节部的数量为两个，两个所述调节部均连接有所述夹持件，每个所述夹持件均配备有所述弹性件。
[0013]作为所述夹持装置的可选方案，所述夹持件包括杆部和夹持部，所述杆部的一端与所述转接件转动连接，所述夹持部可拆卸地固定在所述杆部另一端上。
[0014]作为所述夹持装置的可选方案，所述夹持部在所述杆部上的安装位置可调。
[0015]作为所述夹持装置的可选方案，所述夹持部呈倒锥台状。
[0016]作为所述夹持装置的可选方案，所述夹持部为弧形，且所述夹持部的内侧设置有V形容纳槽。
[0017]作为所述夹持装置的可选方案，所述夹持部的材质为导电塑料。
[0018]与现有技术相比，本技术的有益效果为：
[0019]本技术提供的夹持装置，包括夹持机构，夹持机构包括夹持组件和调节锁紧组件，夹持组件包括操作手柄、转接件和至少两个夹持件，转接件用于连接操作手柄和至少两个夹持件，夹持件的一端与转接件转动连接，其另一端用于拾取工件；调节锁紧组件，用于限制夹持件与转接件之间的最大张开角度，以适应不同尺寸不同形状的工件。两个夹持机构在转接件处转动连接，便于通过操作手柄调节两个夹持机构之间的张角，以夹持工件。
附图说明
[0020]为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案，下面将对本技术实施例描述中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据本技术实施例的内容和这些附图获得其他的附图。
[0021]图1为本技术实施例提供的夹持装置第一个方向的结构示意图；
[0022]图2为本技术实施例提供的夹持装置第二个方向的结构示意图；
[0023]图3为本技术实施例提供的夹持装置第三个方向的结构示意图；
[0024]图4为本技术实施例提供的夹持装置第四个方向的结构示意图。
[0025]附图标记：
[0026]1‑
夹持组件；11
‑
操作手柄；12
‑
转接件；13
‑
夹持件；131
‑
杆部；132
‑
夹持部；
[0027]2‑
调节锁紧组件；21
‑
调节杆；22
‑
弹性件；23
‑
锁紧件。
具体实施方式
[0028]为了使本领域技术人员更好地理解本技术的技术方案，下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本技术的技术方案。
[0029]在本技术的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0030]在本技术中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
[0031]在本实施例的描述中，术语“上”、“下”、“左”、“右”等方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述和简化操作，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅仅用于在描述上加以区分，并没有特殊的含义。
[0032]如图1
‑
图2所示，本实施例提供了一种夹持装置，包括夹持机构，夹持机构包括夹持组件1和调节锁紧组件2，夹持组件1包括操作手柄11、转接件12和至少两个夹持件13，转接件12用于连接操作手柄11和至少两个夹持件13，夹持件13的一端与转接件12转动连接，其另一端用于拾取工件；调节锁紧组件2，用于限制夹持件13与转接件12之间的最大张开角度，以适应不同尺寸不同形状的工件。两个夹持机构在转接件12处转动连接，便于通过操作手柄11调节两个夹持机构之间的张角，以夹持工件。
[0033]需要说明的是，工件可以是晶圆或其他薄片状物体。
[0034]可选地，如图3所示，调节锁紧组件2包括调节杆21、弹性件22和锁紧件23，调节杆21固定在转接件12上，夹持件13与调节杆21滑动连接；弹性件22套设在调节杆21上，且其一端与转本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种夹持装置，其特征在于，包括夹持机构，所述夹持机构包括：夹持组件(1)，包括操作手柄(11)、转接件(12)和至少两个夹持件(13)，所述转接件(12)用于连接所述操作手柄(11)和至少两个所述夹持件(13)，所述夹持件(13)的一端与所述转接件(12)转动连接，其另一端用于拾取工件；两个所述夹持机构在所述转接件(12)处转动连接；调节锁紧组件(2)，用于限制所述夹持件(13)与所述转接件(12)之间的最大张开角度。2.根据权利要求1所述的夹持装置，其特征在于，所述调节锁紧组件(2)包括调节杆(21)、弹性件(22)和锁紧件(23)，所述调节杆(21)固定在所述转接件(12)上，所述夹持件(13)与所述调节杆(21)滑动连接；所述弹性件(22)套设在所述调节杆(21)上，且其一端与所述转接件(12)相抵接，其另一端与所述夹持件(13)的一侧相抵接；所述锁紧件(23)能够固定在所述调节杆(21)上并位于所述夹持件(13)的另一侧，以对所述夹持件(13)进行限位。3.根据权利要求2所述的夹持装置，其特征在于，所述调节杆(21)上设置有外螺纹，所述锁紧件(23)上设置有与所述外螺纹螺纹配合的螺纹孔。4.根据权利要求2所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：葛胜，王金彬，王艳华，冯敏强，
申请(专利权)人：江苏集萃有机光电技术研究所有限公司，
类型：新型
国别省市：