下载一种磁力驱动真空镀膜传送装置及传送方法的技术资料

文档序号:30645017

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本发明涉及磁力驱动真空镀膜传送装置,包括真空镀膜腔室,真空镀膜腔室的一端设置有进出料口以及密封门,真空镀膜腔室的另一端密封穿设有非铁质的导磁管;真空镀膜腔室内设置有移动环,移动环的外侧表面固定有工件治具,移动环的内侧表面设置有第一吸附环和第...
该专利属于深圳天成真空技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳天成真空技术有限公司授权不得商用。

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