一种连续真空镀膜装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及连续真空镀膜装置,包括真空镀膜腔室、真空上下料腔室和自动上下料组件，真空镀膜腔室和真空上下料腔室通过横向的密封组件隔开，密封组件包括密封板和密封框，密封框将真空镀膜腔室和真空上下料腔室分隔开，密封板封闭密封框的内孔；密封板的上表面以及下表面均设置有多个工件治具；真空镀膜腔室内设置有驱动密封板进行纵向翻转的翻转组件和带动翻转组件升降的升降组件；真空上下料腔室的真空门设置在其底面，自动上下料组件用于对处于开启状态下的真空上下料腔室内的工件治具上工件进行上下料；能够在保障实现连续真空镀膜加工的前提下，减少一套抽真空腔室设备，使得成本能够大幅降低，同时还具有较高的自动化加工性能。加工性能。加工性能。

【技术实现步骤摘要】
一种连续真空镀膜装置及方法


[0001]本专利技术涉及真空镀膜
，更具体地说，涉及一种连续真空镀膜装置及方法。

技术介绍

[0002]目前采用的真空镀膜装置，大都是单一腔室或者是三腔室的形式，单一腔室时无法实现连续性的真空镀膜加工，三腔室时虽然可以进行连续性加工，但是成本较高，需要一种能够连续真空镀膜加工的同时降低成本的连续真空镀膜装置及方法。

技术实现思路

[0003]本专利技术要解决的技术问题在于，针对现有技术的上述缺陷，提供一种连续真空镀膜装置及方法。
[0004]本专利技术解决其技术问题所采用的技术方案是：
[0005]构造一种连续真空镀膜装置，其中，包括由上至下依次分布的真空镀膜腔室、真空上下料腔室和自动上下料组件，所述真空镀膜腔室和所述真空上下料腔室通过横向的密封组件隔开，所述密封组件包括密封板和密封框，所述密封框将所述真空镀膜腔室和所述真空上下料腔室分隔开，所述密封板封闭所述密封框的内孔；所述密封板的上表面以及下表面均设置有多个工件治具；所述真空镀膜腔室内设置有驱动所述密封板进行纵向翻转的翻转本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种连续真空镀膜装置，其特征在于，包括由上至下依次分布的真空镀膜腔室、真空上下料腔室和自动上下料组件，所述真空镀膜腔室和所述真空上下料腔室通过横向的密封组件隔开，所述密封组件包括密封板和密封框，所述密封框将所述真空镀膜腔室和所述真空上下料腔室分隔开，所述密封板封闭所述密封框的内孔；所述密封板的上表面以及下表面均设置有多个工件治具；所述真空镀膜腔室内设置有驱动所述密封板进行纵向翻转的翻转组件和带动所述翻转组件升降的升降组件；所述真空上下料腔室的真空门设置在其底面，所述自动上下料组件用于对处于开启状态下的所述真空上下料腔室内的所述工件治具上工件进行上下料。2.根据权利要求1所述的连续真空镀膜装置，其特征在于，所述密封板的上表面以及下表面均设置有圆台，所述工件治具设置在圆台的表面；所述密封框的内孔上端边缘设置有与所述圆台匹配的倒圆台型切口。3.根据权利要求2所述的连续真空镀膜装置，其特征在于，所述倒圆台型切口的表面设置有密封胶层。4.根据权利要求2所述的连续真空镀膜装置，其特征在于，所述翻转组件包括固定设置在所述密封板的两端的固定齿轮和两个一一对应所述固定齿轮的横向板，两个所述固定齿轮型号相同且同轴设置，所述横向板表面设置有配合所述固定齿轮的横向齿槽，所述翻转组件还包括带动两个所述横向板横移的横移单元。5.根据权利要求4所述的连续真空镀膜装置，其特征在于，所述固定...

【专利技术属性】
技术研发人员：王孟良，
申请(专利权)人：深圳天成真空技术有限公司，
类型：发明
国别省市：