一种卷绕镀膜设备制造技术

本发明专利技术公开了一种卷绕镀膜设备，主要包括真空室、蒸发源、镀膜主辊、移动式挡板系统、控制系统和真空系统；蒸发源设置在镀膜主辊的下方，镀膜主辊内部通有冷却液，柔性基膜绕经镀膜主辊时进行蒸发镀膜；移动式挡板系统位于真空室内；移动式挡板系统包括移动挡板、竖直移动机构、横向移动机构和清洗模块；在真空室内为移动挡板设置有镀膜遮挡相位、蒸发源屏蔽相位和清洗相位；移动挡板在竖直移动机构和横向移动机构的作用下可分别进行竖直方向上的移动和横向移动，移动至镀膜遮挡相位、蒸发源屏蔽相位或清洗相位；清洗模块位于移动挡板的下方，当移动挡板处于清洗相位时，清洗模块对移动挡板上的附着物进行真空环境下的在线清洗。动挡板上的附着物进行真空环境下的在线清洗。动挡板上的附着物进行真空环境下的在线清洗。

【技术实现步骤摘要】
一种卷绕镀膜设备


[0001]本专利技术属于卷绕真空镀膜
，特别涉及一种卷绕镀膜设备。

技术介绍

[0002]在卷绕蒸发镀膜生产过程中，为防止蒸发过程中产生的高温及蒸发材料对处于镀膜主辊冷却保护范围之外的柔性薄膜造成损伤，通常在卷绕镀膜设备中设置挡板将蒸发镀膜区域和其它区域分隔开。然而，在真空镀膜工艺过程中，当启动蒸发源在柔性基膜上进行蒸发镀膜时，挡板上也同样会附着一定厚度的蒸发材料，当挡板上的附着的蒸发材料达到一定程度时就会因为内应力或冷热冲击发生脱落，造成对镀膜环境的污染，进而影响薄膜产品的质量。
[0003]为避免上述问题，一般需要对卷绕镀膜设备中的挡板进行定期清洗，或为挡板设置衬板，对衬板进行清洗。目前，在应用较多的单室卷绕镀膜机中通常采用固定挡板的设计或为固定挡板设置衬板，进行挡板或衬板清洗时，通常需要将其从设备中拆下来，采用喷砂、人工打磨或高压气体吹扫等方式在卷绕镀膜外部实施清洗，这种清洗方式费时费力，还会存在清洗不彻底、对挡板或衬板产生二次污染、损坏挡板或衬板表面造成夹气影响真空度等问题，对镀膜生产的稳定进行带来隐患本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种卷绕镀膜设备，主要包括真空室、蒸发源、镀膜主辊、移动式挡板系统、控制系统和真空系统；蒸发源设置在镀膜主辊的下方，镀膜主辊内部通有冷却液，柔性基膜绕经镀膜主辊时进行蒸发镀膜；移动式挡板系统位于真空室内；移动式挡板系统包括移动挡板、竖直移动机构、横向移动机构和清洗模块；在真空室内为移动挡板设置有镀膜遮挡相位、蒸发源屏蔽相位和清洗相位；移动挡板在竖直移动机构和横向移动机构的作用下可分别进行竖直方向上的移动和横向移动，移动至镀膜遮挡相位、蒸发源屏蔽相位或清洗相位；清洗模块位于移动挡板的下方，当移动挡板处于清洗相位时，清洗模块对移动挡板上的附着物进行真空环境下的在线清洗。2.根据权利要求1所述的卷绕镀膜设备，其特征在于：蒸发源为抽屉式结构，控制系统可控制将蒸发源拉出或推回真空室。3.根据权利要求1所述的卷绕镀膜设备，其特征在于：竖直移动机构包括导杆和竖直驱动电机，移动挡板安装固定在可沿导杆滑动的竖直滑块上，竖直驱动电机可驱动移动挡板做竖直方向上的移动；横向移动机构包括滑轨和横向驱动电机，导杆安装固定在可沿滑轨滑动的横向滑块上，横向驱动电机可通过驱动导杆带动移动挡板做横向移动。4.根据权利要求1所述的卷绕镀膜设备，其特征在于：移动挡板为两块，分别位于镀膜主辊的两侧；当蒸发源停止工作时，由控制系统先控制一块移动挡板由镀膜遮挡相位移动至蒸发源屏蔽相位对尚有余热的蒸发源进行屏蔽覆盖，然后控制系统再控制另一块移动挡板由镀膜遮挡相位移动至清洗相位进行清洗；待蒸发源冷却后，控制系统再控制处于蒸发源屏蔽相位的移动挡板移动至清洗相位进行清洗。5.根据权利要求1所述的卷绕镀膜设备，其特征在于：移动挡板的下表面为外凸的弧形曲面；清洗模块的清洗作用面为与移动挡板的下表面互补的内凹的弧形曲面；在清洗作用面上布置有由多列喷嘴组成的喷嘴阵列，喷嘴的朝向为清洗作用面的法向方向；在清洗作用面上与弧形曲面母线垂直的一端设置有一排吹扫喷嘴，在清洗作用面上与这排吹扫喷嘴相对的一端设置有收集槽。6.根据权利要求5所述的卷绕镀膜设备，其特征在于：在清洗作用面的四个侧边上还设置有围板，使清洗模块对移动挡板进行清洗时形...

【专利技术属性】
技术研发人员：杜雪峰，郝明，李成林，
申请(专利权)人：辽宁分子流科技有限公司，
类型：发明
国别省市：