高纯石英炉用石墨支架制造技术

技术编号:30775502 阅读:56 留言:0更新日期:2021-11-16 07:33
本实用新型专利技术涉及一种高纯石英炉用石墨支架,包括两组平行放置的组合架,每组组合架包括石墨底座、石墨底板以及若干石墨支撑架,所述石墨底板卡合于所述石墨底座上,若干石墨支撑架上下堆叠放置,最下层的石墨支撑架置于所述石墨底板上,两个相邻两层的石墨支撑架之间、以及最下层石墨支撑架与石墨底座之间形成若干供石英管插设的插槽,组装时,石英管一端插于一组合架的插槽中,另一端插于另一组合架的插槽中,若干石英管呈水平且平行地布置于支架上。本实用新型专利技术结构简单、操作方便、使用寿命长且得到的石英管纯度高。长且得到的石英管纯度高。长且得到的石英管纯度高。

【技术实现步骤摘要】
高纯石英炉用石墨支架


[0001]本技术涉及石墨支架,具体涉及一种高纯石英炉用石墨支架。

技术介绍

[0002]现代科技日新月异的发展,在半导体、光伏、玻璃制造等行业中对石英这一基础原材料提出了更高的纯度要求,而高纯石英炉是提炼石英纯度的必备设备,在石英炉里使用石墨支架作为石英管的载体,得到纯度较高的石英管。但是现有应用于石英管提纯的石墨支架存在容易损坏的问题。

技术实现思路

[0003]为了克服上述缺陷,本技术提供一种高纯石英炉用石墨支架,该石墨支架结构简单、效率高、使用寿命长且石英管纯度高。
[0004]本技术为了解决其技术问题所采用的技术方案是:
[0005]一种高纯石英炉用石墨支架,包括两组平行放置的组合架,每组组合架包括石墨底座、石墨底板以及若干石墨支撑架,所述石墨底板卡合于所述石墨底座上,若干石墨支撑架上下堆叠放置,最下层的石墨支撑架置于所述石墨底板上,两个相邻两层的石墨支撑架之间、以及最下层石墨支撑架与石墨底座之间形成若干供石英管插设的插槽,组装时,石英管一端插于一组合架的插槽中,另一端插于另一组合架的插槽中,若干石英管呈水平且平行地布置于支架上。
[0006]优选地,所述石墨底座呈长条形结构,且该石墨底座具有平行布置的底座表面和底座底面,所述底座表面的两端各设有一卡槽,所述卡槽呈倒置的“凸”字型。
[0007]优选地,所述石墨底板呈长条形结构,且该石墨底板具有底板表面和底板底面,所述底板表面呈波浪形结构,所述底板底面上设有安装槽,该安装槽穿设于底板底面的整个长度方向。
[0008]优选地,所述石墨支撑架整体呈长条形的波浪形结构,且石墨支撑架的形状与所述底板表面的形状相同。
[0009]优选地,所述石墨支撑架和底板表面的波浪形结构由若干V型槽组成,且两个相邻的V型槽之间设有平台,所述底板表面和石墨支撑架的两端也皆设有平台,组装时,最下层的石墨支撑架的平台置于底板表面相对应的平台上,上层石墨支撑架的平台置于下层石墨支撑架相对应的平台上,最下层的石墨支撑架上的V型槽与底板表面上相对应的V型槽组成插槽,上、下两个相邻的石墨支撑架上相对应的V型槽组成插槽,且上、下相邻两层的插槽相互错开。
[0010]优选地,所述V型槽的夹角为90
°
且该V型槽的夹角处为圆弧形结构,所述V型槽的内壁为光滑的内壁。
[0011]优选地,所述石墨底座为等静压石墨制备而成的石墨底座,所述石墨底板为等静压石墨制备而成的石墨底板,所述石墨支撑架为等静压石墨制备而成的石墨支撑架。
[0012]本技术的有益效果是:本技术包括两组结构相同且平行布置的组合架,每组组合架由石墨底座、石墨底板和若干石墨支撑架组成,石墨底板固定于石墨底座上,若干石墨支撑架上、下堆叠,且最下层石墨支撑架置于石墨底板的底板表面,石墨支撑架之间、以及石墨底板与石墨支撑架之间形成若干个插槽用于支撑石英管,其中石墨底座、石墨底板以及石墨支撑架都采用等静压石墨制备而成,由于等静压石墨具有纯度高、杂质少、耐高温、导热均匀等特征,可以有效地延长石墨支架的寿命,更好地防止了石英管的纯度发生二次污染;所述石墨支撑架和石墨底板上的V型槽内壁采用镜面抛光处理并使其达到符合要求的表面光洁度,因此可以防止石英管与之接触处即使在高温环境下也不会留下印记,保证了石英管的品质;采用90
°
的V型槽可以放置不同直径的石英管,一定程度上扩大了石墨支架的使用范围;本技术的石墨支架结构简单、效率高、不易损坏使用寿命长且石英管纯度高。
附图说明
[0013]图1为本技术的结构示意图;
[0014]图2为图1中A处的放大图;
[0015]图3为本技术中石墨底座的结构示意图;
[0016]图4为本技术的使用状态图;
[0017]图中:10

