磁盘驱动器和制造磁盘驱动器的弯曲电路的方法技术

公开了一种用于磁盘驱动器的弯曲电路的制作方法，该磁盘驱动器包括磁盘、在所述磁盘上方径向致动的磁头以及控制电路。该弯曲电路用来电耦连磁头到控制电路并且包括衬底。被施加在衬底的第一侧的电涂层被蚀刻以形成第一电引线。衬底的第一侧被射线照射以致第一电引线遮掩通过衬底的射线以防止对施加在衬底的第二侧的光致抗蚀剂进行固化，从而在衬底的第二侧上形成未固化的光致抗蚀剂和固化的光致抗蚀剂。未固化的光致抗蚀剂被从衬底的第二侧去除以形成沟槽，以及该沟槽被导电材料填充以形成第二电引线。

【技术实现步骤摘要】

技术介绍
0001图1示出了现有技术的磁盘驱动器，其包括磁盘2和磁头4， 该磁头4连接到致动器臂6的末端，该致动器臂6通过音圈电动机 (VCM) 8围绕枢轴转动以将磁头4径向地置于磁盘2上方。磁头4可包括使用半导体制作工艺在很小尺度中制作的感应写入元件(写入 圈)和磁阻读取元件(MR元件)。 一般使用弯曲电路(flex circuit) 10以将磁头4电气耦连到磁盘驱动器中的控制电路。在图1A示出的 例子中，第一弯曲电路10A耦连磁头4到安装在致动器臂6上的前置 放大器12A，以及第二弯曲电路10B耦连前置放大器12A到安装在印 刷电路板上的其它控制电路12B，其中第二弯曲电路10B帮助致动器 臂6的运动。在其它磁盘驱动器中，前置放大器12A可能与控制电路 12B集成，以使得弯曲电路IOA直接耦连磁头IO到安装在印刷电路板 上的控制电路12B。0002图1B示出了弯曲电路1 OA的放大横截面图，该弯曲电路1 OA 包括用来传送差分信号(例如针对磁头4的差分写入信号14A和14B 以及差分读取信号16A和16B)的电引线。电引线被衬底18所支撑， 该衬底18可包括任何合适的材料，诸如聚酰亚胺。电引线一般使用传 统的蚀刻技术在衬底18的一侧来形成，以使得用于传送差分信号的电 引线被空隙(例如，空隙20A和20B)所隔离。0003当磁盘驱动器中的数据速率增长到微波波段时，用于传送差 分信号的电引线的传输性质变得更加重要。例如，期望的是降低电引 线的阻抗以增加功率效率和差分信号的信噪比(SNR)。0004因此，在磁盘驱动器中需要降低在弯曲电路上制作的电引线 的阻抗以提高沿着电引线传输差分信号的功率效率和SNR。附图说明0005图1A示出了包括在磁盘上致动的磁头和用于耦连磁头到控 制电路的弯曲电路的现有技术磁盘驱动器。0006图IB示出了包括用于传送差分信号的在衬底的单侧上制作 的电引线的现有技术弯曲电路。0007图2A示出了根据本专利技术的实施例的磁盘驱动器，其包括在 磁盘上致动的磁头和用于耦连该磁头到控制电路的弯曲电路。0008图2B示出了根据本专利技术的实施例的弯曲电路，其中用于传送差分信号的电引线是在衬底的相对侧上制作的，其中第一电引线提 供用于蚀刻第二电引线的蚀刻掩膜。0009图3A — 3H示出了根据本专利技术的实施例的制作弯曲电路的方 法，其中第一 电引线提供用于蚀刻第二电引线的蚀刻掩膜。具体实施例方式0010图2A示出了根据本专利技术的实施例的磁盘驱动器，其包括磁 盘22、在磁盘22上面径向致动的磁头24、控制电路26A和26B以及 用于电耦连该磁头24到控制电路26A (在图2A中示出的例子中的前 置放大器)的弯曲电路28A。该弯曲电路28A (图2B)包括衬底30、 耦连到衬底30的第一侧的第一电引线32A以及耦连到衬底30的第二 侧(与第一侧相对)的第二电引线32B，其中第一电引线32A可操作 以引导差分信号的第一信号，第二电引线32B可操作以引导差分信号 的第二信号。第一电引线32A提供用于蚀刻第二电引线32B的蚀刻掩 膜，且第一电引线32A与第二电引线32B基本对准，从而衬底30形 成电容性电介质。0011在图2A的实施例中，磁头24被连接到致动器臂36的末端， 该致动器臂36通过音圈电动机38围绕枢轴转动以使磁头24在磁盘22 的上方径向致动。第一弯曲电路28A耦连磁头24到安装在致动器臂 36上的前置放大器26A，而第二弯曲电路28B耦连前置放大器26A到 安装在印刷电路板上的其它控制电路26B。随着致动器臂36旋转，第 二弯曲电路28B弯曲以帮助致动器臂36的运动。在替代性实施例中， 前置放大器与其它的控制电路26B集成，以使得弯曲电路28A直接耦连磁头24到安装在印刷电路板上的控制电路26B。0012弯曲电路28A可包括用于传送任何合适差分信号的电引线。 在一个实施例中，磁头24包括磁阻(MR)磁头，该磁阻磁头包括具 有第一差分信号接口 (例如，32A和32B)的写入元件以及具有第二 差分信号接口 (例如，34A和34B)的读取元件。如上所述，期望的 是降低传送差分信号的电引线的阻抗以增加功率效率和信号的信噪比(SNR)。该阻抗可以通过增加电引线之间的电容来降低，在图2B示 出的实施例中，该阻抗由于衬底30的增加电容而降低。然而，为了充 分利用衬底30的电容性电介质属性，在一个实施例中，第一电引线(例 如，32A)与第二电引线(例如，32B)基本对准。0013图3A—3H示出根据本专利技术的实施例的制作弯曲电路28A的 方法，从而基本对准传送差分信号的电引线。参考图3A，电涂层40 被施加到合适的衬底30 (例如，聚酰亚胺)的第一表面，其中电涂层 40可包括任何合适的材料，诸如包括铜、铜铍合金、镍或其组合物的 金属合金。合适的光致抗蚀剂42 (诸如合适的聚酰亚胺)被施加在电 涂层40上，以及掩膜44被放置在光致抗蚀剂42上(图3B)。合适 的辐射源(例如，紫外光或可见光)被指向第一表面以固化没有被掩 膜44所覆盖的光致抗蚀剂42。参考图3C，未被固化的光致抗蚀剂42 和下面的电涂层40使用合适的蚀刻溶液(诸如酸性氯化铁)来去除(蚀 刻)。然后使用合适的溶液比如有机溶剂(例如，二氯甲垸)来去除 图3C中示出的被固化的光致抗蚀剂42 (图3D)，留下图2B中示出 的第一电引线32A。0014如上文参考图3A—3D所述，在蚀刻施加在衬底30的第一 侧上的电涂层40以形成第一电引线32A的步骤期间，如果采用正性光 致抗蚀剂，掩膜44可能被颠倒。在该实施例中，光致抗蚀剂42的掩 膜部分在显影时被固化，而未掩膜(和未固化)的光致抗蚀剂42连同 如图3所示的下面电涂层40 —起被去除。0015现在接着图3E，衬底30被翻转以使第二侧朝上，并且光致 抗蚀剂46被施加在第二侧上。如图3E所示，衬底30的第一侧接着被 照射，从而第一电引线32A遮掩射线通过衬底30以防止固化施加于衬 底30的第二侧上的光致抗蚀剂46，由此在衬底的第二侧上形成未固化的光致抗蚀剂和固化的光致抗蚀剂。在该实施例中，衬底30充分透明 以穿过射线，而第一引线32A遮掩射线。参考图3F，未固化的光致抗 蚀剂46从衬底30的第二侧去除以形成沟槽48。参考图3G，使用任何 合适的技术比如合适的沉积工艺(例如，液浴电镀工艺或溅射工艺)， 沟槽48被充满导电材料50。如图3H所示，图3G所示的固化光致抗 蚀剂46接着被去除，从而形成图2B中示出的第二电引线32B。0016如图3H示出的，第一电引线32A与第二电引线32B基本对 准，从而衬底30形成电容电介质。在一个实施例中，与图1B的现有 技术中示出的空气电介质相比，衬底30的电容性电介质增加了电引线 32A和32B的电容。电容的增加降低了电引线的阻抗从而增加功率效 率和差分信号的信噪比(SNR)。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种制作磁盘驱动器的弯曲电路的方法，所述磁盘驱动器包括磁盘、在所述磁盘上方径向致动的磁头以及控制电路，其中所述弯曲电路用于电耦连所述磁头到所述控制电路并且包括衬底，所述方法包括：　蚀刻被施加到所述衬底的第一侧的电涂层以形成第一电引线； 　用射线照射所述衬底的所述第一侧以便所述第一电引线遮掩通过所述衬底的所述射线以防止固化被施加到所述衬底的所述第二侧的光致抗蚀剂，从而在所述衬底的所述第二侧上形成未固化的光致抗蚀剂和固化的光致抗蚀剂；　从所述衬底的所述第二侧去除所 述未固化的光致抗蚀剂以形成沟槽；以及　使用导电材料填充沟槽以形成第二电引线。

