微量气氛取样检测装置及微量气氛取样检测方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及微量气氛取样检测装置及微量气氛取样检测方法，微量气氛取样检测装置，包括中空的检测腔体以及真空系统，检测腔体与真空系统连通，检测腔体内设置有测试装置、样品固定装置以及质谱仪，测试装置与样品固定装置对应设置，样品固定装置用于固定设置样品，测试装置能够破坏样品的气密封，质谱仪对样品逸出的气氛进行分析。通过将内部气氛取样和检测分析结构设置在同一个腔体中，相比现有技术不再需要设置具有空间死角的结构，避免了其对样品内部气氛扩散的不利影响，即使样品内的气氛气体很少，其也能够在检测腔体中充分扩散，使质谱仪能够获取并加以测试分析，本发明专利技术的微量气氛取样检测装置具有检测灵敏度高、分析检测限低的特点。限低的特点。限低的特点。

【技术实现步骤摘要】
微量气氛取样检测装置及微量气氛取样检测方法


[0001]本专利技术涉及电子信息
，特别是涉及微量气氛取样检测装置及微量气氛取样检测方法。

技术介绍

[0002]微电子器件的封装分类按照密封形式可以分为气密封装和非密封装两种。其中，气密封装器件的封装材料有金属、陶瓷、玻璃等多种，封装结构的内部为空腔，充有高纯氮气或其它惰性气体。空腔内部气氛除了基体气体之外，在元器件封装过程中还可能会引入水蒸气、氧气、二氧化碳、以及有机材料挥发释放出的甲醇、乙醇、丙酮、甲苯等有机气体，加速内部金属的腐蚀、导致元器件绝缘性能下降或参数超差，是影响气密封装元器件可靠性的关键因素。因此，在高可靠性要求的应用会对气密封器件的内部气氛组分及其含量做出明确要求，例如国军标和美军标明确规定内部水汽含量不能超过5000ppm。
[0003]基于此，有必要对微电子器件内的内部气氛进行取样分析。目前最常用的内部气氛分析方法为质谱分析法，原理是将样品的气密封装破坏后，把内部气氛送入到质谱分析的真空腔中进行电离，不同质荷比的离子经过加速电场的作用形成离子束，进入质量分析器后本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种微量气氛取样检测装置，其特征在于，包括中空的检测腔体以及真空系统，所述检测腔体与所述真空系统连通，所述检测腔体内设置有测试装置、样品固定装置以及质谱仪，所述测试装置与所述样品固定装置对应设置，所述样品固定装置用于固定设置样品，所述测试装置能够破坏所述样品的气密封，所述质谱仪用于对样品逸出的气氛进行分析。2.根据权利要求1所述的微量气氛取样检测装置，其特征在于，所述质谱仪靠近所述真空系统与所述检测腔体的连通处设置。3.根据权利要求1所述的微量气氛取样检测装置，其特征在于，所述样品固定装置靠近所述质谱仪设置。4.根据权利要求1所述的微量气氛取样检测装置，其特征在于，所述样品固定装置包括样品固定结构以及样品固定架，所述样品固定架固定连接于所述检测腔体，所述样品固定结构设置在所述样品固定架上，所述样品设置在所述样品固定结构上。5.根据权利要求4所述的微量气氛取样检测装置，其特征在于，所述样品固定架包括固定件以及活动件，所述固定件与所述检测腔体固定，所述活动件活动连接于所述固定件，所述样品固定结构固定在所述活动件上。6.根据权利要求5所述的微量气氛取样检测装置，其特征在于，所述固定件与所述活动件卡槽连接。7.根据权利要求1所述的微量气氛取样检测装置，其特...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵昊，彭泽亚，周斌，赖灿雄，
申请(专利权)人：中国电子产品可靠性与环境试验研究所工业和信息化部电子第五研究所中国赛宝实验室，
类型：发明
国别省市：