下载一种连续真空镀膜装置及方法的技术资料

文档序号:30645016

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本发明涉及连续真空镀膜装置,包括真空镀膜腔室、真空上下料腔室和自动上下料组件,真空镀膜腔室和真空上下料腔室通过横向的密封组件隔开,密封组件包括密封板和密封框,密封框将真空镀膜腔室和真空上下料腔室分隔开,密封板封闭密封框的内孔;密封板的上表面...
该专利属于深圳天成真空技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳天成真空技术有限公司授权不得商用。

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