一种多方位温度气体可调高阻膜镀膜设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种多方位温度气体可调高阻膜镀膜设备，包括镀膜腔体，所述镀膜腔体的内侧设置有布气管，所述布气管的外侧开设有出气口，所述出气口对称开设有多个，所述镀膜腔体的内侧设置有温度计，所述温度计对称设置有多个，所述镀膜腔体的底端设置有第一气管，所述第一气管对称设置有三个，所述第一气管的外侧设置有流量计，所述第一气管的外侧设置有第一控制阀，所述第一气管的顶端设置有三通气管。该多方位温度气体可调高阻膜镀膜设备，第二气管连接三通气管，可控制氩气与氧气的进入，接着是布气管，布气管三根并联在一起，每根布气管都有排列均匀分布的出气口，可以使气体能均匀地到达靶面，保证膜层均匀。保证膜层均匀。保证膜层均匀。

【技术实现步骤摘要】
一种多方位温度气体可调高阻膜镀膜设备


[0001]本技术涉及溅射镀膜设备
，具体为一种多方位温度气体可调高阻膜镀膜设备。

技术介绍

[0002]高阻膜一般指铟锡氧化物薄膜，是一种n型半导体晶体薄膜，具有良好的导电性、可见光透过率以及红外线反射率以外，同时兼顾了良好的机械强度与化学稳定性能，在液晶显示器领域有着广泛的实际应用。现有技术中一般采用磁控溅射来镀铟锡氧化物薄膜，镀膜过程中产生磁场的磁体的位置一般固定，温度和气体从中间进入，使得中间与周围的温度和气体相差较大，导致中间阻值高，四周边缘阻值低，无法有效通过调节温度大小与气体流量来使边缘阻值显著变化，方阻均匀性很差。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种多方位温度气体可调高阻膜镀膜设备，以解决上述
技术介绍
提出不能做到高阻腔体的整体多个位置的温度和气体都可以调节的问题。
[0004]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种多方位温度气体可调高阻膜镀膜设备，包括镀膜腔体，所述镀膜腔体的内侧设置有布气管，所述布气管的外侧开设有出气口，所述出气口对称开设有多个，所述镀膜腔体的内侧设置有温度计，所述温度计对称设置有多个，所述镀膜腔体的底端设置有第一气管，所述第一气管对称设置有三个，所述第一气管的外侧设置有流量计，所述第一气管的外侧设置有第一控制阀，所述第一气管的顶端设置有三通气管，所述三通气管的底端设置有第二气管。
[0005]优选的，所述出气口位于镀膜腔体的内部，所述流量计位于第一控制阀的上方，所述第一气管的内部与布气管的内部相互连接。
[0006]优选的，所述第二气管的底端设置有第二控制阀，所述第二控制阀的外侧设置有氩气进气管，所述第二控制阀的外侧设置有氧气进气管，所述氩气进气管与氧气进气管位于同一水平线上。
[0007]优选的，所述镀膜腔体的上端设置有第一电线，所述第一电线对称设置有四个，所述第一电线的外侧设置有温控阀，所述温控阀位于镀膜腔体的上方。
[0008]优选的，所述第一电线的上端设置有第二电线，所述第二电线的上端设置有第三电线，所述第三电线的外侧设置有总电路开关。
[0009]与现有技术相比，本技术的有益效果是：该多方位温度气体可调高阻膜镀膜设备，氩气进气管与氧气进气管上装有第二控制阀，调节气体进入的大小，设有流量计，实时监控调节气体流量大小，第二气管连接三通气管，可控制氩气与氧气的进入，接着是布气管，布气管三根并联在一起，每根布气管都有排列均匀分布的出气口，可以使气体能均匀地到达靶面，保证膜层均匀，通过流量计进行精确调节，温度计和温控阀进行温度调节，通过均匀分布的线路，可以使靶面的温度精确控制，本高阻膜镀膜是由多个部位进行调节控制，
能够做到各个部位分别控制，互不干涉。
附图说明
[0010]图1为本技术立体结构示意图；
[0011]图2为本技术正视结构示意图；
[0012]图3为本技术镀膜腔体剖面结构示意图。
[0013]图中：1、镀膜腔体；2、布气管；3、出气口；4、温度计；5、第一气管；6、流量计；7、第一控制阀；8、三通气管；9、第二气管；10、第二控制阀；11、氩气进气管；12、氧气进气管；13、第一电线；14、温控阀；15、第二电线；16、第三电线；17、总电路开关。
具体实施方式
[0014]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0015]请参阅图1
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3，本技术提供一种技术方案：一种多方位温度气体可调高阻膜镀膜设备，包括镀膜腔体1，镀膜腔体1的内侧设置有布气管2，布气管2的外侧开设有出气口3，出气口3对称开设有多个，镀膜腔体1的内侧设置有温度计4，温度计4对称设置有多个，镀膜腔体1的底端设置有第一气管5，第一气管5对称设置有三个，第一气管5的外侧设置有流量计6，第一气管5的外侧设置有第一控制阀7，第一气管5的顶端设置有三通气管8，三通气管8的底端设置有第二气管9。
[0016]进一步的，出气口3位于镀膜腔体1的内部，流量计6位于第一控制阀7的上方，第一气管5的内部与布气管2的内部相互连接，实现了均匀镀膜处理。
[0017]进一步的，第二气管9的底端设置有第二控制阀10，第二控制阀10的外侧设置有氩气进气管11，第二控制阀10的外侧设置有氧气进气管12，氩气进气管11与氧气进气管12位于同一水平线上，实现了气体大小进行调节。
[0018]进一步的，镀膜腔体1的上端设置有第一电线13，第一电线13对称设置有四个，第一电线13的外侧设置有温控阀14，温控阀14位于镀膜腔体1的上方，通过温控阀14对第一电线13温度进行调节。
[0019]进一步的，第一电线13的上端设置有第二电线15，第二电线15的上端设置有第三电线16，第三电线16的外侧设置有总电路开关17，实现了对整体线路的控制。
[0020]工作原理：氩气进气管11与氧气进气管12上装有第二控制阀10，调节气体进入的大小，设有流量计6，实时监控调节气体流量大小，第二气管9连接三通气管8，可控制氩气与氧气的进入，接着是布气管2，布气管2三根并联在一起，每根布气管2都有排列均匀分布的出气口3，可以使气体能均匀地到达靶面，保证膜层均匀，通过流量计6进行精确调节，温度计4和温控阀14进行温度调节，通过均匀分布的线路，可以使靶面的温度精确控制，本高阻膜镀膜是由多个部位进行调节控制，能够做到各个部位分别控制，互不干涉。
[0021]尽管已经示出和描述了本技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修
改、替换和变型，本技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种多方位温度气体可调高阻膜镀膜设备，包括镀膜腔体，其特征在于：所述镀膜腔体的内侧设置有布气管，所述布气管的外侧开设有出气口，所述出气口对称开设有多个，所述镀膜腔体的内侧设置有温度计，所述温度计对称设置有多个，所述镀膜腔体的底端设置有第一气管，所述第一气管对称设置有三个，所述第一气管的外侧设置有流量计，所述第一气管的外侧设置有第一控制阀，所述第一气管的顶端设置有三通气管，所述三通气管的底端设置有第二气管。2.根据权利要求1所述的一种多方位温度气体可调高阻膜镀膜设备，其特征在于：所述出气口位于镀膜腔体的内部，所述流量计位于第一控制阀的上方，所述第一气管的内部与布气管的内部相互连接。3.根据权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：段伟伟，曹孝佛，郭起滨，曾家旺，
申请(专利权)人：赣州帝晶光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：