下载一种用于新能源动力电池薄膜电极制备的卷绕镀膜设备的技术资料

文档序号:30601783

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本实用新型公开了一种用于新能源动力电池薄膜电极制备的卷绕镀膜设备,该设备的主体真空腔室为卧式圆筒形结构,主体真空腔室的中心部位设置有旋转镀膜鼓;由隔板将主体真空腔室分隔为卷绕室、真空镀膜室和射频离子反应室,各室之间留有狭窄通道允许柔性基膜通...
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