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本发明涉及微量气氛取样检测装置及微量气氛取样检测方法，微量气氛取样检测装置，包括中空的检测腔体以及真空系统，检测腔体与真空系统连通，检测腔体内设置有测试装置、样品固定装置以及质谱仪，测试装置与样品固定装置对应设置，样品固定装置用于固定设置样...该专利属于中国电子产品可靠性与环境试验研究所（（工业和信息化部电子第五研究所）（中国赛宝实验室））所有，仅供学习研究参考，未经过中国电子产品可靠性与环境试验研究所（（工业和信息化部电子第五研究所）（中国赛宝实验室））授权不得商用。