下载一种用于大型真空镀膜机工件挂板传送的顶底机械手的技术资料

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一种用于大型真空镀膜机工件挂板传送的顶底机械手,其包括顶机械手和底机械手,它们分别作用在工件挂板的顶、底从而配合夹紧工件挂板,两机械手均由一个以上的传送单元构成,所述传送单元由动力组件、直线模组和运动组件组成;所述动力组件与所述直线模组相连...
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