一种磁力驱动真空镀膜传送装置及传送方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及磁力驱动真空镀膜传送装置，包括真空镀膜腔室，真空镀膜腔室的一端设置有进出料口以及密封门，真空镀膜腔室的另一端密封穿设有非铁质的导磁管；真空镀膜腔室内设置有移动环，移动环的外侧表面固定有工件治具，移动环的内侧表面设置有第一吸附环和第二吸附环；导磁管的开口一端穿设有磁驱动件；还包括驱动组件、无线式水平监测模组和控制主机；导磁管的外侧表面同轴设置有多个定位槽；磁驱动件和驱动组件均与控制主机电性连接并受其控制；应用本申请的发明专利技术，可将真空镀膜上的传送装置的动力部分移动到了真空室的外部，使得整体密封性更好，同时能够大幅降低真空腔的生产成本。成本。成本。

【技术实现步骤摘要】
一种磁力驱动真空镀膜传送装置及传送方法


[0001]本专利技术涉及真空镀膜传送装置
，更具体地说，涉及一种磁力驱动真空镀膜传送装置及传送方法。

技术介绍

[0002]在真空镀膜加工过程中，经常需要对工件进行移动、翻转等动作，目前采用的方式大都采用的传送带、丝杆传动等方式，该种方式使用时面对高真空、高温环境下设备极易老化损坏，且结构设置也会十分的复杂，需要一种更加简洁的且损坏风险低的磁力驱动真空镀膜传送装置及传送方法。

技术实现思路

[0003]本专利技术要解决的技术问题在于，针对现有技术的上述缺陷，提供一种磁力驱动真空镀膜传送装置及传送方法。
[0004]本专利技术解决其技术问题所采用的技术方案是：
[0005]构造一种磁力驱动真空镀膜传送装置，其中，包括真空镀膜腔室，所述真空镀膜腔室的一端设置有进出料口以及与其配合的密封门，所述真空镀膜腔室的另一端密封穿设有非铁质的导磁管；所述导磁管位于所述真空镀膜腔室内的一端封闭，位于所述真空镀膜腔室外的一端敞开；所述真空镀膜腔室内设置有套设在所述导磁管外的移动环，所述本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种磁力驱动真空镀膜传送装置，其特征在于，包括真空镀膜腔室，所述真空镀膜腔室的一端设置有进出料口以及与其配合的密封门，所述真空镀膜腔室的另一端密封穿设有非铁质的导磁管；所述导磁管位于所述真空镀膜腔室内的一端封闭，位于所述真空镀膜腔室外的一端敞开；所述真空镀膜腔室内设置有套设在所述导磁管外的移动环，所述移动环的外侧表面固定有工件治具，所述移动环的内侧表面并排设置有均与其同轴的第一吸附环和第二吸附环，所述第一吸附环由多个定位铁件呈环形分布构成，所述第二吸附环由多个固定铁件呈环形分布构成；所述导磁管的开口一端穿设有磁驱动件，所述磁驱动件呈圆柱形且周侧表面设置有与所述第一吸附环对应吸附的第一电磁铁组和与所述第二吸附环对应吸附的第二电磁铁组；所述磁力驱动真空镀膜传送装置还包括带动所述磁驱动件沿所述导磁管的内孔移动以及轴向转动的驱动组件、设置在所述工件治具上的无线式水平监测模组和接收其数据的控制主机。2.根据权利要求1所述的磁力驱动真空镀膜传送装置，其特征在于，所述所述导磁管的外侧表面同轴设置有多个定位槽，所述定位槽的截面呈倒梯形。3.根据权利要求2所述的磁力驱动真空镀膜传送装置，其特征在于，所述定位铁件与所述定位槽相匹配，所述移动环的内侧表面设置有与所述定位铁件配合的活动槽，所述活动槽内设置有连接所述定位铁件的弹性件，且初始状态下所述定位铁件位于所述活动槽内部。4.根据权利要求3所述的磁力驱动真空镀膜传送装置，其特征在于，所述磁驱动件和所述驱动组件均与所述控制主机电性连接并受其控制。5.根据权利要求4所述的磁力驱动真空镀膜传送装置，其特征在于，所述第一电磁铁组和所述第二电磁铁组均有多个电磁铁呈环形分布构成，相邻所述电磁铁之间均设置有隔磁块，所述电磁铁与所述隔磁块均呈扇形且同心设置。6.根据权利要求5所述的磁力驱动真空镀膜传...

【专利技术属性】
技术研发人员：王孟良，
申请(专利权)人：深圳天成真空技术有限公司，
类型：发明
国别省市：