【技术特征摘要】
US 2007-11-1 11/933,7591. 一种制作磁盘驱动器的弯曲电路的方法，所述磁盘驱动器包括磁盘、在所述磁盘上方径向致动的磁头以及控制电路，其中所述弯曲电路用于电耦连所述磁头到所述控制电路并且包括衬底，所述方法包括蚀刻被施加到所述衬底的第一侧的电涂层以形成第一电引线；用射线照射所述衬底的所述第一侧以便所述第一电引线遮掩通过所述衬底的所述射线以防止固化被施加到所述衬底的所述第二侧的光致抗蚀剂，从而在所述衬底的所述第二侧上形成未固化的光致抗蚀剂和固化的光致抗蚀剂；从所述衬底的所述第二侧去除所述未固化的光致抗蚀剂以形成沟槽；以及使用导电材料填充沟槽以形成第二电引线。2. 根据权利要求1所述的方法，其中所述第一电引线与所述第二电 弓I线基本对准以使得所述衬底形成电容性电介质。3. 根据权利要求1所述的方法，其中所述衬底包括聚酰亚胺。4. 根据权利要求3所述的方法，其中所述聚酰亚胺充分透明以通过 所述射线。5. 根据权利要求1所述的方法，其中所述射线包括紫外线。6. 根据权利要求1所述的方法，其中所述射线包括可见光。7. —种磁盘驱动器，...

【专利技术属性】
技术研发人员：DW霍格，
申请(专利权)人：西部数据技术公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]