一种用于大型真空镀膜机工件挂板传送的顶底机械手制造技术

一种用于大型真空镀膜机工件挂板传送的顶底机械手，其包括顶机械手和底机械手，它们分别作用在工件挂板的顶、底从而配合夹紧工件挂板，两机械手均由一个以上的传送单元构成，所述传送单元由动力组件、直线模组和运动组件组成；所述动力组件与所述直线模组相连，所述运动组件安装在所述直线模组上，所述动力组件为所述直线模组提供动力，驱动所述运动组件做直线往复运动；所述运动组件包括运动组件支架，还包括夹紧块安装板、夹紧块、真空电机、螺杆型直线模组、倾斜设置的直线导轨和两直线轴承，其自身结构可驱动其夹紧块上升或下降，从而夹紧或松开挂板。本实用新型专利技术机械手控制精度高，能平稳、可靠地完成大型多舱室真空镀膜机内大型挂板的传送任务。内大型挂板的传送任务。内大型挂板的传送任务。

【技术实现步骤摘要】
一种用于大型真空镀膜机工件挂板传送的顶底机械手


[0001]本技术涉及大型真空镀膜机内，特别是多舱配置的大型真空镀膜机内，负责完成大型工件挂板自动传送任务的一种机械手。

技术介绍

[0002]真空镀膜设备的技术发展趋势，一是提高产能和效率，二是提高镀膜产品质量和稳定性。为提高产能和效率，设备设计越来越大，装载量越来越多，单个工件挂具(多个工件挂装在挂具上一起完成镀膜)也越大越重；为提高膜层质量和稳定性，除了引入镀膜新技术、新工艺外，一个最基本的要求是控制好炉内镀膜气氛稳定不变，也就是要保证每炉炉内残留气体降低至最少并保持一致性不变。为此，最有效手段是每炉镀膜包括装卸工件都在真空中进行不破真空，这样各炉次都在同样真空环境下进行镀膜，炉内气氛不因破真空受大气污染，可保持炉间残留气氛的一致性，这样膜层质量和一致性都会大大提高。因此，近年来真空镀膜设备发展方面，一方面大型化，一方面是多舱化。
[0003]多舱配置时，其中镀膜工艺舱室始终保持真空状态，它通过真空阀门与进料舱和出料舱连接，在真空状态下工件从进料舱送入工艺舱(镀膜工艺舱室的简称)，镀本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于大型真空镀膜机工件挂板传送的顶底机械手，其特征在于，其包括顶机械手和底机械手，它们分别作用在工件挂板的顶、底从而配合夹紧工件挂板，两机械手均由一个以上的传送单元构成，所述传送单元由动力组件、直线模组和运动组件组成；所述动力组件与所述直线模组相连，所述运动组件安装在所述直线模组上，所述动力组件为所述直线模组提供动力，驱动所述运动组件做直线往复运动；所述运动组件包括运动组件支架，其搭载着整个运动组件，其包括连为一体的支架底板、支架上板和两侧板，所述运动组件还包括夹紧块安装板、夹紧块、真空电机、螺杆型直线模组、倾斜设置的直线导轨和两直线轴承；所述夹紧块安装板平行于所述运动组件支架的支架底板和支架上板，设置在所述支架上板的前方，所述夹紧块固定在所述夹紧块安装板上，其用...

【专利技术属性】
技术研发人员：李志荣，陸创程，陈思，李运俊，冯晓庭，
申请(专利权)人：广东汇成真空科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：