一种高效循环退火炉制造技术

本实用新型专利技术公开了一种高效率循环退火炉，包括支撑件，支撑件包括第一支撑架和第二支撑架，第一支撑架的底部与第二支撑架的前端相安装，第一支撑架的顶部沿自身长度方向等距安装有三个退火炉，三退火炉的尾部沿第二支撑架的宽度方向设置，且与第二支撑架之间形成有安装间隙，安装间隙内设置有垂直滑动部，垂直滑动部的上端安装有用于加热其中一个退火炉的加热箱，垂直滑动部用于带动加热箱在对应的退火炉的外周壁上前后移动，垂直滑动部还设置有水平滑动部，水平滑动部用于带动加热箱在三个退火炉之间往复移动。火炉之间往复移动。火炉之间往复移动。

【技术实现步骤摘要】
一种高效循环退火炉


[0001]本技术涉及退火炉
，特别涉及一种高效率循环退火炉。

技术介绍

[0002]退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的。可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。
[0003]退火炉可以集成到其他炉子处理步骤中，例如氧化，或者可以自己处理。退火炉是由专门为加热半导体晶片而设计的设备完成的。退火炉是节能型周期式作业炉，超节能结构，采用纤维结构，节电60%。
[0004]目前，退火炉在使用过程中通常效率不高，无法往复循环快速实现第二次加热。