石墨底座,11

底座表面,12

底座底面,13

卡槽,20

石墨底板,21

底板表面,22

底板底面,23

安装槽,30

石墨支撑架,31

插槽,32

V型槽,40

石英管。
具体实施方式
[0018]下面将结合本技术实施例,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。
[0019]需要说明的是,本申请的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象,而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换,以使这里描述的本申请的实施方式例如能够以除了在这里图示或描述的那些以外的顺序实施。此外,术语“包括”和“具有”以及他们的任何变形,意图在于覆盖不排他的包含,例如,包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备不必限于清楚地列出的那些步骤或单元,而是可包括没有清楚地列出的或对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。
[0020]为了便于描述,在这里可以使用空间相对术语,如“在
……
之上”、“在
……
上方”、“在
……
上表面”、“上面的”等,用来描述如在图中所示的一个器件或特征与其他器件或特征的空间位置关系。应当理解的是,空间相对术语旨在包含除了器件在图中所描述的方位之外的在使用或操作中的不同方位。例如,如果附图中的器件被倒置,则描述为“在其他器件或构造上方”或“在其他器件或构造之上”的器件之后将被定位为“在其他器件或构造下方”或“在其他器件或构造之下”。因而,示例性术语“在
……
上方”可以包括“在
……
上方”和“在
……
下方”两种方位。该器件也可以其他不同方式定位(旋转90度或处于其他方位),并
且对这里所使用的空间相对描述作出相应解释。
[0021]实施例:如图1

4所示,一种高纯石英炉用石墨支架,其特征在于:包括两组平行放置的组合架,每组组合架包括石墨底座10、石墨底板20以及若干石墨支撑架30,所述石墨底板20卡合于所述石墨底座10上,若干石墨支撑架30上下堆叠放置,最下层的石墨支撑架30置于所述石墨底板20上,两个相邻两层的石墨支撑架30之间、以及最下层石墨支撑架与石墨底座20之间形成若干供石英管40插设的插槽31,组装时,石英管40一端插于一组合架的插槽31中,另一端插于另一组合架的插槽31中,若干石英管40呈水平且平行地布置于支架上。本技术包括两组结构相同的组合架,每组组合架由石墨底座10、石墨底板20和若干石本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高纯石英炉用石墨支架,其特征在于:包括两组平行放置的组合架,每组组合架包括石墨底座(10)、石墨底板(20)以及若干石墨支撑架(30),所述石墨底板(20)卡合于所述石墨底座(10)上,若干石墨支撑架(30)上下堆叠放置,最下层的石墨支撑架(30)置于所述石墨底板(20)上,两个相邻两层的石墨支撑架(30)之间、以及最下层石墨支撑架与石墨底板(20)之间形成若干供石英管(40)插设的插槽(31),组装时,石英管(40)一端插于一组合架的插槽(31)中,另一端插于另一组合架的插槽(31)中,若干石英管(40)呈水平且平行地布置于支架上。2.根据权利要求1所述的高纯石英炉用石墨支架,其特征在于:所述石墨底座(10)呈长条形结构,且该石墨底座(10)具有平行布置的底座表面(11)和底座底面(12),所述底座表面(11)的两端各设有一卡槽(13),所述卡槽(13)呈倒置的“凸”字型。3.根据权利要求1所述的高纯石英炉用石墨支架,其特征在于:所述石墨底板(20)呈长条形结构,且该石墨底板(20)具有底板表面(21)和底板底面(22),所述底板表面(21)呈波浪形结构,所述底板底面(22)上设有安装槽(23),该安装槽(23)穿设于底板底面(22)的整个长度方向。4.根据权利要求3所述的高纯石英炉用...

【专利技术属性】
技术研发人员:芮敏之
申请(专利权)人:美尔森先进石墨昆山有限公司
类型:新型
国别省市:

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