本实用新型专利技术提供了一种丝杠洁净化装置，涉及半导体技术领域，解决了丝杠暴露在空气中易将油污甩出污染半导体产品的技术问题。该丝杠洁净化装置包括挡罩和排风组件，挡罩设置在丝杠甩油路径内，以将甩出油污阻挡；排风组件设置在挡罩旁侧，且其抽风口正对挡罩的开口处。本实用新型专利技术通过在丝杠的甩油路径内设置挡罩，能够将丝杠甩出的油污进行阻挡，以避免扩散到外部环境中而造成产品的污染；通过在挡罩开口侧设置排风组件，不仅能将油污随空气抽出，减少甩溅到挡罩内的油污量，减少顺挡罩滴落到底部的油污，而且还能进一步的将容易产生油污泄露而污染产品的薄弱点消除实现了重载大行程升降丝杠模组的洁净化设计，解决了丝杠及滑块模组在运动过程中产生的颗粒及油污的处理问题。题。题。
【技术实现步骤摘要】
一种丝杠洁净化装置
[0001]本技术涉及半导体
，尤其是涉及一种应用于半导体行业的丝杠洁净化装置。
技术介绍
[0002]在半导体器件晶圆的制造过程中，其易收到外来物、灰尘粒子、金属离子、油污的影响而破坏表面结构，电子特性等的产品决定了其制造过程必须有洁净度的要求。
[0003]本申请人发现现有技术至少存在以下技术问题：
[0004]现有的晶圆制造设备中使用的多为开放型升降模组，也就是说丝杠及滑块模组暴露在空气中，由于丝杠需要保持润滑状态需定期施加润滑油，导致丝杠在运行时无法对颗粒的产生及油污的挥发进行管控及处理，容易将灰尘颗粒或油污杂质在转动过程中抛甩出去，导致洁净度不够，进而污染半导体产品。
技术实现思路
[0005]本技术的目的在于提供一种应用于半导体行业的丝杠洁净化装置，以解决现有技术中存在的丝杠暴露在空气中易将油污甩出污染半导体产品的技术问题。
[0006]为实现上述目的，本技术提供了以下技术方案：
[0007]本技术提供的一种丝杠洁净化装置，包括挡罩和排风组件，所述挡罩设置在丝杠甩油路径内，以将甩出油污阻挡；所述排风组件设置在所述挡罩旁侧，且其抽风口正对所述挡罩的开口处。
[0008]作为本技术的进一步改进，所述挡罩为中空筒体结构，围设在丝杠周侧，且在远离丝杠的一端具有开口。
[0009]作为本技术的进一步改进，所述挡罩高度等于或大于丝杠长度。
[0010]作为本技术的进一步改进，所述排风组件包括导流罩、抽风口和风扇机组，所述导流罩为两端封闭的中空筒体结构，与所述挡罩平行；所述抽风口的数量为至少一个，沿所述导流罩轴向依次设置，每个所述抽风口上设置有一个所述风扇机组，所述导流罩底部设置有排气管，所述排气管上设置有排气法兰。
[0011]作为本技术的进一步改进，所述导流罩高度不小于所述挡罩的高度。
[0012]作为本技术的进一步改进，所述排风组件还包括设置在所述导流罩内腔底部以将其顶部的空气抽向底部的排气风扇。
[0013]作为本技术的进一步改进，所述排气风扇的数量为两个，并排设置。
[0014]作为本技术的进一步改进，相邻的两个所述抽风口之间的距离相等或不等。
[0015]作为本技术的进一步改进，所述挡罩采用金属钣金件制成。
[0016]作为本技术的进一步改进，所述导流罩截面为矩形结构。
[0017]作为本技术的进一步改进，所述丝杠为重载大行程升降丝杠。
[0018]本技术与现有技术相比具有如下有益效果：
[0019]本技术提供的丝杠洁净化装置，通过在丝杠的甩油路径内设置挡罩，能够将丝杠甩出的油污进行阻挡，以避免扩散到外部环境中而造成产品的污染；通过在挡罩开口侧设置排风组件，不仅能将油污随空气抽出，减少甩溅到挡罩内的油污量，减少顺挡罩滴落到底部的油污，而且还能进一步的将容易产生油污泄露而污染产品的薄弱点消除实现了重载大行程升降丝杠模组的洁净化设计，解决了丝杠及滑块模组在运动过程中产生的颗粒及油污的处理问题。
附图说明
[0020]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0021]图1是本技术丝杠洁净化装置的主视图；
[0022]图2是本技术丝杠洁净化装置的侧视图；
[0023]图3是本技术丝杠洁净化装置的俯视截面图。
[0024]图中1、挡罩；11、开口；2、排风组件；21、抽风口；22、导流罩；23、风扇机组；24、排气管；25、排气法兰；26、排气风扇；100、丝杠。
