一种用于新能源动力电池薄膜电极制备的卷绕镀膜设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于新能源动力电池薄膜电极制备的卷绕镀膜设备，该设备的主体真空腔室为卧式圆筒形结构，主体真空腔室的中心部位设置有旋转镀膜鼓；由隔板将主体真空腔室分隔为卷绕室、真空镀膜室和射频离子反应室，各室之间留有狭窄通道允许柔性基膜通过；卷绕室内设置有卷绕系统，卷绕系统包括放卷辊、放卷过渡辊、收卷过渡辊和收卷辊；真空镀膜室设置有磁控靶装置，所述的真空镀膜室和射频离子反应室均为2个以上。本实用新型专利技术通过射频离子反应室的设置，将镀膜室和反应室分开，实现了金属氧化物薄膜的高速制备，解决了金属氧化物的反应溅射镀膜缓慢的问题。化物的反应溅射镀膜缓慢的问题。化物的反应溅射镀膜缓慢的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种用于新能源动力电池薄膜电极制备的卷绕镀膜设备


[0001]本技术属于新能源电池领域，特别是涉及一种用于新能源动力电池薄膜电极制备的卷绕镀膜设备。

技术介绍

[0002]随着石油、煤炭等常规能源的不断消耗及其引起的环境问题日益严峻，新能源动力电池等储能技术成为当前的研究热点。其中，柔性薄膜新能源动力电池产品由于可在柔性基底上使用卷对卷技术大规模生产，可显著降低新能源动力电池的成本。柔性薄膜新能源动力电池产品中的薄膜电极层的制备一般采用金属靶材进行反应磁控溅射镀膜，或者采用金属氧化物靶材进行磁控溅射镀膜，这种镀膜方法的薄膜沉积速度慢，影响和制约了生产效率。因此需要开发适用于柔性薄膜新能源动力电池产品中的氧化物薄膜电极层高效生产的卷绕式磁控溅射镀膜设备。

技术实现思路

[0003]为解决上述问题，本专利技术提供一种用于新能源动力电池薄膜电极制备的卷绕镀膜设备，该设备的主体真空腔室为卧式圆筒形结构，主体真空腔室的中心部位设置有旋转镀膜鼓；由隔板将主体真空腔室分隔为卷绕室、真空镀膜室和射频离子反应室，各室之间留有狭窄通道允许柔性基膜通过；本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于新能源动力电池薄膜电极制备的卷绕镀膜设备，其特征在于：该设备的主体真空腔室为卧式圆筒形结构，主体真空腔室的中心部位设置有旋转镀膜鼓；由隔板将主体真空腔室分隔为卷绕室、真空镀膜室和射频离子反应室，各室之间留有狭窄通道允许柔性基膜通过；卷绕室内设置有卷绕系统，卷绕系统包括放卷辊、放卷过渡辊、收卷过渡辊和收卷辊；真空镀膜室设置有磁控靶装置，所述的真空镀膜室为1个以上。2.根据权利要求1所述的用于新能源动力电池薄膜电极制备的卷绕镀膜设备，其特征在于：卷绕系统还包括展平辊和张力调节辊，张力调节辊和展平辊为2组，分别位于放卷过渡辊与旋转镀膜鼓之间和旋转镀膜鼓与收卷过渡辊之间。3.根据权利要求1所述的用于新能源动力电池薄膜电极制备的卷绕镀膜设备，其特征在于：射频离子反应室上设置有...

【专利技术属性】
技术研发人员：李成林，郝明，杜雪峰，
申请(专利权)人：辽宁分子流科技有限公司，
类型：新型
国别省市：