技术实现思路

[0005]针对现有技术存在的不足，本技术的目的在于提供一种以解决上述的问题。
[0006]为实现上述目的，本技术提供了如下技术方案：一种高效率循环退火炉，包括支撑件，支撑件包括第一支撑架和第二支撑架，第一支撑架的底部与第二支撑架的前端相安装，第一支撑架的顶部沿自身长度方向等距安装有三个退火炉，三退火炉的尾部沿第二支撑架的宽度方向设置，且与第二支撑架之间形成有安装间隙，安装间隙内设置有垂直滑动部，垂直滑动部的上端安装有用于加热其中一个退火炉的加热箱，垂直滑动部用于带动加热箱在对应的退火炉的外周壁上前后移动，垂直滑动部还设置有水平滑动部，水平滑动部用于带动加热箱在三个退火炉之间往复移动。
[0007]采用上述技术方案的优点是：通过退火炉、垂直滑动部、水平滑动部相配合，对三个退火炉循环往复的进行加热，操作简单，加热效率高，方便维护。
[0008]优选的，垂直滑动部包括第三支撑架、四个滚轮，四个滚轮分别安装于第三支撑架的四角处，且每个位于左侧的滚轮均与处于右侧同一位置的滚轮之间通过传动轴相连接。
[0009]采用上述技术方案的优点是：通过滚轮和传动轴的作用，方便加热箱的使用，减少移动时间。
[0010]优选的，垂直滑动部还设置有螺杆组件，螺杆组件的一侧设置有驱动源，螺杆组件与驱动源相配合对四个滚轮提供推力。
[0011]采用上述技术方案的优点是：通过螺杆组件对滚轮提供推力带动加热箱前后移动，提高整体结构稳定性，同时不易使加热箱的位移方向发生偏移。
[0012]优选的，水平滑动部包括滑座、滑块、定位件、气缸，滑座沿第三支撑架的宽度方向设置，且连接于第三支撑架的左右两侧中部，滑座设置有滑槽，滑块一端与加热箱固定连接，另一端滑动连接于滑槽内，定位件置于滑槽内部，且用于对滑块移动时进行定位，气缸设置于滑槽两端，且用于对滑块产生推力使滑块移动。
[0013]采用上述技术方案的优点是：通过滑座、滑块、定位件、气缸相配合，实现加热箱在水平方向的移动，同时整体结构稳定性高。
[0014]优选的，定位件包括依次转动连接于滑槽的左端、中部、右端的“L”型定位板，“L”型定位板的水平部分和垂直部分均与滑槽之间通过卡扣连接。
[0015]采用上述技术方案的优点是：通过三个“L”型定位板相配合，方便对加热箱在移动的位置进行定位，同时加热箱在水平方向的位移不易发生偏移。
[0016]优选的，滑槽内还设置有三个与相对应的“L”型定位板配合使用的安装槽，安装槽的长度为“L”型定位板的垂直部分和水平部分的长度之和。
[0017]采用上述技术方案的优点是：使“L”型定位板在转动后的水平部分和垂直部分之间的转换更加稳定，不易对滑块的移动产生阻碍。
[0018]优选的，退火炉的头部设置有炉盖。
[0019]采用上述技术方案的优点是：通过在退火炉的头部设置炉盖，方便打开和关闭退火炉，同时使退火炉内形成密闭空间，方便加热。
附图说明
[0020]图1为本技术的立体结构示意图；
[0021]图2为本技术的水平滑动部的结构示意图；
[0022]图3为本技术的垂直滑动部的结构示意图。
[0023]附图标记：1、支撑件；11、第一支撑架；12、第二支撑架；13、退火炉；14、安装间隙；15、加热箱；16、炉盖；2、垂直滑动部；21、第三支撑架；22、滚轮；221、传动轴；23、螺杆组件；231、驱动源；3、水平滑动部；31、滑座；311、滑槽；32、滑块；33、定位件；331、“L”型定位板；332、安装槽；34、气缸。
具体实施方式
[0024]下面结合附图和实施例，对本技术进一步详细说明。其中相同的零部件用相同的附图标记表示。需要说明的是，下面描述中使用的词语“前”、“后”、“左”、“右”、“上”和“下”指的是附图中的方向，词语“底面”和“顶面”、“内”和“外”分别指的是朝向或远离特定部件几何中心的方向。
[0025]参照图1
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3所示，一种高效率循环退火炉13，包括支撑件1，支撑件1包括第一支撑架11和第二支撑架12，第一支撑架11的底部与第二支撑架12的前端相安装，第一支撑架11的顶部沿自身长度方向等距安装有三个退火炉13，三退火炉13的尾部沿第二支撑架12的宽度方向设置，且与第二支撑架12之间形成有安装间隙14，安装间隙14内设置有垂直滑动部2，垂直滑动部2的上端安装有用于加热其中一个退火炉13的加热箱15，垂直滑动部2用于带动加热箱15在对应的退火炉13的外周壁上前后移动，垂直滑动部2还设置有水平滑动部3，水平滑动部3用于带动加热箱15在三个退火炉13之间往复移动。本技术通过支撑件1、退火炉13、垂直滑动部2、水平滑动部3实现，当需要对物料进行退火时，先将物料装进三个退火炉13中，打开加热箱15的开关，并将加热箱15通过水平滑动部3的作用移动至最左侧退火炉13的后方，再通过垂直滑动部2的作用，使加热箱15向前移动，并使退火炉13进入加热箱15内，直至退火炉13完全进入加热箱15，对退火炉13进行加热，从而对物料进行加热，当
最左侧的退火炉13加热完成时，先通过垂直滑动部2的作用，使加热箱15向后移动脱离退火炉13，再通过水平滑动部3的作用使加热箱15移动至中间的退回炉的后方，重复加热的流程，对中间的退回炉内的物料进行加热，直至加热完成，同时使最左侧的退火炉13进行冷却降温，当中间的退火炉13加热完成时，先通过垂直滑动部2的作用，使加热箱15向后移动脱离退火炉13，再通过水平滑动部3的作用使加热箱15移动至最右侧的退回炉的后方，重复加热的流程，对最右侧的退火炉13进行加热，直至加热完成，同时使最左侧的退火炉13内的物料冷却至需求温度、中间的退火炉13冷却降温，将最左侧的物料取出，重新放入待退火的物料，重复上述流程，对最左侧的物料进行加热，通过退火炉13、垂直滑动部2、水平滑动部3相配合，对三个退火炉13循环往复的进行加热，操作简单，加热效率高，方便维护。
[0026]垂直滑动部2包括第三支撑架21、四个滚轮22，四个滚轮2本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高效率循环退火炉，包括支撑件(1)，其特征在于：所述支撑件(1)包括第一支撑架(11)和第二支撑架(12)，所述第一支撑架(11)的底部与第二支撑架(12)的前端相安装，所述第一支撑架(11)的顶部沿自身长度方向等距安装有三个退火炉(13)，三所述退火炉(13)的尾部沿第二支撑架(12)的宽度方向设置，且与第二支撑架(12)之间形成有安装间隙(14)，所述安装间隙(14)内设置有垂直滑动部(2)，所述垂直滑动部(2)的上端安装有用于加热其中一个退火炉(13)的加热箱(15)，所述垂直滑动部(2)用于带动加热箱(15)在对应的退火炉(13)的外周壁上移动，所述垂直滑动部(2)还设置有水平滑动部(3)，所述水平滑动部(3)用于带动加热箱(15)在三个退火炉(13)之间往复移动。2.根据权利要求1所述的一种高效率循环退火炉，其特征在于：所述垂直滑动部(2)包括第三支撑架(21)、四个滚轮(22)，四个所述滚轮(22)分别安装于第三支撑架(21)的四角处，且每个位于左侧的滚轮(22)均与处于右侧同一位置的滚轮(22)之间通过传动轴(221)相连接。3.根据权利要求2所述的一种高效率循环退火炉，其特征在于：所述垂直滑动部(2)还设置有螺杆组件(23)，所述螺杆组件(23)的一侧设置有驱动源(231)，所述螺杆组件(23)与驱动源(2...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑益鑫，周勇，
申请(专利权)人：乐清市长虹电工合金材料有限公司，
类型：新型
国别省市：