具体实施方式
[0025]为使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将对本技术的技术方案进行详细的描述。显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所得到的所有其它实施方式，都属于本技术所保护的范围。
[0026]实施例1：
[0027]如图1所示，本技术提供了一种丝杠洁净化装置，包括挡罩1和排风组件2，挡罩1设置在丝杠100甩油路径内，以将甩出油污阻挡；排风组件2设置在挡罩1旁侧，且其抽风口21正对挡罩1的开口11处。
[0028]具体的，挡罩1立在丝杠100旁侧，能将丝杠100高速旋转时从切线方向甩出的油污阻挡后收集，由于丝杠100上的螺母与其他部件连接，无法将挡罩1设置成全封闭结构，存在开口11，该开口11仍旧成为油污外散的污染点，故在，挡罩1开口11处设置排风组件2，通过排风组件2不仅能够将挡罩1的开口11处的污染点去除，能将开口处外散的油污收集排出，而且还能进一步减少油污在挡罩1上聚集，提高挡油效果，延长挡罩1使用寿命，持续保证挡油效果，也减少油污滴落到挡罩1底部。
[0029]本技术提供的丝杠洁净化装置，通过在丝杠的甩油路径内设置挡罩，能够将丝杠甩出的油污进行阻挡，以避免扩散到外部环境中而造成产品的污染；通过在挡罩开口侧设置排风组件，不仅能将油污随空气抽出，减少甩溅到挡罩内的油污量，减少顺挡罩滴落到底部的油污，而且还能进一步的将容易产生油污泄露而污染产品的薄弱点消除实现了重载大行程升降丝杠模组的洁净化设计，解决了丝杠及滑块模组在运动过程中产生的颗粒及油污的处理问题。
[0030]实施例2：
[0031]如图1所示，本技术提供了一种丝杠洁净化装置，包括挡罩1和排风组件2，挡罩1设置在丝杠100甩油路径内，以将甩出油污阻挡；排风组件2设置在挡罩1旁侧，且其抽风口21正对挡罩1的开口11处。
[0032]具体的，挡罩1立在丝杠100旁侧，能将丝杠100高速旋转时从切线方向甩出的油污阻挡后收集，由于丝杠100上的螺母与其他部件连接，无法将挡罩1设置成全封闭结构，存在开口11，该开口11仍旧成为油污外散的污染点，故在，挡罩1开口11处设置排风组件2，通过排风组件2不仅能够将挡罩1的开口11处的污染点去除，能将开口处外散的油污收集排出，而且还能进一步减少油污在挡罩1上聚集，提高挡油效果，延长挡罩1使用寿命，持续保证挡油效果，也减少油污滴落到挡罩1底部。
[0033]本技术提供的丝杠洁净化装置，通过在丝杠的甩油路径内设置挡罩，能够将丝杠甩出的油污进行阻挡，以避免扩散到外部环境中而造成产品的污染；通过在挡罩开口侧设置排风组件，不仅能将油污随空气抽出，减少甩溅到挡罩内的油污量，减少顺挡罩滴落到底部的油污，而且还能进一步的将容易产生油污泄露而污染产品的薄弱点消除实现了重载大行程升降丝杠模组的洁净化设计，解决了丝杠及滑块模组在运动过程中产生的颗粒及油污的处理问题。
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种丝杠洁净化装置，其特征在于，包括挡罩和排风组件，所述挡罩设置在丝杠甩油路径内，以将甩出油污阻挡；所述排风组件设置在所述挡罩旁侧，且其抽风口正对所述挡罩的开口处。2.根据权利要求1所述的丝杠洁净化装置，其特征在于，所述挡罩为中空筒体结构，围设在丝杠周侧，且在远离丝杠的一端具有开口。3.根据权利要求2所述的丝杠洁净化装置，其特征在于，所述挡罩高度等于或大于丝杠长度。4.根据权利要求1所述的丝杠洁净化装置，其特征在于，所述排风组件包括导流罩、抽风口和风扇机组，所述导流罩为两端封闭的中空筒体结构，与所述挡罩平行；所述抽风口的数量为至少一个，沿所述导流罩轴向依次设置，每个所述抽风口上设置有一个所述风扇机组，所述导流...
【专利技术属性】
技术研发人员：尹诚诚，刘广齐，刘冬梅，王强，董纯洁，
申请(专利权)人：北京锐洁机器人科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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